Устройство для испытания интегральных схем

 

О П И С А Н И Е | |, 578662

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕПЬСТВУ

Союз советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 29.12.75 (21) 2304745/18-25 с присоединением заявки ¹ (51) М. Кч Н 01L 21/66

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.10.77. Бюллетень ¹ 40 (53) УДК 621.382(088.8) (45) Дата опубликования описания 21.10.77 (72) Авторы изобретения

В. А. Филатов, Б. H. Гуреев, Б. Б. Долин и В. И. Кормилкин (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПЫТАНИЯ ИНТЕГРАЛЪНЪ1Х СХЕМ

Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной техники и предназначено для проведения климатических испытаний интегральных схем.

Известно устройство для испытания интегральных схем, содержащее контактное устройство, корпус, снабженный поворотным и фиксирующим устройствами и систему управления и измерения.

В этом устройстве размещение интегральных схем осуществляется непосредственно в корпусе, периодически поворачивающемся относительно перемещающегося контактного устройства. Учитывая необходимость одновременного испытания значительного количества интегральных схем и их частую перезарядку, такое размещение интегральных схем затрудняет процесс перезарядки, а перемещающееся относительно корпуса контактное устройство имеет малую надежность из-за большого числа изгибов подсоединительного кабеля, Наиболее близким к изобретению техническим решением является устройство для испытаний интегральных схем, содержащее контактное устройство, корпус, снабженный поворотно-фиксирующим механизмом, носители интегральных схем, систему управления и измерения.

Носители интегральных схем известного устройства жестко закреплены на корпусе, который через скользящие контакты связан с системой измерения. Наличие скользящих контактов снижает надежность работы известнсго устройства.

Целью изобретения является повышение надежности устройства.

Указанная цель достигается тем, что носители интегральных схем закреплены на ïðóжинных подвесках в съемных кассетах корпу10 са с возможностью радиального перемещения на позиции контактирования.

На чертеже схематически изображено предложенное устройство, общий вид с частичными вырезами для лучшего показа конструк15 ции.

Устройство содержит корпус 1, контактное устройство 2, кассеты 3 с носцтелямп 4 интегральных схем, поворотный пневмоцилиндр 5, фиксирующий пневмоцилпндр 6, прижимной

20 пневмоцилиндр 7, пружинные подвески 8.

Устройство для испытания интегральных схем работает следующим образом.

Интегральную схему закрепляют в носителях 4, которые с помощью пружинных подве25 cot 8 ycTaHBB. t T B c be Hb кacceTax 3, размещенных в корпусе 1.

После фиксации корпуса 1 фиксирующим пневмоцилиндром 6 производится прижим ноСНТе. eÉ HHTeI pа lbtthIX

30 устройству 2 прн помощи системы рычагов от

578662

Формула изобретения

Составите,н> Ю. Цветков

Техред А. Камышникова

Корректор Н. Аук

Редактор Н. Коляда

Заказ 2796/18 Изд, № 841 Тираж 995 Подписное

ИПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, %-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 прижимного пневмопилиндра 7. Прн этом носители смещаются в радиальном направлении на пружинных подвесках 8.

По окончании измерения электрических параметров интегральных схем прекращается подача сжатого воздуха в прижимной пневмоцилиндр и с помощью его пружины, а также подвесок 8 носители 4 интегральных схем отключаются от контактного устройства 2.

После окончания отключения носителей происходит поворот корпуса и подвод очередных кассет с интегральными схемами с помощью поворотного пневмоцилиндра 5 к контактному устройству 2.

Устройство для испытания интегральных схем, содержащее контактное устройство, кор5 пус, снабженный поворотно-фиксирующим механизмом, носители интегральных схем, систему управления и измерения, о тл и ч а ю ще еся тем, что, с целью повышения надежности устройства, носители интегральных схем за10 креплены на пружинных подвесках в съемных кассетах корпуса с возможностью радиального перемещения на позиции контактирования.

Устройство для испытания интегральных схем Устройство для испытания интегральных схем 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов
Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин
Наверх