Патент ссср 369635


H01L27 - Приборы, состоящие из нескольких полупроводниковых или прочих компонентов на твердом теле, сформированных на одной общей подложке или внутри нее (способы и аппаратура, предназначенные для изготовления или обработки таких приборов или их частей, H01L 21/70,H01L 31/00-H01L 49/00; конструктивные элементы и особенности таких приборов H01L 23/00, H01L 29/00-H01L 49/00; блоки, состоящие из нескольких отдельных приборов на твердом теле, H01L 25/00; блоки, состоящие из нескольких электрических приборов, вообще H05K)

 

369635

О П И C A Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 03.1V.1971 (№ 1643825/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 08.II.1973. Бюллетень № 10

Дата опубликования описания 16.IV.1973

М. Кл. Н 01с 13 00

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.396.692:

: 621.316.86 (088.8) Авторы изобретения

В. Ф. Иванов, А. В. Никитин, М. И. Самойлович, А. А. Фотченков, В. П. Бутузов, К. Ф. Ворожейкин, Г. Н. Безруков и В. А. Лаптев

Заявитель

Всесоюзный ордена Трудового Красного Знамени научноисследовательский институт синтеза минерального сырья

ОБЪЕМНЫЙ РЕЗИСТОР

Предлагаемый резистор относится к классу полупроводниковых резисторов, применяющихcs. в микромодульных схемах радиоэлектронной аппаратуры, автоматики и электротехники.

Известен объемный резистор, например, для микромодульных схем, состоящий из полупроводникового монокристалла с алмазоподобиой структурой и — р ниже проводимости.

Однако известные объемные резисторы имеют большую величину температурного коэффициента сопротивления, а также низкие точности изготовления и механическую прочность.

С целью уменьшения температурного коэффициента сопротивления и повышения точности изготовления в предлагаемом резисторе на участок поверхности монокристалла нанесена соединяющая электроды токопроводящая пленка, например, металлическая.

На чертеже показан предлагаемый объемный резистор.

Резистор содержит тугоплавкий монокристалл 1, электроды 2 и токопроводящую пленку 8.

Основным элементом резистора служит монокристалл 1 синтетического алмаза, легированный бором. Рабочие грани кристалла снабжены металлическими электродами 2. Для вжигания электродов могут применяться различные известные сплавы.

Между электродами на поверхность кристалла нанесена катодным распылением токопроводящая пленка 8 (толщиной от десятых долей до нескольких десятков микрон).

Таким образом, предлагаемый резистор является резистором объемно-поверхностного действия, значение сопротивления которого (Я) определяется выражением для двух параллельно соединенных сопротивлений

10 г а у па

Ф

Ra +Raа где Яа — омическое сопротивление алмаза;

R, — омическое сопротивление пленки.

При повышении температуры изменение сопротивления ЛЯ = ЫА+Лйпп, где Ил+

+Ыпл I (ЛЯ,а,, так как изменения сопротивления полупроводника и металла с темпе20 ратурой имеют взаимно противоположные знаки. Следовательно, при изготовлении полупроводникового резистора его омическое сопротивление и ТКС можно регулировать путем изменения толщины наносимой пленки.

25 На макетных образцах резисторов, изготовленных из синтетического алмаза марки CAN, получены электрические характеристики: температурный уход сопротивления — не более

2 — 3% в интервале температур 20 — 200 С;

30 максимальная рассеиваемая мощность — не

369635

Предмет изобретения

Составители О. Обухова

Техред Л. Грачева

Корректоры: Е. Талалаева и E. Денисова

Редактор М. Афанасьева

Заказ 824/7 Изд. Ко 1239 Тираж 780 Подписное

ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, ®-35, Раушская наб., д. 4, 5

Типография, пр. Сапунова, 2 менее 500 мат; частотная устойчивость — до

50 мгц.

Объемный резистор, например, для микромодульных схем, состоящий из полупроводникового монокристалла с алмазоподобной структурой и — р тыла проводимости, снаб>кс., ного электродами, отличающийся тем, что, с целью уменьшения температурного коэффициента сопротивления и повышения точности изготовления резистора, на участок поверхности монокристалла нанесена соединяющая электроды токопроводящая пленка, например, металлическая.

Патент ссср 369635 Патент ссср 369635 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в качестве прецизионного набора резисторов в системах управления, автоматике, измерительной технике и других отраслях народного хозяйства
Наверх