Устройство для резки пластин

 

Изобретение относится к области обработки резанием неметаллических материалов, а именно к разрезке полупроводниковых пластин, и может быть использовано в электронной промышленности . Целью изобретения является повышение точности отрезаемых пластин . Цель достигается тем, что одна пара направляющих, на которьж установлены шпиндель и вакуумный стол, выполнена цилиндрической, а другая - плоской, причем опоры вакуумного стола, взаимодействующие с плоскими направляющими, выполнены в виде аэростатических подпятников с приспособлением для регулировки положения вакуумного стола относительно оси шпинделя . 4 ил. 00 ел (Х со ;о

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) 139 А1 (sb 4 В 28 D 1/18

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4046260/29-33 (22) 31.03.86 (46) 15.12.87. Бюл. У 46 (72) В.Н.Вилков, Ю.Б,Кусакин, Л.А.Метелев и Г.В.Шуваев (53) 679.8.055(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 327074, кл. В 28 D 1/18, 1970.

Авторское свидетельство СССР

М 617271, кл. В 28 D 1/18, 1976.

Авторское свидетельство СССР

У 952619, кл. В 28 D 1/18, 1982. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕЗКИ ПЛАСТИН (57) Изобретение относится к области обработки резанием неметаллических материалов, а именно к разрезке полупроводниковых пластин, и может быть использовано в электронной промышленности. Целью изобретения является повышение точности отреэаемых пластин. Цель достигается тем, что одна пара направляющих, на которых установлены шпиндель и вакуумный стол, выполнена цилиндрической, а другая— плоской, причем опоры вакуумного стола, взаимодействующие с плоскими направляющими, выполнены в виде аэростатических подпятников с приспособлением для регулировки положения вакуумного стола относительно оси шпинделя. 4 ил.

1 1359139 ентации.

Устройство работает следующим образом.

Перед началом работ на устройстве проводится выставление параллельности плоскости вакуумного стола 5 относительно плоскости поперечных направляющих шпинделя 7, что осуществляется за счет изменения положения регулируемых подпятников 16. Это достигается вращеьием винтов 18 и 19, которыми приподнимают или опускают правый край каретки З..С помощью гаек 23 и 24 выполняют фиксацию выставленного положения каретки.

Отрегулировав положение вакуумного стола, на нем закрепляется пробная пластина и производится рез. Затем визирную линию видеоконтрольного устройства (телевизора) совмещают с линией реза, воспроизводимой на экране с помощью головки 6 оптической, и в дальнейшем данная линия служит базой для ориентации других пластин. Рабочую пластину, закрепленную на спутнике с помощью адгезионной пленки, устанавливают на вакуумный стол 5 и фиксируют ее с помощью вакуума. После введения в программу установки технологических параметров резки устройство самостоятельно производит разделение пластин на кристаллы в двух взаимно перпендикулярных направлениях.

Линейные перемещения кареток по осям Х и У осуществляются с помощью шаговых двигателей по неподвижным комбинированным аэростатическим направляющим. Цилиндрическая направляющая обеспечивает идеально прямолинейное перемещение, а плоская выполняет роль чисто несущей штанги. Использование плоской направляющей,в комплексе с аэростатическими подпятниками приводит к созданию системы коррекции угла наклона плоскости вакуумного стола. Отсутствие второй цилиндрической направляющей приводит к ликвидации перекосов корпусов кареток.

Устройство для резки пластин, содержащее корпус с двумя парами взаимИзобретение относится к обработке резанием неметаллических материалов, а именно к разрезке полупроводниковых пластин, и может быть использовано в электронной промышленности.

Цель изобретения — повышение точности отрезаемых пластин.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для резки пластин 1О одна из каждой пары направляющих выполнена цилиндрической, а другая плоской, причем опоры вакуумного стола, взаимодействующие с плоской направляющей, выполнены в виде аэростатических подпятников с приспособлением для регулировки положения вакуумного стола относительно оси шпинделя.

На фиг. 1 показано устройство, общий вид; на фиг. 2 — сечение А-А на 2р фиг. 1; на фиг. 3 — сечение Б-Б на фиг. 1, на фиг. 4 — конструкция аэростатических подпятников.

Устройство содержит корпус 1, шпиндельную бабку 2, каретку продольной 25 3 и поперечной 4 годач, вакуумный стол 5, систему совмещения с оптической головкой 6 и систему подачи смазочно-охлаждающей жидкости. На валу шпинделя 7 закреплена оправка 8 с ал- 30 мазным кругом. Шпиндель 7 крепится на каретке поперечной подачи 4, приводимой в движение с помощью ходового винта 9 и гайки 10 от шагового двигателя 11.

Каретки поперечной 4 и продольной

3 подач перемещаются по комбинированным направляющим: цилиндрическим

12 и 13 и плоским 14 и 15. Корпуса кареток снабжены регулируемыми аэро- G статическими подпятниками 16 и 17 круглой формы, опирающимися на плоские направляющие и закрепленными в корпусах кареток 3 и 4 с помощью винтов 18 и 19. Воздух в зазоры меж- дб ду плоской направляющей 14 и подпятниками 16, а также направляющей 15 и подпятниками 17 подается через отверстия малого диаметра, расположенные в основании подпятников 16 и 17. БО

Вакуумный стол 5 выполнен универсальным и предназначается для крепления всех пластин, вписывающихся своим размером в контур его поверхности. Вакуумный стол 5 центрируется на промежуточном столе 20 и фиксируется по притертым плоскостям Г посредством вакуума. Промежуточный стол 20 устанавливается в аэростатическом подшипнике 21 с опорой на шарик 22 для обеспечения минимального сопротивления трению при повороте о стола на 90 и в пределах углов сриФ о р м у л а изобретения

1359139 но перпендикулярных направляющих, на которых установлены каретки со шпинделем, и вакуумный стол, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности отрезаемых пластин, одна из каждой пары направляющих выполнена цилиндрической, а другая — плоской, причем опоры вакуумного стола, взаимодействующие с плоской направляющей, выполнены в виде

5 аэростатических подпятников с приспособлением для регулировки положения вакуумного стола относительно оси шпинделя.

1359139

Составитель В.Моисеев

Техред Л.Сердюкова

Корректор А.Зимокосов

Редактор А.Долинич

Заказ 6105/18

Тираж 525

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, r.Óæãoðoä, ул.Проектная, 4