Магнитный электроразрядный насос
37!633
Сп>оа Ссостсних
Гс<<иалистичесl Республин К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЙЬСТВУ Зависимое от авт. свидетель(твя М М. 1л. Н 0(j 11/00 Заявлено 15. IV.1968 (№ 12;И002/26=25) с присоединением заявки М— Комитет по лолам иапо(1етеиий H о<1<р(<то(1 при Совете Мииистров СССР 1 I (I I1npItтет УДК 621.528.5 (088.8) Опчблико<1<(ио 22.11.1973. 131< ллетеиь !¹ 12 Дата оиуолпкования описания Авторы изобретеш<я Б. Г. Беккер и С, 13. Соловьев Заявитель МЛ IlHTHbIA ЭЛЕК1 РОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС э <-х,о сс Д;<Л
Для лучшего использования площади анода трубке спирали придают овальное сечение, чем обеспечив»ют паиболес эффсктивпос его (<ХЛЯОI;ЛЕИИС. Для обеспечения за<мкнузого ссче;<ия ячсск можно испо тьзОВ»ть пластины, сл >к 1<1 для крепления »иод» (ii» <сртся<с ис пок»»»11(.1) . Предляг<1< мые ttacocI! с 0iл»жд»емым »подом могут быть использованы при откачке . -)1311, !<»пример свсрхмалоп< мящих ЛБВ и параметрических ic;iл<ителси, так кяк, кроме обеспсчс.(и!1 высокого прсдсльпого вакр it;i, Опи расширяют возможности подбора режимов отка (к;1 за с<ет регулирования скорости 0 1 к аl 1 и l I .. 21) Alаг<11ITп ы и злеi(TРОР ЯЗP11Д!<ый 11(l сос, 00держащий размещенные в магнитном иолс 25 плястинчатые катоды из активных мст»ллов и охлаждаемый анод, отличающийся тем, что, с целью повышения пускового давления и обеспечения устойчивой работы насоса прп давлениях ниже 10 11,1! рт. ст., анод выполнен 30 в виде спирали, иавитой из трубки. Изобретение 0TIIOcHTcit к области вакуумной техники и может быть использовано при конструировании магниторазрядных насосов. Известен магнитный электроразрядный насос, содержащий размещенные в магнитном иоле пласт<шчатые катоды из активных мет»ллов и охл»ждаемый анод. Известная конструкция пс обеспечивает эффективного охлахкдения анода. 11ель изобретеш<я — повышение пускового давления и обеспечение устойчивой работы пасоса при давлениях ниже 10 — " л<,!! рт. ст. :1» 1. ic Г бол(. (. эффективного Охлаждения анОд». Цель достигается тем, что в предлагаемом магнитном электроразрядиом насосе анод шлполиен в виде спирали, íавитой из трубки, по которой пропускают хладагент. При этом вслелствие термической эффузии газа, проявля<ощейся как повышенная концентрация газа в области ячеек, возрастает разрядный ток, который вызывает более интенсивное распыление материала катода; кроме того, повышается сороция газов Охляждяемыми пленками активного металла на аноде. Ня чертеже изображен анод предлагаемого насоса с сечениями по 1 — А и Б — Б. Спираль изготовляют, например, из медной трубки, предварительно заполненной параф:шом. После изготовления анода парафин Предмет изобрстсп;<я А-A Составитель Н. Дудкина Рсдги<тср И. Орлова Тскред Т. Курилко Корректоры: Н. Про <уратова и А, Степанова Заказ 2443 Изд. ¹ 1200 Тираж 780 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, )1(-35, Раушская иаб., д. 4/5 Загорская типография
