Магниторазрядное откачное устройство

Авторы патента:

В. В. бов , Г. Л. Саксаганский

H01J41/20 - с использованием газопоглотительных сорбционных материалов, т.е. геттеров

366 5I5

ОП ИСАНИЕ изов ет ЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (гаюз Саветскиз

Социалистическими

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. Н Olj 41/00

Заявлено 29.Х.1970 (№ 1497157/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 16.1.1973. Бюллетень ¹ 7

Дата опубликования описания 14.П 1.1973

Комитет по делам изобретеиий и открытий при Совете тлииистров

СССР

:т QK 621.528,533 59 (088.8) Авторы изобретения

Заявитель

МАГНИТОРАЗРЯДНОЕ ОТКАЧНОЕ УСТРОЙСТВО кп в плоскости, параллельной катоду, соотггошением /г(а cog q, где q. вЂ” максимальный угол наклона поля к продольной оси ячейки.

Выполггеггис ортогопальных граней ячеек анода разновысокимп позволяет сохранить внутри я .ейки электронный сгусток, всегда ориентированный по внешнему магнитному полю при больших углах наклона вектора магнитной индукции к продольной оси ячеек

10 анода, нежели это возможно для ячеек анода в известном устройстве, что повышает эффективность откачки.

На чертеже показана разрядная ячейка электродной системы предложенного устрой15 ства.

Ячейка содержит анод 1 с вырезами б в гранях ячейки и пластинчатые катоды 2.

Наличие электронного сгустка делает возможным ударную ионпзацпю молекул оста20 точного газа, бомбардировку ими пластин катода и ионное распыление материала катода, в результате чего обеспечивается поглощение остаточны.; газов.

Магниторазрядное откачное устройство, содержащее анод с ячейками в виде параллелепипедов и пластинчатые катоды из активного

30 металла, помещенные в магнитное поле, от.гиИзооретение касается вакуумной техники, а именно устройств для создания вакуума в электронных СВЧ-приборах, ускорителях заряженных частиц и других устройствах с собственным вгагнитныхг полем.

Известно магниторазрядное откачное устройство, представляющее собой помещенную в магнпит ное поле совокупность пластинчатых катодов из активного металла и установленного между ними анода с ячейками в виде параллелепипедов.

Однако особенности процесса электрического ра зряда в,магниторазрядных насосах связаны с тем, что при непараллельности вектоpai магнитной индукции и продольной оси анодных ячеек производительность inacOca снижается, падая до нуля при некоторых критических для данной конфигурации электродной системы и величин напряженности электрического и магнитного полей значениях угла наклона вектора магнитной индукции к осям анодных ячеек.

Целью изобретения является повышение эффективности откачки в магнитных полях различной ориентации.

Для этого в предложенном устройстве ортогональные грани ячеек анода выполнены разповысокими, причем большая грань параллельна вектору магнитной индукции, а высота

Й меньшей грани связана со стороной а ячейПредмет изобретения

366515 г

Составитель Н, Дудкина

Техред Т. Курилко

Корректоры; Е. Давыдкина и В. Петрова

Редактор Е. Кравцова

Заказ 480713 Изд. № 113 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 иаюи1ееся тем, что, с целью повышения эффективности откачки в магнитных полях различной ориентации, ортогональцые грани ячеек анода выполнены разновысокими, причем большая грань параллельна вектору магнитной индукции, а высота h меньшей грани связана со стороной а ячейки в полости, параллельной катоду, соотношением h(actgq, где «р вЂ” угол наклона поля к продольной оси

5 ячейки.! !