Патент ссср 94235

 

№ 94235

Класс 2 г!, 37->

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Г. В. Дер-Шварц

ПРИМЕНЕНИЕ ЦИЛИНДРИЧЕСКОЙ МАГНИТНОЙ ЛИНЗЫ ДЛЯ

КОРРЕКЦИИ ПРИОСЕВОГО АСТИГМАТИЗМА

Заявлено 24 сентября 1961 г. за г в 1283, 444842 в Министсрство электропромышленности СССР

Опубликовано в «Б1оллетсне изобретений н товарных знаков» M 16 за 1964 г.

Известный способ коррекции прпосевого астигматизма, состоящий в повышении качества материалов н механической обработки линз с целью устранения нарушения вращательной симметрии фокусирующих полей этих линз, не может обеспечить необходимой степени коррекции магнитных объективов высокого разрешения.

Предлагаемое применение цилиндрической магнитной линзы позволяет достигнуть необходимой степени коррекции приосевого астигматизма магнитных объективов для электронных микроскопов высокого разрешения.

Магнитная линза может состоять из двух плн четырех токовых петель, перекрещивающихся под углом в 45 . Линза расположена в щели полюсного наконечника корректир1емоl линзы и управляется без нарушения вакуума в приборе.

На фиг. 1 схематично представлено устройство магнитной цилиндрической линзы; на фиг. 2 — электрическая схема управления линзы, состоящей из двух токовых петель.

Линза состоит из двух или четырех расположенных в одной плоскости токовых петель 1, изготовленных из изол ированных проводников и перекрещивающихся под углом 45 .

Длина а петли должна быть намного больше расстояния в между двумя параллельными проводниками петли.

Линза располагается в щели полюсного наконечника таким образом, чтобы ее плоскость была перпендикулярна оптической оси прибора, которая должна проходить через центр симметрии фигуры, обра, oâàHHoé перекрещиванием токовых петель линзы.

Такое устройство и расположение линзы позволяет устранить приосевой астигматизм без нарушения вакуума в приборе и вместе с тем снижает до минимума необходимый для коррекции ток. № 94235

Редактор И. Г. Карпас Техред А. Кудрявицкая Корректор Л. М. Комарова

Подп. к печ. 9/VII — 64 r. Формат бум. 70 Х 1081/„ Объем 0,26 изд. л. . Заказ 1468/1 Тираж 200 Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типография, ул. Сапунова, 2