Устройство для формирования импульсов управления корпускулярным лучом

 

Изобретение относится к автоматике и .вычислительной технике и может использоваться в схемах для управления корпускулярным лучом при получении структурированных поверхностей в области микроэлектроники. Оно может найти применение в корпускулярно-лучевых приборах, в особенности в электронно-лучевых приборах с линейно расположенными мультиотклоняющими системами. Целью г зобретения является повышение быстродействия устройства. Поставленная цель достигается введением в устройство, содержащее блок памяти 1 и блок синхронизации 7, первого буферного регистра 2, блока обработки информации 3, последовательно соединенных блока элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 4 и второ го-буферного регистра 5, выходы 6 которого являются выходами управления корпускулярным лучом. В каждом элементе формирования значения краевой точки, входящем в состав блока обработки информации накапливаются данные для управления краем фигуры. Каждый из трех двоичных разрядов сигналов управления краем фигуры характеризует угол прохождения края: К5д ° RSe,0 , . 8 ил. +45° с б V)

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) GD4 С06 F 15 20

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ н лвтогсномч саидетяльствм

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНЯТИЙ (89) 203429 DD (21) 7772471/24-24 (22) 03.06.82 (31) W P Н 01 J/232305 (32) 03. 08. 81 (33) DD (46) 07.05.87. Бюл. Ф 17 (71) ФЕБ Карл Цейсс ИЕНА (РВ) (72) Ейххорн Ханс-Гюнтер и Грамсс

Юрген (00) (53) 681.327(088.8) (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ИМПУЛЬСОВ УПРАВЛЕНИЯ КОРПУСКУЛЯРНЫМ

ЛУЧОМ (57) Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и может использоваться в схемах для управления корпускулярным лучом при получении структурированных поверхностей в области микроэлектроники. Оно может найти применение в корпускулярно-лучевых приборах, в особенности в электронно-лучевых приборах с линейно расположенными мультиотклоняющими системами. Целью изобретения является повышение быстродействия устройства. Поставленная цель достигается введением в устройство, содержащее блок памяти 1 и блок синхронизации 7, первого буферного регистра 2, блока обработки информации

3, последовательно соединенных блока элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 4 и второго-буферного регистра 5, выходы 6 которого являются выходами управления корпускулярным лучом. В каждом элементе формирования значения краевой точки, входящем в состав блока обработки информации накапливаются данные для управления краем фигуры. Каждый иэ трех двоичных разрядов сигналов управления краем фигуры характеризует угол прохождения края: RSä

=+45 RS>=0 RSc= 45 ° 8 ил.

1 130903

Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и может использоваться в цифровых схемах для управления корпускулярным лучом при получении структурированных поверхностей в области микроэлектроники.

Оно может найти применение в корпускулярно-лучевых приборах, в особенности в электронно-лучевых приборах с линейно расположенными мультиоткло- <0 няющими системами.

Известно устройство для построения графиков (патент США Р 3684871, кл. 235-150, опублик, 1972), содержащее блок исходных данных, блок памяти, вычислительный блок и блок синхронизации.

Недостатком устройства является большое время преобразования топографических данных в управляющую инфор- 20 мацию.

Целью изобретения является повышение быстродействия устройства при структировании сложных полигонально ограниченных поверхностей 2-ro поряд- 25 ка с параллельными оси и/или наклоно ными под углом 45 линиями, ограничивающими фигуру.

На фиг. 1 представлена структурная 30 схема устройства; на фиг. 2 и 3 схема для получения столбца краевых точек; на фиг. 4 — 6 — выполнение блока. элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ; на фиг. 7 и 8 — пример расположения краевых точек при формировании требуемой структуры.

Устройство содержит блок 1 памяти, первый буферный регистр 2, блок 3 обработки информации, блок элементов 4О

ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 4, второй буферный регистр 5, выходы б управления корпускулярным лучом, блок 7 синхронизации блок 3 обработки информации содержит элементы 8 формирования зна- 5 чений краевых точек, каждый из которых содержит первый, второй и третий Т-триггеры 9,10,11, образующие первую, вторую и третью группы Т-триггеров блока обработки информации, пер-50 вый, второй и третий элементы И 12, 13, 14, образующие первую, вторую и третью группы элементов И, элемент НЕ

15, дешифратор 16, элементы ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 17 и 18, образующие первую и вторую группы элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ блока, выходы 19 предыдущего и входы 20 последующего элементов формирования значений краевых точек, 6 2 выходы 21 последующего и входы 22 предыдущего элементов формирования значений краевых точек, третий и четвертый выходы блока синхронизации 23 и ?4, одни из выходов 25 (сигналы управления краем RSA, КБ, RS ) первого буферного регистра, другие выходы 26 первого буферного регистра (ададресные сигналы), первый 27 и второй

2S и третий 29 выходы блока синхронизации, выходы 30 элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 18, логические блоки 31 и 32, выход 33, вход 34 переноса, логические элементы 35, выходы логических элементов 36, выход 37 блока 32, краевые точки 38, возбужденные точки 39 изображения, невозбужденные точки 40 и угловые точки 41 фигуры.

Устройство работает следующим образом.

В соответствии с количеством выходов б управления корпускулярным лучом в блоке 3 обработки информации предусматривается определенное число элементов формирования значений краевых точек. Для каждой точки изображения предусмотрено по одному элементу формирования. В каждом элементе 8 с помощью триггеров 9 — 11 накапливается информация управления краем для угловой точки фигуры. Каждый из

3-х двоичных разрядов сигналов 25 управления краем (RSa RSs RSc) характсризует угол прохождения края.

