Устройство для контроля процесса травления
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ, содержащее ванну травления с установленным на ее выходе датчиком размера, связаннь5м с последовательно соединенными преобразователем , амплитудным детектором и индикатором, и электропривод намотки с целью управления, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля и надежности в работе, оно снабжено преобразователем с амплитудно-фазовым детектором , компараторами, источниками опорного напряжения, логическими элементами 2И-НЕ, ключами с задержкой и сигнализатором, причем амплитудно-фазовый детектор включен в линию связи преобразователя с индикатором , выход амплитудно-фазового детектора подключен к двум входам компараторов, два других входа которых подсоединены к источникам опорного напряжения, выход первого компаратора подключен к входам первого логического элемента 2И-НЕ, выход которого подключен к входам второго (О логического элемента 2И-НЕ, а выход второго компаратора соединен с входа (Л ми третьего логического элемента 2И-НЕ, выходы второго и третьего элементов 2И-НЕ подключены через соответствующие ключи с задержкой к сигнализатору, включенному в цепь управления электроприводом намотки. .
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (1)4 С 25 D 21/12
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЬП ИЙ (21) 3471326/22-02 (22) 14.05.82 (46) 07.08.85. Бюл. № - 29 (72) В.В. Братухин (53) 621.357.77(088.8) (56) .1. Авторское свидетельство СССР
¹ 806789, кл. С 25 В 21/12, 1979.
2. Авторское свидетельство СССР
¹ 836246, кл. С 25 D 21/12, 1979 (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ
ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ, содержащее ванну. травления с установленным на ее выходе датчиком размера, связанным с последовательно соединенными преобразователем, амплитудным детектором и индикатором, и электропривод намотки с целью управления, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля и надежности в работе, оно снабжено преобразователем с амплитудно-фазовым де„„SU„„1131254 тектором, компараторами, источниками опорного напряжения, логическими элементами 2И-НЕ, ключами с задержкой и сигнализатором, причем амплитудно-фазовый детектор включен в линию связи преобразователя с индикатором, выход амплитудно-фазового . детектора подключен к двум входам компараторов, два других входа которых подсоединены к источникам опорного напряжения, выход первого компаратора подключен к входам первого логического элемента 2И-НЕ, выход которого подключен к входам второго логического элемента 2И-НЕ, а выход второго компаратора соединен с входами третьего логического элемента
2И-НЕ, выходы второго и третьего элементов 2И-НЕ подключены через соответствующие ключи с задержкой к сигнализатору, включенному в цепь управления электроприводом намотки.
1131254 т гт
i т
";i т
Изобретение относится к гальвано
ТЕХНИКЕ И МОжЕт ОЬ:ТЬ т(СПОЛтЗОВаис
ДЛЯ Я "г(ТОМг(ТИЗЯЦИИ ПРОГ(»»СГЙ ЭЛЕКТРО химической обработки 2!Здет(ий большой протяжсннсс-, :j, например проволоИзвестно устройство ав поматического регулирования про (Bcca электрохимическогс Гравлени(1 микропро-Вс(.ОКИ,, ССЦЕР»каij;;- С Ва Н(.У ТРаВЛЕ(П!Я, датчик размера., е !Icoc j- сй и »(ондуктсметрическ. и и еоо,-.азователи и блс сравнения
НедсстGTQK дан»ого устройства заключается а слох(ности кснструкц(!и
И В ТРУДНО ги ЕГО ПРаКтИЧЕСКСГО ИСПОЛ ЬЗ ОВЯНИЯ В ii(»30 :.!ЫШЛЕН((OC I I(.
