Устройство для зондирования микросхем в растровом электронном микроскопе

 

Изобретение относится к устройствам для исследования микроструктуры и топографии твердых тел. Цель изобретения - повышение надежности и упрощение конструкции достигается путем размещения пьезоподъемника в зондовой карте и выполнения его в виде биморфного пьезокерамического кольца, на котором закреплены зондирующие иглы. Устройство содержит столик, над которым расположена зондовая карта 3 с пьезоподъемником 4, на котором закреплены зондирующие иглы 5. Пьезоподъемник 4 выполнен в виде двух пьезокерамических колец 7, соединенных через металлическую шайбу 8. Кольца 7 снабжены электроводводами 9. На предметный столик помещают исследуемую интегральную схему и подают на биморфное кольцо пьезоподъемника 4 напряжение. Внутренняя часть пьезоподъемника 4 изгибается книзу и иглы 5 опускаются до контакта с образцом. По завершении исследования образца напряжение с биморучного кольца снимают и иглы поднимаются в исходное положение. Использование устройства позволяет упростить конструкцию пьезоподъемника, а также управлять его работой с помощью микропроцессора. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ .

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ .

РЕСПУБЛИК (j9) (! Ц

ГОсУДАРстВен ыИ KohNTET

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТ (з()з H 01 J 37/26

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

K АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

;"1

1 (21) 4415790/24 21 (22) 26;04.88 (46) 23;12.90. Бюл. I4 47

Pl} Сумское производственное объединение "Электрон" (72) А.И. Феклистов, В.Г. Веприк, Ю.В. Шестаков и А.И. Никифоров (53) 62.1.396 (088.8). (56) Смажевская Е.Г., Фельдман Н.Б. Пьезоэлектрическая керамика. — М.: Сов.радио, 1971, с. 199.

Проспект фирмы "Ralth", США, 1986. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗОНДИРОВАНИЯ

МИКРОСХЕМ В РАСТРОВЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПАХ (57) Изббретенйе относится к устройствам для исследования микроструктуры и топо- . графии твердых тел. Цель изобретения— повышение надежности и упрощение конструкции достигается путем размещения пьезоподъемника в зондовой карте и выполнения его в виде биморфного пьезокерамического кольца, на котором закреплены зондирующие иглы. Устройство содержит столик, над которым расположена зондовая карта 3 с пьезоподьемником 4, на котором закреплены зондирующие иглы 5.

Пьезоподъемник 4 выполнен в виде двух пьезокерамических колец 7, соединенных через металлическую шайбу 8. Кольца 7 снабжены электроподводами 9, На пре метный столик помещают исследуемую интегральную схему и подают на биморфное кольцо пьеэоподъемника 4 напряжечие.

Внутренняя часть пьеэоподъемника 4;,сгибается книзу и иглы 5 опускаются до контакта с образцом. По завершении исследования образца напряжение с биморучного кольца сни-, Я мают и иглы поднимаются в исходное положение, Использование устройства позволяет упростить конструкцию пьезоподьемника, а также управлять его работой с помощью микропроцессора. 2 ил.

1615822

Изобретение относится к устройствам для исследования микроструктуры и топографии твердых тел и может использоваться в микроэлектронике для контроля и анализа сверхбольших интегральных схем. материаловедении, физике твердого тела, металлургии, геологии и др, Цель изобретения — повышение надежности и упрощение конструкции за счет размещения пьезоподъемника в зондовой карте и выполнения его в виде биморфного пьезокерамического кольца, на котором закреплены зондирующие иглы.

На фиг.1 представлено устройство, установленное в колонне электронного микроскопа; на фиг.2 — пьезоподъемник.

Устройство для зондирования микросхем содержит столик 1, помещенный внутрь колонны 2 растрового электронного микроскопа. Над столиком 1 расположена зондовая карта 3 с пьезоподъемником 4, выполненным в виде кольцевого элемента с иглами 5, крепящимися к его внутренней поверхности с помощью эпоксида 6. Два пьезокерамических кольца 7 соединены через металлическую шайбу 8 и образуют биморфное кольцо пьезоподъемника 4, На контактирующих поверхностях колец 7 и металлической шайбы 8 выполнена насечка.

Кольца 7 и шайба 8 снабжены электроподводами 9. Шайба 8 улучшает механические характеристики кольца при изгибе, а насечка предотвращает сдвиг элементов кольца друг относительно друга.

Устройство работает следующим образом, На предметный столик 1 помещают исследуемую интегральную микросхему (не показана) и объем вокруг столика вакуумируется. Затем на биморфное кольцо пьезоподъемника 4 подают напряжение, Внутренняя часть пьезоподъемника 4, а следовательно, и иглы 5, опускается до контакта игл с исследуемым участком микросхемы.

По завершении исследований отключается напряжение, подаваемое на пьезокерамическое биморфное кольцо пьезоподъемника

4, что приводит к подъму игл 5 в исходное положение, Использование устройства позволяет упростить конструкцию пьезоподъемника и

5 процесс управления им, а также позволяет легко управлять работой пьеэоподъемника с помощью микропроцессора и ЭВМ. Важныы м и реи муществом устройства я вляется воэможность его работы при отключенном

10 напряжении, питающем биморфное кольцо пьеэоподъемника (наличие этого напряжения крайне неблагоприятно сказывается при исследовании сверхбольших интегральных схем), В этом случаев составляющие би15 морфное кольцо пьезокерамические элементы поляризуются так, что при подаче напряжения центр кольца с иглами выгибается вверх, а при отключении возвращается в исходное положение. вводя тем самым

20 иглы в контакт с исследуемым участком микросхемы (при отключенном питающем напряжении).

Формула изобретения

25 Устройство для зондирования микросхем в растровом электронном микроскопе, содержащее предметный столик с приводами перемещения его по горизонтальным осям и поворота, зондовую карту, выпол30 ненную в виде кольцевой обоймы, с зондирующими иглами и пьезоподъемник, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности и упрощения конструкции, пьеэоподъемник выполнен в виде кольцевого

35 элемента, установленного в кольцевой обойме и составленного из двух поляризованных пьезокерамических колец, соединенных через кольцевую металлическую прокладку, на плоские поверхности которо40 ro нанесено металлическое покрытие, соединенное с электроподводами, а зондирующие идолы закреплены на внутренней поверхности кольцевого элемента, причем на контактирующих поверхностях

45 пьезокерамических колец и металлической прокладки, снабженной электроподводом, выполнены насечки.

1615822

Фаа 1

Составитель Д.Рау

Техред М.Моргентал

Корректор М.Максимишинец

Редактор Л.Зайцева

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 3993 Тираж 405 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5