Классификатор полупроводниковых приборов

 

Союз Советских

Социалистиыеских

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное,к авт. свид-ву— (22) Заявлено 07.01.75 (21) 2693818(25 с присоединением заявки М:— (23) Приоритет—

Опубликовано 15.07.77. Бюллетень Ы 26

Дата опубликования описания 31.08.77 (51) М. I< a Н 01L 21/66

Гасударственный камите

Совета Министров СССР па делам изобретений и открытий (53) УДК 621.382 (088.8) (72) Авторы изобретения О. И. Крачковский, В. В. Куцинс и С. Г. Трифонов (71) Заявитель (54) КЛАССИФИКАТОР ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

ПРИБОРОВ

Изобретение относится к радиоэлектронной промышленности и может быть использовано при производстве, полупроводниковых приборов, преимущественно бескорпусных, для автоматического измерения электрических параметров, классификации с последующей раздельной раскладкой измеренных приборов.

Известны классификаторы,полупроводниковых приборов, содержащие измерительное устройство, ко нтактное устройство для подключения пр ибора к измерительному устройст ву, логическое устройство, обрабатывающее результаты измерений и через запоминающееустройство, подающее сигнал на устройство раскладки приборов в тару (1).

Указанные, классификаторы в основанном предназначены для измерения .полу проводниковых приборов в корпусе с кестк ими BbIBoдами и не позволяют измерять и классифициро|вать приборы в бескорпусном исполнении в частности с клейким покрытием (кристалл, покрытый компаундом) .

Полу проводниковые .приборы, конструктивно выполненные в бескорпусном исполнении, имеют следующие особенности: выводы прибора имеют малый диаметр, относительно большую длину и большое соотношение длины .к диаметру, не допускают большого усилия на растяжение, не допуокают большого .КОIITBKTlIIGI o Да|вления (Рлоп - 20 г iвыlвоlд), имеют клейкое покрытие кристалла и выполнены без теплоогвода, Вышеперечисленные ocoáàíIIoñòï бескорпусных,приборов не допуакают гранопортив ровку и выгрузку приборов на валом и пр иводят к тому, что при измерении электрических,иа рамепров и классификации с .последую щей разгрузкой приборов ие обеспечи1ваегся точное месторасположение выводов пр иборов

10 в контактном устройспве, исключение прилипан ия прибора к устройству раскладки, что затрудняет выгрузку приборов, постоянство температуры переходов при подаче пре дельных режимов измерения, а следовательно и

15 значения измеряемых параметров.

Наиболее бл из!ким .по технической сущности к запвляе маму я вляется устро11 сгво (2J, которые содерхкит измерительное усгройство, блок па мяти, коордвнатный столик, контакт20 11ое устройсгво для пОд ключения прибора к измерительному устройству, включающее кассету с пнездами, прижим-захват с прижии ым кольцом и контактную головку с контактами и ирчеводом, устройспво раскладки измерен25 иых приборов в т ра нспортные кассеты, механизм .перемещения транспортных кассет, включающий каретку,,привод, электро магниты и программный .датчик, усгройство выгрузки.

30 Недостатки этого устройства еле дующие:

° . Ie

565338

65 низкая производ ительно сть; закрепление,приборoIB на кассете,вооком вызывает itottaigaeHe воска на выводы,во в ремя изме рения, что ухудшает усло вия электр ичеокаго контакта, à patotiлавление воска,по вышает температуру измеряемых приборов; пе ренос приборов до измерения от кассеты к измерителвному устройству является дополлителыной аперацией; устрой ство нвприпадно для работы с приборами мaJIoro веса и клейким покрытием кристалла, TBIK как происходит прилипа ние

lIpHoopoIB:K присосной головке, а выгрузка под действием сабст венного веса и сжатого воздуха затруднена; классификация приборов праводится в режиме «брак —.годен», а:поэтому устройство не позволяет, производить раздельную раскладку приборав,при наличии более двух

rpyItIitI классификации; выбранная кассета и метод QHNcagHи,пр|ибора,воаио м на кассете не поз воляют праводить любую тех нологичес кую обработку п риборов.

Целью изобретения является повышение надежности и производительности классификатора, упрощение его конструкции.

Это,дастигается тем, что в предлагаемом кла ссификато ре каждое гнездо ка ссеты контактного устройспва выполнено с опверстием, соединенным с IBIIIpaiBëÿþùHìH пазами, которые заканчиваются оивозными отверспиями для прохода,канта ктав контактной голодовки к прижим-захвату, в который возведены Itipy»KIHHный компенсатор и падпруж иненный сбрасыватель со сквозным отверстием, причем .конTBKTIHBFt головка связана с неподвижньим упором во время измерения прибора, а прижимзахват за крвплен на каретке устройства раскладки и перемещается к транспортным кас сетам, íà каретке механизма перемещения которых закреплены электромагниты, подключенные к блоку,па мяти, при вод каретки соединен с протраммньгм датчиком, .выходы которого подключены к блоку памяти и приво(ду.

