Автомат коммутации и разбраковки
О П И-© A Н И Е
ИЗОБРЕТЕН И Я,:0 560278
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт., свид-ву (22) Заявлено 28.10.74 (21) 2069749/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет
Опубликовано 30 05 77. Бюллетень ¹ 20
Дата опубликования описания 06.07.77 (51) М. Кл H 01L 21/66
Государственный комитет
Совета Министров СССР аа делам изобретений и аткрытий (53) УДК 621.382 (088.8) (72) Авторы изобретения
В. Ф. Зырянов и В. H. Орлов (71) Заявитель (54) АВТОМАТ КОММУТАЦИИ И РАЗБРАКОВКИ
Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов, а именно к устройствам, обеспечивающим загрузку полупроводниковых интегральных схем, коммутацию выводов интегральных схем с измерительным оборудованием, разгрузку интегральных схем с разбраковкой на группы годности.
Известные установки аналогичного назначения имеют кассетную загрузку и разгрузку приборов, наклонные направляющие, по которым приборы под действием своего веса поступают в зону измерения, и контактные колодки, обеспечивающие коммутацию выводов интегральных схем с измерительным оборудованием.
Наиболее близким к изобретению техническим решением является установка для испытания корпусов интегральных схем, имеющая основание, на котором смонтированы наклонная неподвижная направляющая для загрузки приборов в зону измерения, две подвижные контактные колодки, состоящие из двух подвижных групп контактов и подвижную направляющую для разгрузки приборов.
Наличие одной позиции измерения обуславливает деление каждого цикла измерения на внешние механические операции (загрузка и разгрузка) и непосредственно измерение прибора.
Целью изобретения является повышение производительности автомата. Указанная цель достигается тем, что предлагаемый автомат коммутации и разбраковки снабжен механпз5 мом последовательной подачи приборов, содержащим два подвижных ползуна, несущих каждый по два кронштейна, на которых размещены параллельно расположенные плоскости, с расстоянием между ними, равным шагу
10 рабочего хода ползуна, образующие подвижные направляющие, поочередно и попарно совмещающиеся с неподвижными плоскостями направляющих на позициях измерения и за. грузки — разгрузки.
15 Наличие двух ползунов с поочередным возвратно-поступательным движением обеспечивает разгрузку и загрузку измеряемого прибора на одной позиции измерения во время измерения очередного прибора на другой пози20 ции.
На фиг. 1 изображен автомат; на фиг, 2— кинематпческая схема автомата; на фиг. 3— механизм последовательной подачи интсгральHbIx схем на контактные колодки; на фиг. 4, 25 5 — схема работы механизма последовательной подачи интегральных схем.
АВТоМВТ коммутации и разбраковкп состоит пз стола 1, в котором смонтированы механический привод автомата и ручной привод для
30 настройки автомата, механизма. 2 последова560278
G0
65 тельной подачи интегральных схем на контактные колодки, двух контактных колодок 3, механизма перемещения кассет 4, отсекателя
5, блока управления 6.
Механизм последовательной подачи интегральных схем состоит из основания 7 с шариковыми направляющими 8, в которых возвратно-поступательно двигаются ползуны 9 и 10 с шарикоподшипниками 11. На ползуне 9 закреплены кронштейны 12 и 13, образующие первый по ходу движения прибора подвижный двухъярусный участок направляющей, а на ползуне 10 закреплены кронштейны 14 и 15, образующие второй подвижный двухъярусный участок направляющей.
Механический привод включает электродвигатель 16, редуктор 17, цепную передачу 18, ведущий вал 19 с зубчатым цилиндрическим колесом 20. Зубчатые колеса 21 и 22, связанные с ведущим валом, закреплены на кулачковых валах 23 и 24, несущих кулачки 25 и 26, 27 и 28. По кулачкам 27 и 28 обкатываются ролики 29 и 30, закрепленные на рычагах 31 и
32, несущих контакты 33 и 34. Неподвижный участок направляющей для скольжения приборов обозначен позицией 35. Пружина 36 постоянно поджимает подшипники 11 ползунов 9 и 10 к кулачкам 25 и 26.
