Электродуговой испаритель геттера

Авторы патента:

H01J41/20 - с использованием газопоглотительных сорбционных материалов, т.е. геттеров

ОПИСАНИЕ

ИЗОЬРЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДИТЮЛЬСТВУ

Союз Соввтскин

Социалистимескин

Ресттублик (<1) 612315 (61) Дополнительное к авт. свил-ву(22) Заявлено 19.08,76(21) 2397429/18-25 с присоединением заявки >iQ., (23) ПриоритетвЂ” (43) Опублиновано25 08 78Бюллетень . Й23 (45) Лата опубликования описания 23 051.78

2 (51) М. Кл.

Н 01 У 41/20

Государственный комнтет

Совета MMHllCTpOB СССР по делам нзобретенни н открытий (53) УЛK 537.525 (088. 8) (72) Автор изобретения

Л. С. Гуревич (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОДУГОБОЙ ИСПАРИТЕЛЬ ГЕTTEPA

Изобретение относится к электрэдуговым испарителяч геттера для высэкэвакуумных испари тельных насосов.

Известны электрэдуговые испарители высокэвакуумных геттерных насх: эв, обеспечивающие высокие скорости испарения геттера jl). Известна также необходимость охлаждения катода этих испарителей прэточНоА водой для отвода пэдвэдилгой к ним электрическ ой мощности.

Известен также электродуговой испаритель геттера, содержащий катод, выполненный из материала сеттера, и встроенную в катод систему охлаждения с разделяющей оболочкой между ними 12). Оболочка в виде трубки выполнена из меди, а катод вЂ” из титана.

Однак о в извес тных электр эдуговых испарителях геттера через определенное время дуга перехэдит на медную оболочку системы охлаждения, так как тэк гэрения дуги для меди не превышает тока горения дуги для титана. Это ведет к выходу из строя системы охлаждения и ограничивает степень 2к использования геттера, т.е. сокращает срок службы испарителя.

Бель изобретения вЂ” повышение срока службы электрэдугового испарителя геттера, Это достигается тем, чтэ оболочка, разделяющая катод и встроенную в него систему охлаждения, выполнена из материала с величиной тока горения дуги, превышающей эту величину для материала геттера, что делает невозможным переход дуги йа систему охлаждения. Кроме того, катод может быть выполнен из титана, а оболочка системы охлаждения - из лтолибдена или вэльфрал1 а

На чертеже изображен один из вэзлтэжных вариантов предлагаемого электрэдугэвого испарителя геттера, Он содержит катод 1, выполненный из материала геттера вЂ” титана, в который встроена система охлаждения испарителя.

Эта система выполнена в виде двух концетттрическпх трубок 2 и 3. Внешняя трубка 2, отделяющая систему охлаждения or катода, выполнена из материала (вольфрам, молиб

Магниторазрядное откачное устройство // 367484

Магниторазрядное откачное устройство // 366515

Сорбционно-конденсационно-ионный сверхвысоковакуумный насос // 140123

Многопучковый высоковакуумный газоразрядный насос // 139375

Устройство для создания и поддержания высокого вакуума в газоразрядных приборах // 111517

Электродуговой испаритель // 693988

Плазменный сорбционный высоковакуумныйнасос // 740068

Магниторазрядный вакуумный насос // 771762

Магнитный электроразрядныйнасос // 813537

Комбинированный ионно-геттерный магниторазрядный насос // 970510

Электродуговой сорбционный насос // 1065928

Способ откачки газов и электродуговой испарительный насос // 1152433

Блок откачки вакуумной камеры электрофизической установки // 1336845

Магниторазрядный насос // 1351465

Комбинированная насосная система, содержащая геттерный насос и ионный насос // 2495510

Предложена комбинированная насосная система (10), содержащая геттерный насос (12) и ионный насос (13), обеспечивающая создание сверхвысокого вакуума. Геттерный и ионный насосы (12, 13) установлены на одном и том же фланце (11) и расположены на одной и той же стороне фланца (11) в двух разных точках на нем. Конструктивное выполнение заявленной системы позволяет легко извлекать постоянный магнит из посадочного места, предотвращая его размагничивание, а также крепить магнит к фланцу различными способами, что обеспечивает повышение надежности работы системы. 7 з.п. ф-лы, 5 ил.