Вакуумный держатель

 

Использование: для удержания плоских деталей. Вакуумный держатель содержит корпус 1 с боковой наружной поверхностью 2 и рабочей плоской поверхностью 3, а также сквозной центральный канал 5 с боковой стенкой 6. На поверхности 3 выполнены сквозной паз 7 и гнезда 9 и 10, каждое из которых содержит дно 11. В дне выполнен канал 12, сообщенный с поверхностью 2 каналом 13 и со стен кой 6 каналом 14. В гнезде 9размещен гибкий стержень 16, а в гнезде 10- стержень 15. Одни концы стержней закреплены на дне 11, а другие расположены в положении вылета за поверхность 3. Возможно заглубленное положение стержней в гнездах 9 и 10 относительно поверхности 3 с перекрытием каналов 12. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

А-А

Кжтожгку

ЙЩунороВанон ()

1(ф

0 с

Дь

Ы б 51 7 8 и 1 б

К ABTOPCKOMY СВИ4ЕТЕЛЬСТВУ (21) 4808197/08 (22) 29.03.90 (46) 07.06.92. Бюл. ¹ 21 (71) Московский институт приборостроения (72) А.С.Щербаков, С.М,Ковыкин и Е,Б.Батагова (53) 621-229.72(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 963639, кл. В 21 D 43/18, 1982. (54) ВАКУУМНЫЙ ДЕРЖАТЕЛЬ (57) Использование: для удержания плоских деталей. Вакуумный держатель содержит корпус 1 с боковой наружной поверхностью,, ЫЛ „, 1738642 А) (si>s В 25,) 15/06, В 21 0 43/18

2 и рабочей плоской поверхностью 3, а также сквозной центральный канал 5 с боковой стенкой 6. На поверхности 3 выполнены сквозной паз 7 и гнезда 9 и 10, каждое из которых содержит дно 11. B дне выполнен канал 12, сообщенный с поверхностью 2 каналом 13 и со стенкой 6 каналом 14. B гнезде

9 размещен гибкий стержень 16, а в гнезде

10 — стержень 15. Одни концы стержней закреплены на дне 11, а другие расположены в положении вылета за поверхность.3.

Возможно заглубленное положение стержней в гнездах 9 и 10 относительно поверхности 3 с перекрытием каналов 12. 3 ил.

1738642

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано для подачи из россыпи на рабочую позицию кристаллов полупроводниковых приборов и других малогабаритных деталей плоской формы из любых жестких материалов, имеющих шероховатость поверхностей до

0 =0,012 мкм или благородные легкоповреждаемые покрытия.

Целью изобретения является повышение надежности в работе вакуумного держателя, На фиг,1 изображен вакуумный держатель, вид со стороны рабочего торца; на фиг.

2 — разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 — разрез

Б-Б на фиг. 2.

Вакуумный держатель содержит корпус

1 с боковой наружной поверхностью 2 и рабочим торцом с плоской поверхностью 3 для контакта с деталью 4 (пунктир), выполненный в корпусе центральный питающий канал 5, имеющий цилиндрическую боковую стенку 6. Питающий канал сообщен с рабочей плоской поверхностью и источником вэкуумирования. Рабочая плоская поверхность снабжена пазом 7, имеющим полость 8, сообщенную с боковой наружной поверхностью корпуса и боковой стенкой питающего канала.

Рабочая плоская поверхность снабжена также продолговатыми гнездами 9 и 10.

Каждое продолговатое гнездо имеет дно 11, в котором выполнен управляющий канал 12, сообщенный каналом 13 с боковой наружной поверхностью корпуса и каналом 14 с боковой стенкой питающего канала.

Указанные отверстия несоосны и смещены по длине питающего канала на отрезок а. В продолговатых гнездах размещены гибкие стержни 15 и 16, изготовленные, например, из резины прямоугольного сечения. Конец 17 каждого гибкого стержня закреплен, например, с помощью клея на дне продолговатого гнезда, а конец 18 расположен в положении вылета (удаления) на отрезок б за пределы рабочей плоской поверхности корпуса с возможностью контакта точкой 19 с деталью 20,изображенной пункти ром.

