Способ обработки керамических подложек перед металлизацией

 

Союз Советски к

Соцкалистическкк

Республик о пят;Аа е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<,732219 (6l ) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 18.11.75 (21) 2191810/29-21 с присоединением заявки Р(е 2447863/29-2 1 (5! )М. Кл, С 03 С 15/00

Государственный квинтет (23) Приоритет

Опубликовано 05.05.80. Бюллетень М 17

Дата опубликования описания 05,05.80 па депаи изооретений и открытий (53) УДК 621. .382,002 (088.8) Г, А. Китаев, Т. А. Дроздова, Ю. И. Левкович, В . H. Пырченков и H. В. Кузина (72) Авторы изобретения (7I) Заявитель УРальский оРдена ТРУдового КРасного Знамени политехнический институт им. С. М. Кирова (54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ КЕРАМИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК

ПЕРЕД МЕТАЛЛ ИЗА П ИЕ Й

Оцнако при травлении ортофосфорной кислотой несколько увеличивается шероховатость поверхности керамических поцложек, что отрицательно влияет на адгезию керамических подложек к метал лопо кры тию.

1О

Известен способ обработки керами- ческих поцложек перец металлизацией, включающий травление керамических под ложек в ортофосфорной кислоте (2).

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления керамических плат многокриотальных больших интегральных схем.

При металлизации керамических подложек решающее значение имеет подготовка поверхности керамических подложек, от состояния которой зависит нх адгезия к металлопокрьгтию.

Известен способ обработки керамических поцложек перец металлизацией путем травления их в смеси перекиси воцороца, плавиковой и ортофосфорной кислот

И.

Недостаток этого способа состоит в том, что он не обеспечивает высокой адгезии керамических поцложек к металлопокр ытию.

Цель изобретения — повышение ацгезии керамических подложек к металлопокрытию путем уменьшения шероховатости их поверхности.

Это достигается тем, что в способе обработки керамических поцложек перец металлизацией, включающем травление, керамических поцложек в ортофосфорной кислоте, травление керамических поцложек проводят в прецварительно обезвоженной при 260-290 С с1ртофосфорной кислоте. Обезвоживание произвоцят путем нат.рева ортофосфорной кислоты цо о

260-290 С и выдержки при этой температуре в течение 50-70 мин. При этом происхоцит образование пирофосфорной, а затем — метафосфорной кислоты, 732219 которая является более активной, чем исходная ортофосфорная кислота, лен

2 0 2ОО MOOG

3 4 4ач г

Источники информации, принятые по внимание при экспертизе

1. Патент Японии № 50-9269, э кл. 99/5, С 3, опублик, 1975.

2.Д.Ма ег Бс, 1972, № 11, р. 1280-1284.

Составитель Е. Хвоицева

Редактор И, Гохфельд Техрец Э. Чужик Корректор T. Синицкая

Заказ 1643/15 Тираж 528 Подписное

ЦНИИПИ Госуцарственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., ц. 4/5

Филиал ППП Патент, .г. Ужгороц, ул. Проектная, 4

Пример 1. Подложку из поли îpà с маской из полиамидокислот термообрабатывают в течение 30 мин при а

320+ 10 С на возцухе. После этого подложку погружают в ванну с предварительно обезвоженной при 260 С в тео чение 70 мин ортофосфорной кислотой о (концентрированной), нагретой до 270 С, и выдерживают в ней 10 мин. После травления подложку промывают .в ванне с гоО рячей воцой (80-90 С) и в проточной воде. 20

Шероховатость поверхности, не поцвергавшейся травлению,v14.

Шероховатость протравленных участков

%10-11. Адгезия металлопокрытия в участках, поцвергшихся травлению 25

150 кг/см . г

Пример 2. Травление поликора провоцят по примеру 1, ортофосфорную кислоту предварительно обезвоживают llpH

290 С в течение 50 мин, время травления щ увеличивается цо 20 мин.

Шероховатость поверхности, не подвергавшейся травлению, 14.

Шероховатость протравленных участ ков V 9.

Ацгезия металлопокрытий в участках, подвергшихся травлению, 160 кг/см .

Пример 3. Избирательное травие корунцовой керамики проводят по примеру 1) Время травления 20 мин.

Шероховатость поверхности, не подвергавшейся травлению, Ч13. Шероховатость протравленных участков м 9. Ацгезия металлопокрытия в участках, оцвергшихся травлению, 100 кг/см .

Использование данного способа обработки керамических подложек из поликора позволяет повысить их ацгезию к металлопокрытию в 10-16 раз по сравнению с адгезией необработанных керамических поцложек.

Формула изобретения

Способ обработки керамических поцложек перед металлизацией, преимущественно изготовленных из поликора, включающий травление керамических подложек в ортофосфорной кислоте, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения адгезии керамических подложек к металлопокрытию путем уменьшения шероховатости их поверхности, травление керамических подложек провоцят в прецварительно обезвоженной при 260-290 С оптофосфорной кислоте.