Блок объективной линзы эмиссионного электронного микроскопа

 

)&90

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ (iп 6

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 04.05.75 (21) 2130746/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.06.76. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 22.07.76 (51) М. Кл Н 01J 37/26

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621 385.833 (088.8) (72) Авторы изобретения

Н. Б. Каган, В. В. Крапухин и Л. Б. Розенфельд (71) Заявитель (54) БЛОК ОБЪЕКТИВНОЙ ЛИНЗЫ ЭМИССИОННОГО

ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Изобретение относится к области электронно-оптических устройств и может быть использовано в эмиссионных электронных микроскопах (ЭЭМ).

Известны ЭЭМ (1), позволяющие исследовать те или иные объекты после ионного травления в специальных камерах. Это вызывает значительные затруднения при исследовании объектов из-за их загрязнения при переносе объекта в ЭЭМ. Значительно усложняется при этом устройство микроскопа из-за необходимости дополнительных механизмов для переноса объекта в вакуумный объем микроскопа.

Прототипом изобретения является устройство, представляющее из сеоя блок объективной линзы ЭЭМ и содержащее магнитную линзу с полюсным наконечником, апертурную диафрагму и газоразрядное устройство травления объекта ионным пучком (2).

Такая конструкция позволяет производить ионное травление объекта в рабочем положе-нии, а угол падения пучка ионов на объект может варьироваться в пределах от 78 до

65 . Основным недостатком этой конструкции является невозможность реализации оптимальных условий для ионного травления объекта в рабочем положении, поскольку косое падение ионного пучка не позволяет, например, провести качественное травление объекта, представляющего собой поверхность с микрорельефом.

Целью изобретения является обеспечение оптимальных условий травления объекта.

Для этого катод устройства травления выполнен в виде цилиндрического стакана, рас5 положенного в канале полюсного наконечника объективной линзы, а анодом устройства травления является стержневая часть держателя апертурной диафрагмы, причем конец стержня находится в задней фокальной пло10 скости объективной линзы.

Суть изобретения поясняется чертежом, где

1 — полюсный наконечник объективной линзы, 2 — магнитопровод объективной линзы, 15 3 — обмотка возбуждения объективной линзы, 4 — катод устройства травления объекта, 5 — анод устройства травления объекта (стержневая часть держателя апертурной диафрагмы), 6 — стол апертурной диафраг20 мы, 7 — изолятор, 8 — объект.

В канале полюсного наконечника 1 объективной линзы, включающей магнитопровод 2 и обмотку возбуждения 3, расположен цилиндрический стакан 4, выполняющий роль

25 катода устройства травления, а анодом устройства травления служит стержневая часть

5 держателя апертурной диафрагмы, установленного на столе апертурной диафрагмы 6.

Устройство работает следующим образом.

30 При подаче напряжения на анод устройства травления 5 и включении магнитного поля

519790

Формула изобретения

Составитель Б. Канин

Техред А. Камышникова

Корректор Л. Брахнина

Редактор Н. Коляда

Заказ 1515/13 Изд. № 1441 Тираж 963 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 линзы в канале полюсного наконечника 1 объективной линзы в атмосфере рабочего газа зажигается тлеющий разряд. При подаче на объект 8 отрицательного напряжения происходит экстракция ионов из разрядного пространства и фокусировка их с помощью ионнооптической системы, образованной диафрагмой катода 4 и объектом 8. Полученный ионный пучок бомбардирует участок объекта, находящийся на оптической оси объективной линзы. По окончании процесса травления снимают напряжение с анода устройства травления и объекта и затем производят исследование при требуемом рабочем режиме микроскопа.

Такая конструкция блока объективной линзы позволяет производить чистку и травление любых поверхностей, в том числе и с,микрорельефом в рабочем положении при оптимальном падении ионного пучка. Устройство травления обеспечивает плотность ионного тока на объекте до 5 ма/см при диаметре обрабатываемого участка от 0,5 до 2,5 мм.

Ьлок об ьективной линзы, эмиссионного электронного микроскопа, содержащий маг5 нитную линзу с полюсным наконечником, апертурную диафрагму и газоразрядное устройство травления объекта ионным пучком, отличающийся тем, что, с целью обеспе чения оптимальных условий травления, катод

10 устройства травления выполнен в виде цилиндрического стакана, расположенного и канале полюсного наконечника линзы, а ано. дом является стержневая часть держателя апертурной диафрагмы, причем конец стерж.

15 ня расположен в задней фокальной плоскости объективной линзы.

Источники информации, принятые во вни. мание при экспертизе:

1. «Электронная микроскопия» под ред.

20 А. А. Лебедева, стр. 274 †2, Москва, 1954 г.

2. Каталог фирмы «Carl Zeiss, Jena» на электронный микроскоп EF-б, 1970 г. (прототип).