Заглубленное в продолговатом гнезде положение гибкого стержня показано пунктиром 21.

Вакуумный держатель работает следующим образом, При отключенном от питающего канала 5 источнике вакуумирования давление вокруг всех поверхностей корпуса

1 равно атмосферному, и концы 18 гибких стержней 15 и 16 расположены в положении вылета (удаления) на отрезок б от поверхно5

50 сти 3 корпуса 1, что соответствует процессу отделения детали 20 (пунктир).

В процессе приближения рабочей поверхности 3 к очередной детали, расположенной на позиции перегрузки, из канала 5 источником вакуумирования начинается откачивание воздуха, в процессе которого гибкие стержни 15 и 16 под действием перепада давления атмосферы в управляющем канале 12 и канале 14 располагаются заглубленно в продолговатых гнездах 9 и 10, перекрывая по дну 11 управляющие каналы 12.

При дальнейшем указанном приближении через определенный зазор б либо при

его отсутствии деталь 4 (пунктир) захватывается с помощью перепада давления атмосферы и в питающем канале 5, надежно удерживаясь на рабочей плоской поверхности 3. Поскольку масса детали мала и составляет 0,08-0,26 г при соответствующей площади 14-64 мм, деталь надежно удерг живается при наличии натекания воздуха из атмосферы через каналы 13, 12 и 14, а также полость 8 паза 7 в питающий канал 5.

После транспортирования деталь устанавливается нэ рабочую позицию и подача вакуума в канал 5 прекращается.

Наличие натекания воздуха в канал 5 через полость 8 сегментного паза 7 обеспечивает быструю ликвидацию перепада давления атмосферы и в питающем канале 5, а наличие натекания воздуха из атмосферы в управляющие каналы 12 через каналы 13 ввиду малых объемов их полостей — еще более быструю ликвидацию указанного перепада давления в продолговатых пазах 9 и

10.

Гибкие стержни 15 и 16 с силами упругости опираются точками 19 концов 18 в плоскую поверхность детали 4 (пунктир).

При удалении рабочей плоской поверхности

3 на отрезок б стержни надежно отделяют деталь 20 (пунктир) даже при наличии в сты-. ке между поверхностью детали и рабочей плоской поверхности 3 инородных примесей, способствующих залипанию детали.

Сегментный профиль паза 7 обеспечивает свободное натекание воздуха в питающий канал 5.

Наличие у вакуумного держателя увеличенного размера в толщины стенки, равной

2-4 мм, обеспечивает равномерное распределение удерживающей силы по поверхности детали, Вакуумный держатель целесообразно использовать для деталей типа полупроводниковых кристаллов, имеющих форму квадратов со стороны 6-14 мм толщиной 0,4-0,5 мм, форму прямоугольников с габаритными

1738642

17 1б 15М1Я ЯОд) Рог. 3

Составитель С, Грибов

Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор С. Черни

Редактор Л. Гратилло

Заказ 1967 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r, Ужгород, ул.Гагарина, 101 размерами бх4х0,4 — 24х12х0,5 мм и форму дисков диаметром 6 — 25 мм толщиной 0,30,5 мм. Питание вакуумного держателя осуществляется от источника вакуумиоования с перепадом давления 0,3 — 0,6 10 Па.

Формула изобретения

Вакуумный держатель, содержащий корпус с центральным сквозным каналом, соединенным с источником вакуумирования, при этом на рабочем торце корпуса выполнены проточки, соединенные посредством соответствующих каналов с центральным каналом, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности в работе, на рабочем торце корпуса выполнен радиальный сегментообразный в поперечном сечении сквозной паз, причем проточки выполнены в виде гнезд, а каналы, соединяющие полости гнезд с центральным каналом, 5 снабжены соответствующими дросселями и соединены посредством дополнительных каналов через боковую поверхность корпуса с атмосферой, при этом на дне каждого гнезда закреплен одним своим концом до10 полнительно введенный упругий стержень, другой конец которого выступает за рабочий торец корпуса, кроме того, стержень имеет возможность перекрытия. канала, соединяющего полость гнезда с атмосферой и

15 централ ь н ым каналом.