Взаимное расположение элементов механизма перемещения транопортных каосет, а именно расположение на каретке электромагнитов, подключение их к блоку памяти, соединение,привода ка ретки с программным датчикам и подключение выхадо в программ ного датчика к блоку памяти и приводу позволяет осуществить paaipeльную раскладку измеренных лрибаров в транспортные кассеты, причем переымеще ние транспортных:кассет осуществляется во время возврата устройства, раскладки в исходное положен ие и замера очеред toro при бора.

Увеличение производительности классификатора также достигается месторасполо»кением KQHTBIKTIFI01 о устройства, а именно размещением его непасредстванно около места выгрузки приборо в, причем,иоардинатный,столик во время измеренця перемещается под

IO

I5

Зо

50 плиту с транопортными кассетами с выходом из-под нее после замера последнего прибора в кассете, что позволяет сократить путь перемещения при выгрузке ITpHoolpoIB в трап спортные кассеты.

На фиг. 1 изображена схема предлагаемого кла соификатора полупроводниковых приборов; на фиг. 2 —,прижим-захват, разрез; на фиг. 3 — контактная головка, разрез; на фиг. 4 — контактное устройство во,время измерения, раз рез; на фив. 5 — разрез по

А — А на фиг. 4, включающий гнездо кассеты.

Кла с сиф икатор полупровадникавых приборов содержит координатный столбик 1, систему 2 управления, перемещением координат ного столика, кассету 3, плиту 4, ycTpoHcTIBO раокладии 5, систему 6 управления устройcT вом раокла дки, прижим-.зах|ват 7, IKQIHTaктную головку 8, оистему yiitipaBJIOFIHFI при во дом 9 контактной голавк и, пружину 10, регулирую щий упор 11, рычаг 12, кулачок 13, вал 14, измерительное устройспво 15, блок памяти16. вакуумное устройство 17, пневмоустройство 18, каретку 19, привод 20 каретки, лрограммный датчик 21, электромагниты 22, транспортные, кассеты 23, магазин 24, датчики кассети рования 25, механизм каосети рования 26 с кареткамп 27, обоймы 28.

На KaipeTIKe 29 устройства раскладки 5 в направляющей втулке 30 размещен прижимзахват 7, котарыи содержит корпус 31, имеющий упор 32. В расточке корпуса 31 вставлен сетчатый д иск 33, пад которым находится прижимное кольцо 34, закрепленное гайкой 35 и винтам 36.

В корпусе 31 вы полцены опверстия, соответственно количеспву и раоположен ию вы водов полупроводникового прибора, которые соединены со штуцером 37. Сбрасы<ватель 38 удерживается лружиной 39 на упоре 32. Опора 40,пружинным компенсатаром 41 1п рижимается к крышке 42. Пру»инны 43, paiBHoмерно расположенные по окружности, уде|рживают .IipIHcKим-захват 7 в верхнем положеIIHiH, ко|птакты 44 контактной головки 8 находятся,пад усилием тарираванных .пружин 45 в корпусе 46 и подключены к измерителыному устройству 15.

Гнезда кассеты 3 имеют отверстия «а» и напр а|вляющие,пазы «о».

Классификатор работает следующим абра зом.

Кассету 3 с загруженными приборами ycTBHBBJIи вают ла IKoopдинатный IcTQJIHIK 1.

Включают питание классификатора. С|истема

viIpBBëåHHÿ .приводом 9 контактной головки 8 подводит прижим-замват 7, леремещая его параллельно оси Z координатной системы к кассете 3 (фиг. 4), создавая постоянное усилие на кассету 3 пру»иинным компенсатором 41, и капта ктную головку 8 — к выводам погтуправадникавого прибора, находящегося в кассете 3.

565338

1О

25

65.

Контакты 44 проходят через оивозиое отверстие кассеты 3 и поднимают прибор по напра вляющ им пазам «б» и прижимают его выводами к,прижимному кольцу 34 с усилием тарирава ипых пружин 45.

Контактная головка 8 падво|дится плачевно через рычаг 12 от кулачка 13 и во время из мерения удерживается пружиной 10 и на непадвижцам упоре 11 при разомкнутой механической связи ме иду нажимной площадкой контактной головки 8 и ее приводом. Затем запуокается измерительное устройство 15. Результаты измерения параметров, а именно, группа,классификации полуправадникаваго прибора, записывается в блоке памяти 16, Одновременно поступают сигналы от измерительного устройства 15 на вакууиное устройство 17, удерживающее при бор за кристалл и вывады на прижим-захвате 7, и на систему управления приводом 9,контактной головки 8,,которая OTIBOIgHT прижим-захват 7 и контактную головку 8 в исходное положение.

