Криоадсорбционный насос

 

Изобретение позволяет улучшить откачные характеристики, повысить надежность и обеспечить непрерывность действия насоса. В корпусе 1 размеш.ены цилиндрический сосуд 2 для хладагента и адсорбционная кассета (К) 3. КЗ установлена с возможностью перемещения, имеет днише 4, эквидистантно расположенное относительно поверхности сосуда 2, и снабжена адсорбционным слоем 5, ограниченным газопроницаемым экраном 6. Дополнительная К 7 расположена диаметрально противоположно К 3. 8, 9 десорбции имеют окна 14, соосные К 3, 7, и снабжены нагревателями 15, уплотнителями 16 и направляющими 17, соосными отверстиям 13 фланцев 11, 12 К 3,7. Электромагнит 10 размеш,ен в сосуде 2 и снабжен полюсными наконечниками 18, обращенными к К 3, 7. Сосуд 2 выполнен из немагнитного материала и снабжен направляющими 19, соосными направляющим 17 и расположенными с зазорами 20, меньшими толфланцев 11, 12. Слой 5 выполнен в виде спрессованной и намагниченной смеси адсорбента и порошка из магнитотвердого материала. Слой 5 м.б. выполнен в виде тканого угольного адсорбента. Фланцы 11, 12 выполнены из магнитного материала, что обеспечивает сменяемость К и их попеременнук) работу. 2 з.п. ф-лы, 2 ил. ( (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

À1! ц 4 F 04 В 37/02 (+

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АBTGPCHÎMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (2 1) 4265180/25-29 (22) !1.05.87 (46) 30.12.88. Бюл. № 48 (71) Научно-исследовательский, проектноконструкторский и технологический институт по тяжелому электромашиностроению

Завода «Электротяжмаш» (72) И. А. Циммерман (53) 621.528.3 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 779625, кл. F 04 В 37/02, 1978. (54) КРИОАДСОРВЦИОННЪ|й НАСОС (57) Изобретение позволяет улучшить откачные характеристики, повысить надежность и обеспечить непрерывность действия насоса. В корпусе 1 размещены цилиндрический сосуд 2 для хладагента и адсорбционная кассета (К) 3. К 3 установлена с возможностью перемещения, имеет днище 4, эквидистантно расположенное относительно поверхности сосуда 2, и снабжена адсорбци„„SU „„1448098 онным слоем 5, ограниченным газопроницаемым экраном 6. Дополнительная К 7 расположена диаметрально противоположно К 3.

Камеры 8, 9 десорбции имеют окна 14, соосные К 3, 7, и снабжены нагревателями 15, уплотнителями 16 и направляющими 17, соосными отверстиям 13 фланцев 11, 12 К 3,7.

Электромагнит 10 размещен в сосуде 2 и снабжен полюсными наконечниками 18, обращенными к К 3, 7. Сосуд 2 выполнен из немагнитного материала и снабжен направляющими 19, соосными направляющим 17 и расположенными с зазорами 20, меньшими толшины фланцев 11, 12. Слой 5 выполнен в виде спрессованной и намагниченной смеси адсорбента и порошка из магнитотвердого материала. Слой 5 м.б. выполнен в виде тканого угольного адсорбента. Фланцы 11, 12 Ж выполнены из магнитного материала, что обеспечивает сменяемость К и ии поперемен- йас ) ную работу. 2 з.п. ф-лы, 2 ил. С:

Формула изобретения

45

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям криоадсорбционных вакуумных насосов, обеспечивающих непрерывность процесса вакуумирования откачиваемых объемов.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик насоса, повышение его надежности и обеспечение непрерывности действия.

На фиг. 1 представлена схема насоса; на фиг. 2 — часть кассеты с адсорбентом.

Криоадсорбционный насос содержит корпус 1 и размещенные в корпусе 1 цилиндрический сосуд 2 для хладагента и адсорбционную кассету 3, установленную с возможностью перемещения, имеющую днище 4, эквидистантно расположенное относительно поверхности сосуда 2, и снабженную адсорбционным слоем 5, ограниченным газопроницаемым экраном 6. Насос снабжен дополнительной адсорбционной кассетой 7, двумя вакуумируемыми камерами 8 и 9 десорбции и электромагнитом 10, кассеты 3 и 7 расположены диаметрально противоположно и снабжены фланцами 11 и 12 с отверстиями

13, камеры 8 и 9 десорбции имеют окна 14, соосные кассетам 3 и 7, и каждая из камер

