Травильный раствор

 

ОП ИСАЙИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистическик

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 020678(21) 2624014/29-33 с присоединением заявки М (23) Приоритет (5!)М. Кл.

03 С l 5/00

Государственный комитет

СССР ио делам изобретений и открытий (53) УДК 666. 284 (088.8) Опубликовано 050280. Бюллетень Йо 5

Дата опубликования описания 070280 (72) Авторы изобретения

А. А. Дворский, В. П. Маслов, И. М. Скачков и В. С. Чередник (71) Заявитель (54 ) ТРАВ ИЛЬ НЫИ РАСТВОР

Изобретение относится к технологии обработки кварцевых стекол и может быть использовано в оптико-электронной промышленности при изготовлении оптических деталей.

Известен травильный раствор (1), включающий, вес.Ъ:

Фтористоводородная кислота 50-60

Азотная кислота 20-30

Полиакриламид 1-5

Вода Остальное, Укаэанный раствор используют преимущественно для обработки фосфатных стекол. Скорость травления 0,50-0 69 мкм/мин.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является правильный раствор (2), включающий, вес.Ъ: б

Фтористоводородна я кислота 58,5

Бифторид аммония 4,5

Глицерин 27,5 25

Вода 9,5

Наличие органической добавки (глицерин a) позволяет регулиров ать процесс травления.

Однако при обработке кварцевых стекол в данном ра -.творе наблюдается неравномерный съем фазовых кскчпонентов кварцевых стекол, на поверхности образуются микронеровности (ямки и впадины). Применение этого раствора для полирования кварцевых стекол не приводит к повышению класса шероховатости обработанной поверхности, кроме того, не обеспечивается равномерность обработки по всей поверхности. Кварцевые стекла, обработанные в указанном растворе, не обладают блеском, присущим полированным поверхностям. Процесс травления в таком растворе протекает с низкой скоростью.

Целью изобретения является повышение скорости травления.

Цель достигается тем, что травиль— ный раствор, включающий фтористоводородную кислоту, глицерин и воду, дополнительно содержит полиакриламид при следующем соотношении компонентов вес.Ъ:

Фтористоводородная кислота 55-65

Глицерин 15 — 20

Полиак риламид 3-5

Вода Остальное

Пример. Растворы приготавливают путем смешения водных рас:творон (3839

Сосгав травильного раствора, не».-.. %

C»< opu; ть травления( мкм/мин

Ra мкм

Меха ническая проч ность, к г/мм глицерин и злиак рил- Вод амид фт орис тов одородная к ис лота

78 18

0,55

78 19

0,50

79 19

0,30 p8 18

0,45

1,10

27,0 2,40

18,5 2,50

10,0 2,10

Известный 2)

55,0

60,0

3,0

15,0

17,5

20,0

65,0

Формула изобретения

Составитель О. Самохина

Редактор Т. Шарганова Техред N,Петко Корректор Г. 1>p!QFтник

Заказ 9201/16 тираж 528 Подпис Нор

11ВИИП»И Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Noñêâà. .--35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ПП»! ПатP»»x, г . уж! ород, ул. Проектная, 4 полиакриламида (8Ъ-ный) и !.ëèöåðè»»э фтористоводародной кислотой (70 ;-Hая) При использовании предлагаемого травильного раствора дефекты на по- щ верхности стекла не обнаружены.

Оптимальным является введение в раствор 60 вес.Ъ фтористоводороцной кислоты.

Наличие в травильном растворе поверхностно-активных веществ (глицерин и полиакриламйд) позволяет регулировать процесс химического травления .

Полиакриламид обладает ярко выраженными реантиадсорбционными свойствами, что дает возможность увода с обрабатываемой поверхности продуктов реакции травления. При этом обеспечивается подвод свежего раствора к обрабатываемой поверхности, травление протекает равномерно по всему объему образца с повышенной скоростью что приводит к образованию полированной поверхности.

Малое содержание полиакриламида 40 не обеспечивает указанного эффекта, поэтому класс шероховатости обрабо— таиной поверхности не повышается.

Большое содержание полиакриламица уменьшает скорость травления эа счет блокирования активных центров обрабатываемой поверхности, что приводит к снижению механической прочности.

Наличие в растворе пленкообразующего вещества (полиакриламида) уменьшает интенсивность испарения фтористого водорода, что улучшает условия труда и обеспечивает сохранность травильной ванны.

Результаты»".pR»! HH ел»ных Hr. l(»»Tаний приведены г» таблице, Применение предлагаемого травильного раствора для обработки кварцевых стекол приводит к повышению класса шероховатости обрабатываемых поверхностей на 1-2 класса (с р7 до 9 с») 8 доV 9); улучше нию к ачес тв а обрабатываемых поверхностей при химическом полировании; повышению скорости хаотического травления в 1.,5-2 раза; повышению механической прочности обрабатываемых изделий; улучшению условий труда.

Травильный раствор, преимущественно для кварцевого стекла, включающий фтористоводородную кислоту, глицерин и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости травления, оно дополнительно содержит полиакриламид при следующем соотношении компонентов, вес.Ъ:

Фтор ис тов одород на я кислота 55-65

Глицерин 15-20

Полиакриламид 3-5

Вода Остальное

Источники информации принятые во внимание при экспертизе

1. авторское свидетельство СССР по заявке М 2588605/29-3 3, кл. С 03 С 15/00, 1978.

2. Патент СШл 9 3374130, кл. 156-24, опублик, 1968.