Способ контроля качества изготовления элементов внутреннего люнгажа полупрозодниковьгх приборов

 

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соеетских

Социалистических

Республик ФЛ

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 14.VIll.1967 (№ 1177943/26-25) с присоединением заявки Хо

Кл. 210, 11/02

421, 46,. 06

МПК Н Oll

Cr 0lh

". К 534.6;53.082.4 (088.8) Приоритет

Опубл11ковапо 10.III.1969. Бюллетень № 10

Дата опубликования описания 14Х11.1969

Комитет по делатх изобретений и открытий при Сосете Министров

СССР

Авторы изобретения

A. В. Бреславец и В. Д. Хуторненко

Заявитель

СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ

ВНУТРЕННЕГО МОНТАЖА ПОЛУПГОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к области технологии производства полуцроводниковых приборов.

В отдельных типах высокочастотных полупрсхводниковых приборов (П416, П308, П311 и т. п.) в качестве внутренних выводов, соединяющих полупроводниковый кристалл с внешkIm1H выводами прибора, используется тонкий золотой волосок длиной 2 — 3 мм и диаметром порядка 10 — 20 ммк.

В процессе производства всегда имеет место разброс поля допусков внутренних выводов по их длине, диаметру и механическим свойствам применяемого для изготовления волосков материала, что .приводит к разбросу приборов по основным электрическим .параметрам и механической прочности отдельных элементов конструкции.

Известные способы контроля качелва изготовлен1ия элементов внутреннего монтажа полупроводниковых приборов путем механичесКНх 11опытан иЙ kiB BHotpoHpo iHocli>, виброусто11чивость, ударную прочность и т. д. в диапазоне низких частот (5 — 2000 гтрк) не позволяют обнаружить сверхдопустимые отклонения элементов конструкции от конструкторской документации,;которые обнаруживаются впоследствии в процессе экоплу.атации.

Большая трудо|емкость испытаний, высокая стоимость оборудования и значитель|ная длительность цикла испытаний не позволяют осуществлять сплошной контроль всех выпускаемых приборов. В связи с этим в настоящее время испытания ограничиьаются выборочным контролем приборо в,и результаты испытаний контрольной группы распространяют на всю партию, что не исключает возможности сдачи в эксплуатацшо приборов, изготовленных на предельных допусках пли со сверхдопустимыми отклонениями. Данные скрытые дефекты обнаруживаются только в процессе эксплуатации приборов.

Цель настоящего изобретения — разработка метода испытани11 полупроводниковых приборов, который обеспечивал бы выяв icHlle приборов, имеющих сверхдопустимые Ilo KQHcTp) торской документации отклонения элементов конструкции,внутрен него монтажа (внутренних выводов). Достигается она тем, что все полупроводниковые приборы подвергают воз2О действию ультразвуковых колебаний в жидкой среде, не оказывающей агрессивного воздействия на покрыт»е .и элементы конструкции.

В результате, воздействия на прибор знакопсрсмен 111лх давленllй, Возникающих;В жидкой среде при распространении ультразвуковых колебан11й, проис. одят колебания лрибора в це;IGNI и отдельных элементов его конструкции.

Собственная частота колебаний внутренних тонких выводов высокочастотных приборов

30 (10 — 80 кгпв), в общем случае зависящая от

238671

Предмет изобретения

Состав1п ель Л. Б. Пирожников

Редактор Б. Б. Федотов Техред А. А. Камышникова Корректор 3. И. Чванкина

Заказ 1579;9 Тираж 480 Подписное

11111114Г1И Комитета но делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 11ентр, лр. Серова, и. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 длины, диаметра и матергиала:вывода, определяется по формуле собственной частоты,нс;гатянутой струны, —,.а Е.g где Е =- (0,72 — 0,82) ° 10в кг/сл- — модуль

Юнга для золота;

g = 981 сл/сек- — ускорение земного тяготения; у =- 19,3 10з кг/сма — удельный вес золота;

D — диаметр вывода, с.гг;

/ — длина вывода, си.

Она находится в диапазо не ультразвуковых колебаний. В связи с э I#I всегда мо>кно подобрать такие частоты колебаний ультразвукового генератора, .которые будут равны собстВВННоН частоте колебаний внутренн их выводов, изготовленных на сверхдопустимых .или íрсдельных допусках.

При совпадении частоты собственных колеба ний внутренних выводов приооров с частотой вынужденных ультразвуковых колебаний возникает резонанс, разрушающий выводы, изготовленные на предельных допусках или имеющие отклонения, по геометрии и физико-механи геским свойствам превышающие допусти5 мы е.

Указанные разрушения легко определяются при проверке приборов на функционирование в процессе воздействия ультразвуковых колебаний либо при последующей проверке их па10 раметров. Это обеспечивает отбраковку приборов, являющихся потенциально ненадежными.

15 Способ контроля качества изготовления элементов внутреннего монтажа полупроводниковых приборов, от.гичагощийся тем, что, с целью выявления некачественно выполненных выьодов прибо ров, приб: ".: I подвергают воздейст20 вию колебаний в диаг:азоне ультразвуковых частот с ахгп;гигудами, достаточными для разрушен!ия выводов в результате резонанса, вызванного совпадением собственных частот колебаний выводов с частотой вынужденных ульт25 развуковых колебаний.