Устройство для изготовления тонкопленочных

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 21ат, 75

Заявлено 13.11.1965 (№ 943247126-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 20.Х.1966. Бюллетень ¹ 21

МПК Н 01п

УДК 621.3,049.75.002,2 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий лри Совете Министров

СССР

Дата опубликования описания 1.XII.1966

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ TOHKOHJIEHO×HÛÕ

РАДИОДЕТАЛЕЙ

Предмет изобретения

Известны устройства для изготовления тонкопленочных радиодеталей методом испарения, выполненные в виде многосекционной камеры с размещенными в секциях испарителями металла или диэлектрика с соответствующей маской, через которую производится напыление на подогреваемую подложку.

В предложенном устройстве проводящие или диэлектрические вещества наносятся на подложку в вакуумной камере через многощелевую маску от одновременно действующих автономных испарителей и относительно вращения маски с испарителями и подложки.

Это дает возможносгь получить моточные тонкопленочные радиодетали, напри. pep многообмоточные трансформаторы с ферромагнитными сердечниками, и повысить степень автоматизации процесса напыления.

На чертеже изображена конструкция устройства.

Вращающийся цилиндр 1 разделен перегородками 2 на секции 8, расположенные по образующей цилиндра. В секциях помещены испарители 4, а сверху цилиндра укреплена мпогощелевая маска 5 так, что каждая щель б маски размещена против соответствующей секции цилиндра. Электропитание испаритслей производится с помощью щеток 7 и коллектора 8, укрепленных па валу 9 цилиндра.

Цилиндр вращается па валу с помощью кони2 ческой пары шестерен 10 и П. Шестерня 11 связана с приводным электродвигателем 12 через вал 18.

Процесс напыления пленок состоит в том, 5 что через щели вращающейся многощелевой маски на поверхность подогреваемой с помощью подогревателя 14 подтожки 15 непрерывно осаждаются пары испаряемых веществ и образуют наслаивающиеся один па другой

10 плоские витки многопленочного покрытия 1б.

1. Устройство для изготовления тонкопленочных радиодеталей методом испарения, выполненное в виде многосекционной камеры с размещенными в секциях испарителями ме20 талла или диэлектрика с соответствующей маской, через которую производится напыление на подогреваемую подложку, отличтощееся тем, что, с целью автоматизации процесса напыления и получения многообмоточ25 пых радиодеталей, например трансформаторов с ферромагнитшгми сердечниками, многосекционная камера выполнена в виде вращающегося цилиндра, секции которого образованы перегородками, расположенными по его

ЗО образующей, и на одном из торцов цилиндра укреплена многощелевая маска так, что каждая щель маски размещена против соответствующей секции цилиндра с расположенным в ней испарителем.

187854

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что электропитание испарителей подведено при помощи щеток и контактных колец, укрепленных на валу упомянутого цилиндра.

Составитель В. Агапов

P едактор В. Торопова Техред Л. Бриккер и С. М. Белугина 1 оаказ 3630/8 Тираж 1175 Формат бум. 60#90 /з Объем 0,16 изд. л. Подписное

LI 4 Комитета по делам изобретении и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2