Патент ссср 187855
On И СЕЯНИЕ
ИЗОБРЕТЕН Ия
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Кл. 21а4, 75
Заявлено 15.V.1963 (№ 951651/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 20.Х.1966. Бюллетень № 21
Дата опубликования описания 16.XII.19áá
МПК Н Oln
УДК 539.234(088.8) комитет па делам изобретений и открытий ори Совете Министров
СССР
ВАСО. ОЗЦ g
Авторы изобретения
Д. Г. Цитрон и C. И. М цук
Заявитель
ИСПАРИТЕЛЬ ДИЭЛЕКТРИКОВ
Известны испарители диэлектриков, выполненные из нескольких нагревателей.
В предложенном испарителе диэлектриков имеется механизм поддержания постоянного уровня испаряемого материала, а нагреватели расположены в виде решетки. Это позволяет наносить па основание равномерный по толщине и одинаковый по химическому составу слой диэлектриков.
11а чертеже приведен описываемый испарптель диэлектриков.
Испаритель диэлектриков содержит два нагревателя 1, расположенные один над другим и образующие в плане решетку. Ячейка решетки составляет 25 — 40 ллт - .
Механизм поддержания постоянного уровня испаряемого материала состоит из цилиндра
2 с мембраной 8.
Мембрана отделяет рабочую камеру 4 от подъемного механизма, который выполнен в виде перемещающегося в вертикальном направлении поршня 5.
В полость б, образованную поршнем в его крайнем нижнем положении, засыпается пороп ок диэлектрика. Заслонки 7 перекрывают цилиндр и выходные отверстия экрана 8. В рабочей камере создается вакуум. Подается низкое напряжение к нагревателям и высокое напряжение электростатического поля на сетку 0, отделяющую полость б от рабочей камеры.
На реле времени (на чертеже не показано) у станавливается экспозиция, соответствующая
5 ьремени напыления слоя заданной толщины при данной величине приложенного высокого напряжения, определяющего скорость подъема нспаряемого материала. Включением реле времени начинается работа механизм»
10 подъема поршня ti отводятся в сторону заслонки.
Подлежащий испарешпо порошок поднимается с постоянного уровня за счет электрпче15 ского поля со скоростью, опредсляемой приложенным высоким напряжением tt зону теплового удара, образованную нагревателямп.
В этой зоне благодаря высокой температуре (около 2400 — 2500 C) и черезвычайно развитой
20 поверхности отдельно взятой частицы диэлектрика диэлектрик нагревается и испаряется.
В дальнейшем атомарно-молекулярный пар продолжает свое движение по законам сферической рассеянности от каждого центра испа25 рения, которым является отдельно взятая частица порошка. Множество центров испарения, расположенных равномерно по ьсей площади испарения, большей площади основания
10 на 20 — 30>/с, позволяет нанести на основа30 ние слой диэлектрика с высокой равномерно187855
Предмет изобретения
Составитель Л. Матевосов
Техред Л. Бриккер Корректоры: В. В. Крылова н Е. Д, К1рдюмова
Редактор В. Торопова
Заказ 6632/16 Тираж 1176 Формат бум. 60X90 /з Объем 0,16 изд. л. Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр, Сапунова, 2 стью и без изменения первоначального химического состава испаряемого материала.
Испаритель диэлектриков, отличающийся тем, что, с целью нанесения на основание равномерного по толщине и одинакового по химическому составу слоя диэлектриков, он выполнен в виде двух нагревателей, расположенных один над другим и образующих в плане решетку, и снабжен механизмом поддер5 жания постоянного уровня испаряемого материала, выполненным в виде цилиндра с мембраной, отделяющей рабочую камеру от подьемного механизма.
