Способ контроля неоднородности толщины диэлектрических пленок

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контрол я однородности толщины диэлектрических пленок в процессе их нанесения на прозрачные подложки. Целью изобретения является повышение точности за счет увеличения контраста интерференционной картины. Для этого уравнивают интенсивности пучков, участвующих в интерференции, путем предварительного нанесения на подложку металлической пленки с коэффициентом R отражения , равным R 7T--rj, где г - коэффициент отражения на границе диэлектрическая пленка - окружающая среда.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)4 G 01 В

ВНЕС(НОЗЫ йй ,,1В

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ н двтогсномч свидктвчьств

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3990668/24-28 (22) 17. 12.85 (46) 23.0?.83. Бюл. К 27 (71), Львовский политехнический институт им. Ленинского комсомола (72) И.Д.Набитович и Н.Н.Романюк (53) 53 1, 717. 11(038.8) (56) Авторское свидетельство СССР

И - 480871, кл. G 01 В 11/06, 1974. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОДНОРОДНОСТИ

ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может

„„Я0„„1411575 А 1 быть использовано для контроля однородности толщины диэлектрических пленок в процессе их нанесения на прозрачные подложки. Целью изобретения является повышение точности за счет увеличения контраста интерференционной картины. Для этого уравнивают интенсивности пучков, участвующих в интерференции, путем предварительного нанесения на подложку металлической пленки с коэффициентом К отражег ния, равным К=- — — — где r - -коэффи(1-r) 2 i циент отражения на границе диэлектрическая пленка — окружающая среда.

1411575

По картине полос осуществляют контроль однородности толщины напыленной диэлектрической пленки.

Формула изобретения

R=- — —— (1 r)ò где r — коэффициент отражения на границе пленка — окружающая среда.

Составитель В.Бахтин

Редактор И.Ыулла Техред Л.Олейник Корректор О.Кравцова

Заказ 3643/36 Тираж 630 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, R-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к контрольно1узмерительной технике и может быть использовано для контроля однородности толщины прозрачных пленок наноУ 5 имых на прозрачную подложку с коэф ициентом преломления, близким к коффициенту преломления пленкч.

Целью изобретения является повышее точности контроля за счет увели- 1р

1 ения контраста интерференционной артины.

Способ осуществляется следующим бразом.

Перед нанесением диэлектрической 15 енки на прозрачную подложку напыяют металлическую пленку с коэффиентом R отражения, равным

R=-- —— (1-r) 20 де г — коэффициент отражения на границе пленка — окружающая среда.

Регистрируют в отраженном пучке нтерференционную картину, образо- 25 анную накоплением пучков, отражены от границ диэпектрическая плена — окружающая среда и металличесая пленка — диэлектрическая пленка.

Способ контроля однородности толщины диэлектрических пленок, нано.М симых на прозрачную подложку с коэффициентом преломления, близким к коэффициенту преломления пленки, заключающийся в том, что освещают пучком монохроматического излучения диэлек грическую пленку и регистрируют в отраженном пучке интерференционные поJlocbI> fIo KoTopbIM судят Об Однороднос ти толщины пленки, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения точности контроля, на прозрачную подложку перед нанесением диэлектрической пленки напыляют металлическую пленку с коэффициентом R отражения, равным