Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее подложкодержатель, испаритель в виде тигля, заслонку, установленную между испарителем и подложкодержателем, и датчик проводимости наносимого покрытия, отличающееся тем, что, с целью повышения качества пленок и повышения коэффициента использования материала покрытия, датчик проводимости установлен на заслонке со стороны испарителя, при этом датчик проводимости выполнен длиной рабочего участка, не превышающей диаметра тигля, и установлен по оси тигля.
Похожие патенты:
Устройство для электронно-лучевого испарения // 1512176
Вакуумнаяустановка для покрытийнанесения // 433250
Патент 416420 // 416420
Катод для нанесения композиционных покрытий // 1549103
Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 1483973
Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 1468009
Линейный электродуговой испаритель металлов // 1387507
Испаритель // 1257115
Испаритель // 1257114
Режущий инструмент и способ его изготовления // 1110212
Способ уплотнения микротечей // 1108781
Изобретение относится к нанесению тонкопленочных покрытий в вакууме, в частности защитных, износостойких и декоративных покрытий на изделия из различных материалов