Патент ссср 410340

 

4l0340

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 09.XI.1971 (№ 1712350/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 05.1.1974. Бюллетень № 1

Дата опубликования описания 6Л .1974

М. Кл. G Olr 31/26

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

УДЕ 621.382.3 (088.8) Авторы изобретения

Е. 3. Рыскин и Г. 3. Резников

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МИНИМАЛЬНОЙ ТОЛЩИНЫ

БАЗЫ ТРАНЗИСТОРОВ

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для контроля параметров полупроводниковых приборов в процессе их производства.

Известны устройства для измерения минимальной толщины базы транзисторов, содержащие источник запирающего напряжения эмиттер-база, источник запирающего напряжения коллектор-база, генератор высокой частоты и индикатор, служащий для фиксации момента появления напряжения высокой частоты в коллекторной цепи.

Недостатки известных устройств следующие: ограниченный диапазон измерения минимальной толщины базы, обусловленный тем, что у транзисторов с толстой базой электрический пробой наступает раньше, чем смыкание; невысокая точность измерения вследствие зависимости момента фиксации прокола от площади дефекта; невысокая скорость измерения вследствие необходимости дополнительных вычислений.

Целью изобретения является повышение точности измерений. Поставленная цель достигается тем, что предло>кепное устройство содер>кит схему задержки, вход которой соединен с выходом схемы сравнения, а выход — со счетчиком импульсов и схемой «ИЛИ». Второй ьход схемы «ИЛИ» соединен с выходом генератора пускового импульса, второй выход которого через генератор линейно изменяющегося напряжения подключен к схеме сравнения.

Второй вход схемы сравнения через генератор

5 импульсов тока соединен со схемой «ИЛИ»

На чертеже представлена блок-схема предложенного устройства.

Устройство содержит логическую схему

«ИЛИ» 1, счетчик импульсов 2, схему задерж10 ки 3, генератор импульсов тока 4, генератор пускового импульса 5, генератор линейно изменяющегося напряжения 6, схему сравнения 7.

Сигнал «Пуск» с одного из выходов генера15 тора пускового импульса 5 поступает через логическую схему «ИЛИ» 1 на генератор импульсов тока 4, а с другого выхода — на генератор линейно изменяющегося напряжения 6.

Импульс тока с генератора 4, проходя по це20 пи эмиттер-коллектор испытуемого транзистора, создает па нем падение напряжения, амплитуда которого пропорциональна минималььой толщине базы. Это напряжение и линейно изменяющееся напряжение с генератора 6

25 подается на входы схемы сравнения 7. Если амплитуда напряжения, снимаемого с транзистора, превышает амплитуду линейно изменяющегося напряжения, схема сравнения 7 формирует импульс, который задерживается схе30 мой задержки 3 и подается на вход счетчика 2

410340

Предмет изобретения

Составитель 3, Челноков»

Техред 3, Тараненко

Редактор T. Орловская

Корректор Н. Торкина

Заказ 1044)11 Изд. Ыв 357 Тираж 678 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Я(-35, Раушская наб., д. 4!5

Типография, пр. Сапунова, 2 и на один из входов логической схемы «ИЛИ»

1. Импульс с выхода логической схемы

«ИЛИ» 1 запускает генератор импульсов тока

4, и цикл измерения повторяется.

Если амплитуда линейно изменяющегося напряжения превышает амплитуду падения напряжения на испытуемом транзисторе, схема сравнения 7 не формирует выходной импульс, и процесс прекращается.

Так как время задержки импульса пропорционально приращению амплитуды линейно изменяющегося напряжения, то в счетчике накапливается число импульсов, равное минимальной толщине базы. Для сбрасывания показания счетчика 2 подается сигнал «Сброс», который подготовляет устройство к следующему измерению.

Устройство для измерения минимальной толщины базы транзисторов, содержащее

5 счетчик импульсов, генератор пускового импульса, генератор импульсов тока и логическу1о схему «ИЛИ», отл ич а юще еся тем, что, с целью повышения точности измерений, оно содержит схему задержки, вход которой

10 соединен с выходом схемы сравнения, а выход соединен со счетчиком и схемой «ИЛИ», второй вход которой соединен с выходом генератора пускового импульса, второй выход которого через генератор линейно изменяющегося

15 напряжения соединен со схемой сравнения, второй вход схемы сравнения через генератор импульсов тока соединен со схемой «ИЛИ».