В это время с блока памяти 16 поступает сигнал, соответствующий данной грулпе приборов на электромагнит 22, якорь которого входит в зацепление с транопоргной кассетой 23, Одновременно с блака памяти 16 подается сигнал классификации на оистему управления б устройством расклаpiKH, По возвращении в исходное погложоние контактной головки 8 система упра вления по сре дствам приво да 9 подает сигнал .на систему 2 у правления нри|вадом кооppiинатного столика, котарая подводит на измерительную позицию, следующий прибор. Координатный сголик,перемещается дискретно параллельно осям л. и У в плоскости ХУ с постоянным шагом. Шаговое, перемещение координатного столика о существляегся системой управления с ша говьпм элекгродвигателам.

Однавременно подается сигнал на систему 6 управления приводом устройства рас,кладки 5, которое перемещает устройство раскладки с полу п1 аводникавым прибором на место .выгрузки. Устройство раскладки пере мещается шагавы м двигателем и управляется по,пути. После остановки yicT poHOTIBB раскладки 5 с системы 6 у правления npHBoipом IHOступают сигналы:на вакуумное устройсгво 17 и на лневмоустройспво 18, опключаегся ва иуум, подключается сжатый воздух к штуцеру 37 прижим-захвата 7. Сжатый воздух давит на фланец сбрасывателя 38, сжимается пружина 39, сбрасыватель 38 перемещается вниз, нажимает,на выводы прибора, а через отверстие сбрасывателя 38 сжатый воздух да!вит па прибор. В результате механического и пневматического воздействия прибор выгружается в гнездо транспортной кассеты 23, после чего огключаегся подача сжатого воздуха.

Одно временно inopается оивнал на BOBIBpaT устройства раскла д ки в исхадное положение и на при вод 20 каретки 19, который перемещает транспортную кассету 23 на шаг, после

6 чего с программного датчика 21 поступает сигнал па сорос информации в блоке памяти 16.

Якорь электромагнита 22 выходит из зацепления с транс порпной кассетой 23, à каре ка 19 возвращается в исходное положение, определяемое сигналом программного датчика 21. После перемещения координатного столика 1 и воз вращения устройства ipacкладки 5 в исхадное положение от системы 2 управления приводом KooppHHBTIHQI o столика и системы 6 управления приво дом устройсгва раскладки 5 пост1упают сигналы в систему управления приводом 9 кантактнои головки 8, которая выполняет функции пускового сигнала, Цикл повторяется.

В конце захода в обойму 28 транспортной каcceii. 23, датчик кассетирования 25 и блок памяти 16 подают сигналы в механизм кассетирова ния 26, который опускает каретку 27 с обоймой 28, освобождая место для захода следующей транспортной кассеты 23.

Формула изобретения

Классификатор .полуправоднико вых приборов, преимущеспве нно бескорпусных, содержащий измерительное устройство, блок памя ти, координатный столик, контактное устройство для подключения пр1ибора к измерительному успройству, включающее кассету с гнездами, прижим-замват с лрижимньпм кольцом и IKQHTBIKTiíóþ головку с контактами и привадом, устройство,раскла дии измеренных приборов в транспортные кассеты, механизм перемещения транспортных кассет, включающий карепку, привод, электромагниты и программный датчик, устройство, выгрузки, отл и чаю щи и с я тем, что, с целью повышения надежности и призводительности классификатора и упрощения его конструкции, каждое гнездо кассеты контактного устройства имеет

oTIBBpстие и соединенные с ним напра вляющие пазы,,которые заканчиваются сквозны м и отверстиями для прохода KOIHTBKTOIB контактной головки к прижим-захвату, в,когорый ,введены пружинный ком пенсатор и падпружиненный сбрасыватель со сивозным отверстием, контактная голодовка во время измерения прибора связанна с напо д вижным упором, а прижим-захват закреплен на каретке устройст ва раскладки с возможностью перемещения,к гранспоргным кассетам, на каретке механицизма перемещения которых закреплены электромагниты, подключенные к блаиу памяти, привод .каретки соединен с програ ммным датчиком, выходы кото рого .подключены к блоку памяти и при воду.

Источники информации,,принятые Во внимание,при экопер-пизе:

1. Патент США М 3601699, кл. 324 †15, опублик. 197,1.

2. Патент Англии М 1325016, кл, Н1К, опублик. 1973.

565338 — 10

Puz. Ф

Составитель И. Сменов

Техред 3. Тараненко

Корректор Л. Котова

Редактор И. Шубина

МОТ, Загорский филиал

Заказ 5805 Изд. М 580 Тираж 995 Подписное

Ц1-1ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5