Патент ссср 319283
О П И С А Н И Е 3I9283
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскик
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
М. Кл. Н Olj 9(16
Заявлено 07.IV.1969 (№ 1318806/26-25) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 15 11.1974. Бюллетень № 6
Дата опубликования описания 28Л 1.1974
Государственный комитет
Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий
УДК 621.3.032.24(088.8) Авторы изобретения А. И. Миллер, А. С. Шерешевский, В. В. Емелин и О. П. Попов
Заявитель
ВСГС01ОЗ1-1АЯ Г с члп и дя
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ШАГА ПЕРИОДИЧЕСКИ
РАСПОЛОЖЕННЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЕТАЛЕЙ
Изобретение относится к электронной промышленности, в частности к устройствам для контроля деталей с периодически расположенными линейными элементами, например сеток и спиралей электронных приборов. 5
Известное устройство для контроля спиралей по шагу, содержащее оптическую систему, источник света и растр-анализатор, позволяет оценивать точность изготовления деталей по характеру муаровой картины, создаваемой на- 10 ложением спирали на растр-анализатор. Однако оно не обеспечивает контроля спиралей с различным шагом при помощи одного и того же растра-анализатора.
Цель изобретения — измерение периодиче- 15 ски расположенных элементов с различными шагами посредством растра-анализатора с постоянным шагом.
Для этого оптическая система устройства снабжена механизмом для изменения коэффи- 20 циента увеличения изображения исследуемой детали в плоскости растра-анализатор", а подвижная цилиндрическая линза, расположенная между растром-анализатором и исследуемой деталью, подвижный зеркальный блок и 25 отсчетная линейка, перемещаемые соответственно системой винт — гайка, цилиндрическим кулачком и реечным дифференциалом, имеют общий привод. Изменение коэффициента увеличения оптической системы достигается из- 30 менением оптических отрезков деталь — линза и линза — растр в соответствии с уравнением тонких линз путем одновременного перемещения цилиндрической линзы и зеркального блока. Данное устройство позволяет изменять коэффициент увеличения оптической системы в пределах от 0,5 до 2.
На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.
Оно содержит источник света 1, конденсатор 2, каретку 3 с приводом для размещения исследуемой детали, подвижную цилиндрическую линзу 4, подвижный зеркальный блок
5, растр-анализатор 6 и тубус 7.
Зеркальный блок 5 перемещается в горизонтальном направлении торцовым кулачком 8, приводимым во вращение червячной шестерней 9, червяком 10 и маховиком 11. Через червячный вал, коническую передачу 12 и пару винт — гайка 13 движение передается на каретку 14 цилиндрической линзы с установленной на ней стрелкой-указателем 15. На корпусе зеркального блока размещена свободно вращающаяся на своей оси шестерня )6, входящая в зацепление с зубчатой рейкой 17 неподвижно укрепленной на станине устройства. С другой стороны с шестерней 16 сцеплена зубчатая рейка, жестко связанная с отсчетной линейкой 18. Шестерня 16 и рейки 17, 18 образуют реечный дифференциал, обеспе319283
Составитель Е. Алешин
Техред Т, Ускова
Корректор М. Лейзерман
Редактор Т. Ларина
Заказ 1823/9 Изд, № 1267 Тираж 760 Подписное
Ц11ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/6
Типография, пр. Сапунова, 2 чивающий перемещение отсчетной линейки 18 (при движении зеркального блока) в том же направлении и на величину, вдвое большую пути, пройденного зеркальным блоком, так как при отражении светового луча в зеркаль- 5 пом блоке перемещение последнего <а величину ЛХ вызывает изменение длины оптического отрезка линза — растр на 2ЛХ. Стрелка-указатель 15 позволяет отсчитывать на шкале 18 непосредственно коэффициент увеличения k, 10 соответствующий данному взаимному положению оптической линзы и зеркального блока.
Описываемое устройство обеспечивает удобную, быструю и точную проверку шага спиралей с шагом в пределах от 0,2 до 0,8 мм с точ- 15 постыл 0,5 мкм.
Предмет изобретения
1. Устройство для контроля шага периодически расположенных элементов деталей, например сеток и спиралей электронных приборов, содержащее каретку для размещения исследуемой детали, источник света, оптическую систему для проектирования изображения исследуемой детали на экран, выполненный в виде растра-анализатора, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью измерения периодически расположенных элементов с различными шагами при помощи растра-анализатора с постоянным шагом, оно снабжено механизмом изменения коэффициента оптической системы.
2. Устройство по п. 1, отл ич а ю щеес я тем, что, механизм изменения коэффициента увеличения оптической системы содержит подвижную цилиндрическую линзу, размещенную между растром-анализатором и кареткой для размещения исследуемого материала, подвижный зеркальный блок и отсчетную линейку, перемещаемые соответственно системой винт †гай, цилиндрическим кулачком и реечным дифференциалом, имеющими общий привод.
