Высоковакуумный сорбционный насос
35538!
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 25.V11,1969 (№ 1352849/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 16.Х.1972. Бюллетень № 31
Дата опубликования описания 1.XI.1972
М. Кл. F 04b 37/02
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.528.5(088.8) Авторы и зобретения
Е. Н. Мартинсон, А. Г, Нестеренко, Ф, Я. Лейн и М. П. Ермакова
Заявитель
ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ СОРБЦИОННЫЙ НАСОС
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к сорбционным насосам, В качестве геттеров B электровакуумных приборах или рабочих материалов в сорбционных вакуумных насосах широко используются такие активные металлы, как титан, цирконий, тантал, ниобий и др.
При работе сорбционных насосов в условиях натекания или поглощения продуктов газоотделения геттер постепенно насыщается кислородом, и на его поверхности образуется пленка окислов, что снижает сор бционную способность насосов. Для обеспечения постоянной работы сорбционных насосов снова создают пленки, например, титана напылением геттера на охлаждаемую поверхность.
Целью изобретения является предотвращение образования пленок продуктов реакции на поверхности нераспыляемого геттера.
Предлагаемый сорбционный насос содержит нагреваемый нераспыляемый сорбирующий элемент, выполненный из сорбционноактивного металла, например ниобия, и отличается от известных тем, что сорбирующий элемент выполнен в виде герметичного полого сосуда из ниобия, в полости которого помещается щелочной металл, например литий, для очистки сорбирующего металла от кислорода. Благодаря этому увеличивается продолжительность работы сорбирующего элемента, На фиг, 1 показан сорбирующий элемент.
В камеру или непосредственно в вакуумный объем вводится на фланце 1 герметично заваренный сосуд 2 из ниобия, заполненный ли5 тием. Литий вводится в сосуд в атмосфере инертного газа, а затем сосуд герметизируется электроннолучевой или аргонодуговой сваркой. Толщина стенок оболочки из ниобня
0,5 — 1 мм. Сорбционный элемент нагревается
10 индукционной катушкой 8 или печью сопротивления.
Насос присоединяется к вакуумной системе и откачивается вспомогательным насосом до давления 1 10 — 4 мм рт. ст, Затем сорбцион15 ный элемент нагревается до температуры
1000 С, и насос может производить откачку системы до давления 10 —" мм рт. ст. Наиболее эффективно предлагаемый насос откачивает кислород и кислородсодержащие газы
20 (НзО, СО, С021. Скорость откачки кислорода составляет 2 л/сек см на поверхности ниобиевой оболочки, а кислородсодержащих газов 0,2 л/сек см .
На фиг. 2 приведены кривые изменения ско25 ростей поглощения кислорода оболочками из ниобия с литием и без лития, Предмет изобретения
1. Высоковакуумный сорбционный насос, 30 содержащий нагреваемый нераспыляемый сорбирующий элемент, выполненный из сор355381
Риз 1
f, чаС
Π—
1 — tol
fg> 10 риг. 2
f0 О
Составитель H. Дудкина
Техред E. Борисова Корректор Л. Царькова
Редактор T. Орловская
Заказ Збб9 9 Изд. № 1539 Тираж 406 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4)5
Типография, и р. Сапунова, 2 бционно-активного металла, например ниооия, отличающийся тем, что, с целью повышения долговечности поглощающего элемента и увеличения непрерывной работы насоса, сороирующий элемент выполнен в виде герметичного полого сосуда, внутри которого расположен щелочной металл, например литий, для непрерывной очистки ниобия от кислорода.
2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что полый сосуд выполнен в виде замкнутой трубчатой системы.
