Вакуумный магнитный электроразрядный насос
340791
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 28.Х.1967 (¹ 1193545/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 05.VI.1972. Бюллетень ¹ 18
Дата опубликования описания 23Х1.1972
М. Кл. F 04g 4/00
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.385(088.8) Авторы изобретения
Е. В. Глушаченков, Г. Г. Лебедев и Н. А. Мухачев
Заявитель
ВАКУУМНЫЙ МАГНИТНЫЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЪ|Й НАСОС
Изобретение относится к области получения сверхвысокого вакуума и может быть использовано для откачки электровакуумных приборов, камер для нанесения тонкопленочных покрытий, имитации космического пространства и т. д, Известны насосы miIIa НЭМ, имеющие большую удельную весовую характеристику (отношение веса насоса к быстроте откачки).
Для уменьшения удельной весовой характеристики необходимо увеличить активную,поверхность насоса, на котору|ю с катодных пластин напыляется свежий титан, связывающий молекулы и атомы воздуха, находящиеся в откачиваемом объеме.
В предлагаемом изобретении это достигается путем помещения в квадратные ячейки анода насоса цилиндрических ячеек, что в ,несколько раз увеличивает активную,поверхность анода, так как в этом случае титан напыляется не только на внутреннюю поверхность квадратных ячеек, но и на внешнюю и внутреннюю поверхности цилиндрических ячеек. Геометрические размеры ячеек при этом практически не меняются, а быстрота откачки насоса с единицы поверхности катода увеличивается.
На фиг. 1 представлен .горизонтальный разрез кармана, предлагаемого насоса; на фиг. 2 — анод в аксонометрии.
Электродный блок насоса состоит из титановых .катодных пластин 1, расположенных по обе стороны от ячеистого анода 2 на определенном расстоянии от него. Ячеистый анод
2 состоит из прямоугольной рамки 8, в кото5 рой закреплены пластины 4 из тонкой ленты, о бр азующие квадр атные ячейки. В квадр атные ячейки анода с усилием вставляют цилиндрические ячейки 5, свернутые из тонкой ленты.
10 При подаче высокого напряжения на аноды 2 предварительно откачанного до 10 — тор насоса, между анодами 2 и катодными пластинами 1 зажигается тлеющий разряд. Ионы газа, образующиеся в тлеющем разряде, бом15 бардируют пластины 1 и распыляют их поверхностный слой. Частицы pBciIIылепного титана оседают на поверхности ячеистого анода 2.
Чем больше поверхность напыляемото ти20 тана, т. е. чем больше .поверхность анода 2, тем большее количество газа будет откачено в единицу времени.
Предмет изобретения
Вакуумный магнитный электроразрядный насос, содержащий анод с квадратными яч.йками, отличающийся тем, что, с целью увеличения быстроты откачки, в квадратные ячей30 ки анода введены цилиндрические вкладытпи из материала анода.
340791
Составитель Е. Балабан
Техред 3. Тараненко
Редактор А. Еатыгин
Корректор E. Жаворонкова
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 1824/9 Изд. № 770 Тираж 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