Соответственно

RSp,=+45 ; RS>=O ; RS<= 45

Код 000 означает левое и верти" кальное направления или два левых направления и стирает одну точку в блоке 3. Другие возможности кодирования LOO/OL0/OOL/LOL/LL0/OLL предназначены для угловых точек фигуры с одним или двумя правыми направлениями. L на выходе триггера 9 характеризует прохождение края под углом

+45 относительно осей координат, триггера 10 — параллельно оси х т.е. о

О, и триггера 11 — прохождение края под углом -45

Вырабатываемые блоком такты 23 обеспечивают получение нужного количества точек края фигуры.

Такт 23 действует в блоке 3 как такт сдвига, при этом триггеры 9 элементов 8 представляют собой регистр сдвига, передающего информацию в положительном направлении (+у) через выходы-входы 19 и 20, параллельно с

1309036

3 этим триггеры 11 элементов 8 через входы-выходы 21 и 22 реализуют регистр сдвига с противоположным направлением сдвига (-у).

На состояние триггера 10 такт 23 не оказывает влияния, его состояние сохраняется неизменным.

Если для определенного значения края фигуры по координате х в регистре 2 накапливается заново поступаю- 10 щая информация об угловых точках, состоящая из адресного сигнала 26 для у-координаты и соответствующих сигналов 25 управления краем, то они заносятся с помощью тактовых импульсов 24 15 в триггеры 9 — 11 элементов 8. Количество необходимых тактов 24 соответствует числу угловых точек, заносимых в столбец элементов.

С помощью дешифратора 16 формирует20 ся для этой цели на время приложения такта 24 импульс, которьп на входах .сброса триггеров 9 — 11 вызывает стирание и благодаря задержке элементов И 12-14, а также задержке элемен-25 та НЕ 15 — установку триггеров 9-11 в положение, соответствующее значениям двоичных разряпов RS>, RS> и RS .

Кроме того, в каждом элементе 8 выходы триггеров 9-11 соединены элемен- 30 тамиИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 17 и 18 и обеспечивают получение выходного сигнала 30, представляющего собой формируемый сигнал для краевой точки (i).

Количество К-выходных сигналов образует столбец краевых точек 30,-30», Фигуры 4-6 поясняют конструкцию блока элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ для формирования столбца в двоичном коде.

Пример исполнения выполнен для числа 40 точек столбца 1<=2048.

Блок 4 состоит из 16 логических блоков 31 более высокого порядка, соединенных с помощью элементов ИСКЛЮ-. 45

ЧАЮЩЕЕ ИЛИ, сами блоки 31 состоят из ° блоков 32 первого порядка, которые соединены элементами ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ и имеют выход 33, служащий для быстрого сброса по принципу ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ

ИЛИ. Каждый блок 31 имеет вхоц 34 переноса. Каждая ячейка 32 содержит восемь последовательно соединенных элементов 35. На каждый элемент 35 поступает сигнал о значении краевой точки и с выхода предыдущего логического элемента. Выходы 36 несут информацию о восьми элементах отображаемого столбца.

Для достижения быстрого образования переноса восемь входных сигналов объединяются с помощью семи элементов и образуют выходной сигнал 37.Фигура 8 демонстрирует полное количество сформированных для требуемой структуры согласно фигуре 7 с помощью блока 3 столбцов краевых точек скраевыми точками 38, а также полученное с помощью блока полное количество столбцов топологии двоичных знаков с возбужденными (светлыми при разВерТКе) точками 39 изображения; Точка 40 изображения в данном примере не возбуждена, что обусловлено элементами типа ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 17 и 18 (фиг. 2), Угловые точки 41 с управлением краем (RS =000) формируются помощью тактов 24 и вызывают стирание полученных в тактах 23 соответствующих краевых точек 38.

Формула изобретения

Устройство для формирования импульсов управления корпускулярным лучом, содержащее блок памяти и блок синхронизации, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повьппения быстродействия устройства, оно содержит первый буферный регистр, блок обработки информации и последовательно соединенные блок элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ

ИЛИ и второй буферный регистр, вто" рые входы которого и блока элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ соединены с первыми и вторыми выходами блока синхронизации, выходы второго буферного регистра являются выходами управления корпускулярным лучом, причем блок обработки информации содержит две группы последовательно соединенных

Т-триггеров, третью группу Т-триггеров, три группы элементов И, элементы НЕ, две группы элементов HCKJHOЧАЮЩЕЕ ИЛИ и дешифраторы, выходы элементов И групп соединены с S-входами Т-триггеров, R-входы которых соединены с выходами дешифраторов, первые входы элементов И групп соединены с одними из выходов первого буферного регистра, вторые входы элементов И групп соединены с выходами элементов НЕ, входы которых соединены с выходами дешифраторов, С-входы

Т-триггеров первой и третьей групп соединены с третьим выходом блока

5 1309036 б синхронизации, входы групп дешнфра- соединены с входами элементов ИСКЛЮторов соединены с другими выходами ЧАЮЩЕЕ ИЛИ первой группы, выходы капервога буферного регистра, вход-вы- тарых и выходы Т-триггеров третьей ход которого соединен с пятым выходом группы соединены с входами элемени входам блока синхронизации, входы 5 тав ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ второй группы, дешифратаров соединены с четвертым выходы которых ссединены с входами выходом блока синхронизации, выходы группы блока логических элементов

Т-триггеров первой и второй групп ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ, I

SR

>a Zf

$с

19 Я I ZZ С;

Фиг. 2

f309036

1309036

1309036

Е12

Ж

Ж

Ф/

Составитель А.Кулиева

Редактор А.Ворович Техред М.Ходанич Корректор Л.Пилипенко

Заказ 1800/42 Тираж 673 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб °, д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4