8 и 9 снабжена нагревателем 15, уплотнителем 16. и направляющими 17, соосными отверстиям 13 во фланцах 11 и 12, электромагнит 10 размещен в сосуде 2 для хладагента и снабжен полюсными наконечниками

18, обращенными к кассетам 3 и 7, а сосуд

2 выполнен из немагнитного материала и снабжен направляющими 19, соосными направляющим 17 камер 8 и 9 десорбции и расположенными относительно направляющих

17 с зазорами 20, меньшими толщины фланцев 11 и 12 кассет 3 и 7. Адсорбционный слой

5 каждой кассеты 3 и 7 выполнен в виде спрессованной и намагниченной смеси адсорбента 21 и порошка 22 из магнитотвердого материала нли в виде тканого угольного адсорбента, причем в последнем случае фланцы 11 и 12 выполнены из магнитного материала.

Насос работает следующим образом.

После заправки жидким азотом сосуда

2 на электромагнит 10 подается напряжение от источника постоянного тока. При этом на полюсных наконечниках 18 наводят разноименные полюса. Та из кассет, например 3, чье собственное магнитное поле имеет со стороны днища 4 полюс, одноименный полюсу обращенного к ней полюсного наконечника 18, под действием отталкивающего усилия будет прижата к камере 8 десорбции, герметично уплотнив при этом благодаря уплотнителю 16 окно 14 фланцем 11. Одновременно включится нагреватель 15, а также система вакуумирования камеры 8 и начнется регенерация адсорбента. В то же время другая кассета 7 вследствие разноименности полюсов обращенных друг к другу днища и полюсного наконечника электромагнита 10 будет плотно прижата к поверхности сосуда 2, что обеспечит эффективное охлаждение адсорбента и поглощение им откачиваемого газа, поступающего в полость корпуса 1 из откачиваемого объема.

После насыщения адсорбента в кассете

7 достаточно переключить полярность питания электромагнита 10, что приведет к изменению полярности полюсных наконечников

18 и соответственно отходу кассеты 7 и прижатию ее к камере 9 десорбции и прижатию кассеты 3 к поверхности сосуда 2.

Таким образом, обеспечивается непрерывность адсорбционной откачки, а также улучшение откачных характеристик вследствие обеспечения хорошей регенерации адсорбента.

В случае использования тканого угольного адсорбента магнитный фланец также обеспечивает сменяемость кассет и их попеременную работу.

1. Криоадсорбционный насос, содержащий корпус и размещенные в корпусе цилиндрический сосуд для хладагента и адсорбционную кассету, установленную с возмож-. ностью перемещения, имеющую днище, эквидистантно расположенное относительно поверхности сосуда, и снабженную адсорбционным слоем, ограниченным газопроницаемым экраном, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, повышения надежности и обеспечения непрерывности действия, насос снабжен дополнительной адсорбционной кассетой, двумя вакуумируемыми камерами десорбции и электромагнитом, кассеты расположены диаметрально противоположно и снабжены фланцами с отверстиями, камеры десорбции имеют окна, соосные кассетам, и каждая из камер снабжена нагревателем, уплотнителем и направляющим, соосными отверстиям во фланцах кассет, электромагнит размешен в сосуде для хладагента и снабжен полюсными наконечниками, обращенными к кассетам, а сосуд выполнен из немагнитного материала и снабжен направляющими, соосными направляющим камер десорбции и расположенными относительно этих направляющих с зазорами, меньшими толщины фланцев кассет.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что адсорбционный слой каждой кассеты выполнен в виде спрессованной и намагниченной смеси адсорбента и порошка из магнитотвердого материала.

3. Насос по п. 1, отличающийся тем, что адсорбционный слой каждой кассеты выполнен в виде тканого угольного адсорбента, а фланец — из магнитного материала.

1448098

Составитель В. Кряковкин

Редактор О. Спесивых Техред И. Верес Корректор В. Гирияк

Заказ 6828/41 Тираж 574 Подписное

ВИИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Криоадсорбционный насос Криоадсорбционный насос Криоадсорбционный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к конструкциям вакуумны.х насосов с газопоглотителя.ми

Изобретение относится к вакуумной технике и м.б

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет расширить функциональные возможности насоса путем обеспечения его дополнительной защиты, а также защиты иных средств вакуумирования, входящих в состав вакуумных установок совместно с насосом , от легкоконденсируемых газов.В полости 7, образованной коаксиальными цилиндрами 5 и 6 и заполненной хладагентом , расположен вакуум-провод (ВП) 9, огибающий внутренний цилиндр 6 и имеющий форму полувитка спирали

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет упростить эксплуатацию и повысить экономичность насоса

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх