Способ компенсации астигматизма электромагнитных линз

 

ввте.;тих, ;. у .". °;е,з

О и и-1е"-мн:-"и-е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистииеских

Республик (») 524256

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 15.04.74 (21) 2016048/25 с присоединением заявки №(23) Приоритет(43) Опубликовано 05.08.76. Бюллетень № 29 (45) Дата опубликования описания 15.12.76 (51) М. Кл.

Н 01 J 37/26

Государственный номнтет

Совета й1нннстров СССР по делам изобретений н открытнй (53) УДК 621 385 833 (088.8} (72) Авторы изобретения

С. Ф. Зелев и А. М, Климовицкий (71) Заявитель (54) СПОСОБ КОМПЕНСАЦИИ АСТИГМАТИЗМА ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ

ЛИНЗ ЭЛЕКТРОННΠ— ЛУЧЕВЫХ ПРИБОРОВ изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано в электрснно-лучевом приборостроении.

Известен способ компенсации астигматизма электромагнитных линз электронно — лучевых приборов, заклю 5 чающийся в наложении корректирующего поля на лов ле линзы $1), Однако трудности при визуальном определении утла разворота корректирующего поля относительно направления астигматизма снижают точность 10 операции и увеличивают ее трудоемкость.

Наиболее близким по технической сущности является способ компенсации астигматизма электромагнитных линз электронного микроскопа 1.21, заключающийся в наложении корректирующего по- 1н ля на поле электромагнитной линзы и осуществляемый путем визуального наблюдения на экране микроскопа дифракционной камеры при дефокусировке линзы, определения направления астигматизма по разрывам каймы и наложения корректирующего поля с последующим его разворотом относитель. но поля линзы до компенсации астигматизма.

Однако для обеспечения точности операцию по определению угла разворота корректирующего по- р5 ля относительно направления астигматизма необходимо производить несколько раз, причем в условиях слабой освещенности, что требует достаточно много времени.

Цель изобретения - увеличение точности и скорости компенсации астигматизма.

Достижение цели осуществлено тем, что направление корректирующего поля вначале совмещают с направлением астигматизма электромагнитной линзы, а затем разворачивают корректирующее поле на угол 90 .

Предлагаемый способ компенсации астигматизма электромагнитных линз осуществляется следующим образом.

Электрический ток в обмотках стигматора устанавливают равным нулю, затем определяют направление астигматизма электромагнитной линзы, например объективной линзы. После этого направление астигматизма линзы совмещают с направлением астигматизма, вносимого полем стигматора.

При этом по обмоткам последнего пропускают постоянный ток максимальной величины, что увеличивает размер дифракционных колец и облегчает определение направления астигматизма, вносимого стигматором. При совмещении направлений астиг524256

Составитель В. Калин

Техред H. Андрейчук

Корректор Б. Югас

Редактор Н. Вирко

Заказ 5000/378

Тираж 977 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проекная, 4 магизма линзы и стигматора можно использовать дефекты объекта или экрана - это позволяет осуществить более точное совмещение. Затем в обмотках стигматора изменяют направление электрического тока на противоположное, в результате чего направление астигматизма, вносимого стигматором, автоматически и с высокой точностью разворачивао ется на угол 90 по отношению к направлению астигматизма линзы. Изменяя величину электрического тока, проходящего по обмоткам стигматора, полностью компенсируют астигматизм линзы.

Формула изобретения

Способ компенсации астигматизма электромагнитных линз электронно-лучевых приборов, заключающийся в наложении корректирующего поля на поле линзы, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности и скорости компенсации, направление корректирующего поля вначале совмещают с направлением астигматизма электромагнитной линзы, а затем разворачивают корректирующее поле на угол90Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1, Техническое описание и.инструкция по эксплуа— тации электронного микроскопа УЭМ — 100К, 1969 r.

2. Техническое описание и инструкция по эксплуа— тации электронного микроскопа ЕМ вЂ” 7А, стр, 27, 1968.