В механизме 2 последовательной подачи интегральных схем установлены фотодатчики 37 и 38 для счета измеряемых и годных приборов.
Контактная группа 39 и кулачки 40 служат для обеспечения своевременного перемещения кассет на загрузке приборов и разгрузке годных приборов.
Ролики 29, рычаги 31 и контакты 33, а также ролики 30, рычаги 32 и контакты 34 конструктивно выполнены, как контактные колодки 3.
Автомат работает следующим образом.
Движение с электродвигателем 16 через редуктор 17 и цепную передачу 18 передается на вал 19. С вала 19 через зубчатые колеса 20, 22 и 21 движение передается на валы 23 и 24, несущие на себе дисковые кулачки 25 и 26 и торцовые кулачки 27 и 28. Дисковые кулачки
25 и 26 передают движение на ползуны 9 и 10 механизма последовательной подачи приборов через шарикоподшипники 11. Торцовые кулачки 27 и 28 через ролики 29 и 30 передают движение на рычаги 31 и 32 контактных колодок
3, а контакты 33 и 34, закрепленные на рычагах 31 и 32, обеспечивают коммутацию интегральных схем с измерительным оборудованием.
Измеряемые приборы в кассетах подаются в верхний механизм перемещения кассет 4 и по направляющей 35 скользят до отсекателя 5.
Отсекатель 5 поштучно выдает по одному прибору. Приборы дальше по направляющей 35 поступают в первый подвижный участок на плоскость А кронштейна 12. Ползун 9 под действием пружины 36 подает прибор в зону конгактных колодок, а плоскость Б кронштейна
13 оказывается на одном уровне с плоскостью
45 скольжения направляющей 35. Следующий прибор, выданный отсекателем 5, по направляющей 35 и по плоскости Б поступает на плоскость В кронштейна 14 второго подвижного участка. Ползун 10 двигается вниз одновременно с движением ползуна 9 вверх и подается прибор в зону контактных колодок.
В момент измерения второго прибора плоскость А кронштейна 12 и плоскость Гкронштейна 15 совпадают, и замеренный первый прибор с плоскости A скользит вниз по плоскости Г и дальше по направляющей в кассету, установленную в нижнем механизме перемещения кассет 4.
Фотодатчики 37 и 38 считают количество поступивших и годных приборов и подают сигнал в блок управления 6. Блок управления 6 через контактную группу 39 и кулачки 40 задает необходимый режим перемещения кассет на загрузке и выгрузке приборов механизмами перемещения кассет 4.
В крайнем нижнем положении ползуна 9 и в крайнем верхнем положении ползуна 10 приборы с направляющей 35 по плоскости Б загружаются на плоскость В ползуна 10, а замеренный прибор с плоскости В уходит по направляющей в кассету.
В следующий цикл, когда ползун 9 находится в крайнем верхнем положении, а ползун
10 — в крайнем нижнем положении, измеряемые приборы поступают с направляющей 35 на плоскость А, а замеренные приборы с плоскости А по плоскости Г ползуна 10 уходят в кассету нижнего узла перемещения кассет.
В отличие от указанного выше оборудования, где загрузка, измерение и разгрузка прибора производятся последовательно на одной позиции измерения, в предложенном устройстве время на загрузку и разгрузку прибора на одной позиции совпадает с временем измерения прибора на другой позиции, поэтому подключенное к автомату измерительное оборудование работает без перерывов на механические операции.
Формула изобретения
Автомат коммутации и разбраковки, содержащий основание с наклонной неподвижной направляющей, две подвижные контактные колодки, состоящие из двух подвижных групп контактов, направляющую для разгрузки приборов, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, автомат снабжен механизмом последовательной подачи приборов, содержащим два подвижных ползуна, несущих каждый по два кронштейна, на которых размещены параллельные плоскости, с расстоянием между ними, равным шагу рабочего хода ползуна, образующие подвижные направляющие, поочередно и попарно совмещающиеся с неподвижными плоскостями направляющих на позициях измерения и загрузки — разгрузки.
560278
Составитель С. Урецкая
Техред Л. Брахнина
Корректор Н. Аук
Редактор В. Левятов
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 1390/10 Изд. № 490 Тираж 992 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