Наиболее б.!IIoким по техническои сущнсст((и достигасмом pBaóaj,raòó к иэ Обрет еньпв я Вля ется т»тс гройс тв с для контроля процесса травления, содержащее ванну тра зления с установленным ня ее выходе датчиком размера, связанным с. послед,сватет(ьHG соединенными преобразователе:лг амплитудньгм детектором и индика": с— ром, =лектро IpHaoä намотки с цепью
Недсстаткс r устройства является
Лсжг»ОС " Ь В Э КCЛЛУ»ЯТЯЦИИ . НГI 3КЯЯ .-, я ц» iKHoc t ü, Об»! cJIcaëBí!Ij:IB низкой
3 (I:(и (3 К Т и в Н с С Т Ы О . О глП (т Н С Я III I И в ыС О К (3
И I„IIIBК СЧЯ го Гт!T тгк 130al»(3rlj(Blj (й i)(1((3В ij! кс.l " 3ом i:.0(.:";! -. .,:.:.3м самонастройки., в р(a-:,ò,.(зте -te-:О perулятор входит в .3 i ав(;,кслеб;., ..- ь:.ый Ое.-:;." .. Ца.же при cod J B б а ниях
Дна »- B p»ri . С i it 0 (i ji» 1 ",0 ° . О О ВОЛОКИ!. (03(тт и зоб Оет сния — IIoaь(пс j»»IB Г с -I " ног- ти контроля и надежности работы. (е(,;I«(2": иг:B for! тем что устрсйСОД E .(тт»(г» щ Е Вг» » Птт г. »В;-т а гтт.,я г >тсТЯ
НСВЛ Е. . Г . т1М 1=:" а С ВЬ(Х 3, ;(Да Т " И К 021
Ра 3(ЧЕ -,". ((т; -: а т(", 12Л» - 1(OC (-, Еi» O гта т- » Л(—,„»»
COBr 1I т; !тНЫ(Л-,-; II!3 BO(323,-,..oaaТЕЛBj»;
P0 j> 01!ЕКТ(Э»ЭГ(РИЛ(3,.- !»!!(ЭТКИ, С .;ЬЛЬЮ
yjrj3 rCag (ЕНИН ., СНЯ(3 Гг»10 I(p» ()б»3(!HO!I»j !03 " »С»»т!П»Г ИТ" тг 110 ((эа: !3 ттт " Е C Г Оттт КС М
lIHP» j 0P»j2»j»»j (1, т. От:,!!ИК». »Пт 01: 0-3;i Î вЂ” С наг.ряжения, л;-.и-;.Bc Iс.!3; т
2 И . т т К»»»т»»1 М»» С» =-. (». (3»ттт
ЛИ 3 Я Т О р С М, Пт (3 2! тт .ЕМ т а 2Л»21 Л т(Т у,-.. т 0-ьф Я 3 СВЫЙ ДЕТЕК!»ОР ВКТIЮ" СН Ы 1И(П»(Ю ((Я З»!
ripe»0(3j3 j 3 ВЯТ E IIß С 11(ЦИ((»З Т (т!3(3((. 12Ь»Э(0(3
ЯМПЛИТ Ч -. »С" фаз ОВОГС 1(ЕТ 2 »(f 0!3»I Г(ОД
КЛЮ-т Е. ; К Д!ЬУМ ВХ Одтаы КС М(1»т!3 B»f OPß,, два других входа которого подсое— динены к источникам опорного напряжения, выход первого компаратора подключен к входам первого логическсгс элемента 2И-НЕ, выход которого подключен к входам второго логического элемента 2И-НЕ, а выход второго ксмпаратора соединен со входами (ретьего лсгичес-coro элемента 2И-НЕ, выходы второго и третьего логических элементов 2И-HE подключены через соответствующие ключи с задержкой к сигнализатору, включенному в цепь управления электроприводом намотки.
На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.
Устройстan содержит ванну 1 травления, заполненную электролитом, электродами, между ксторьпли движется обрабатываемое изделие 2, размер изце. ия контролируется на выходе ванны с помощью датчика размера 3, связанного с последовательно соедине ными Г(реобразователем 4, амплитудно-фазовым детектором 5 и индикатоp0ì 6. Выход амплитудно †фазово д".- ектсра подсоединен к входам ком— параторов 7 и 8, два других входа
IcoTopûõ подключены к источникам 9 и
1(опорного напряжения, регулиров— кой вьтхоцных напряжений этих источников устанавливаются соответственно нижний и верхний технологичес.;.::.-:с допуски llo размеру изделия.
Вь(ход ком!1аратора 7 подсоединен к входа:1 первого логического элемен" (2И вЂ” НЕ, вьacop которого подсоеД(т НСН К ВХОДаl i ВТОРОГО ЛОГИЧЕСКОГО
12 2И-НЕ, выход ко(лпаратора 8 соединен с входами третьего логического о..1BìB:-(òà 13 2И-HF, вь(ходы логически . Элементов 12 и 13 подключены
":.:.-ез ключи с задержкой 14 и 15 к сит нялизатopy 16, включенному в ,e; —:I управления электроприводом 17 нот стки проволоки на катушку 18.
Устр эйство работает следующим
- O6P-"»ЗОМ. (.б(3абатываемое изделие 2 движется через ванну 1 травления между
"-.(iB j(трсда2(л, питание на которые подается от трансформатора Тр. В результa j B осработки размер изделия
2 на выходе ванны, уменьшается, что контролируется датчиком размера 3, связанным с последовательно соединеннь((ли преобразователем 4, с помощью
11312 которого сигнал с датчика размера
3 усиливается до величины напряжения, необходимого для надежной работы амплитудно-фазового детектора 5.
Амплитудно-фазовый детектор 5 преобразует напряжение высокой частоты в напряжение постоянного тока, амплитуда которого пропорциональна размеру изделия а полярность — знаку
/ отклонения. Текущее значение разме- 1О ра изделия контролируется с помощью индикатора 6, подключенного к выходу блока 5. Выходной сигнал с блока 5 посту= пает на входы компаратора 7 и 8, вто- 15 рые входы которых подсоединены к соответствующим источникам опорного напряжения 9 и 10.
Работа логического блока, содержащего элементы 2И-НЕ осуществляет- 2О ся в следующей последовательности.
Исходное состояние: в момент времени (t ) размер изделия не превы- . о шает установленных допусков. При этом на выходе компаратора 7 формируется логический сигнал О, на выходе логических элементов 11 и 12 соответственно сигналы 1 и О, на выходе компаратора 8 логический сигнал 1, элемента 13 — О, следовательно, сигналы на вход ключей
14, 15 с задержкой не поступают, сигнализатор 16 не срабатывает и не . выдает командный сигнал на отключение электрапривода намотки.
Допустим теперь, что в момент времени (+ ) размер изделия изменился и t стал выше технологического допуска, предварительно установленного с помощью источника опорного напряжения 9, подсоединенного к одному из входов компаратора 7. При этом на его выходе формируется логический сигнал 1, на выходе логических элементов 11 и 12 соответственно О и
1, на входах компаратора 8 и элемента 13 сигналы без изменения — 1 и О
54 4. следовательно, на входе ключа 14 сигнал 1, ключа 15 О сигнализатор выдает командный сигнал на электропривод и процесс обработки иэделия прекращается, чтобы устранить причины выхода размера изделия за допуск, Этот сигнал выдается с задержкой, исключающей случайные отключения электропривода.
При превышении в момент времени ( В случае, когда размер обрабатываемого изделия снова находится в пределах допуска1 цикл работы устройства повторяется. Производственные испытания данного устройства показали высокую надежность и точность работы, что позволило устанить имеющиеся недостатки известных устройств, сократить число контролеров и рабочих, процент брака, автоматизировать отключение оборудования при выпуске некондиционных по размеру изделий; повысить производительность оборудования. Экономический эффект от внедрения одного устройства составит 1,5 тыс. рублей. 1131254 Корректор Г. Решетник Редактор С. Письман ТехредМ.Надь Заказ 5720/1 Тираж 637 . Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытйй 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4
