Проходная камера для климатических испытаний полупроводниковых приборов

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

" 565339 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 07.07.75 (21) 2152048/25 с присоединением заявки М (23) 11риоритет—

Опубг!пковано 15.07.77. Бюллетень М 26

Дата опубликования описания 31.08.77 (51) i!. Кл.- H 01L 21/66

Государственно!й комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК 621.382 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. В. Чистов и В. И. Кононов (71) Заявитель (54) ПРОХОДНАЯ КАМЕРА ДЛЯ КЛИМАТИЧЕСКИХ

ИСПЫТАНИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение. относится к области полупроводни кового производства и, в част ности, может быть использовано для климатичвских испытаний при одновременном измерении электрических параметров полупровод|никовых оориборов.

Известна климатическая измерительная и испытательная камера, содержащая автоматические регуляторы температуры и относительной влажности, испытательный отсек и циркуляционный воздушный канал с вентилятором, охладителем, нагревателем и увлажнителем, в котором уста новлен охладитель гигрометра, регулятор температуры охладителя 11).

Недостатками этой проходной камеры являются опраниченные технологические возможности, малая емкость тразнопортного устройства и, как следствие, небольшая произ водительпость, значительные габаритные размеры, приводящие к неэкономично му использованию п роизводственнь!х площадей.

I1апболее близкой,по технической сущности к предлагаемому изобретению является проходная и а vI c p a, с одер ж а!ц а я р а о о ч у !о к амеру, накопительный транспортирующий барабан с пазами для полупроводниковых приборов, загрузочное и разпрузочное устройства, Недостатками этой каморы являются ма2 лая производительность и малый коэффициент использования объема рабочей камеры и накопителя, так как накопитель барабанного типа выполнен с пазами для приборов, расположенными по его образующим (по периферии).

Целью настоящего изобретения является увеличение производительности и коэффициента использования объема рабочей камеlр ры и накопителя.

Это,достн!гается тем, что в предлагаемой камере пазы размещены в радиальном направлении на всю глубину барабана, выполненного ступенчатым в ннжней части, а разгрузочное устройство выполнено в виде кареток с приводом возвратно-поступательного движения, имеющих пазы для спутников с приборами, и расположенных на уровне соответствующих ступеней ба рабана.

На чертеже показана схема механизмов предлагаемой пароходной камеры, содержащей пнтareëü 1, механизм загрузки 2 с изогнутыми направляющими 3 — 5 для загрузтои изделий, промежуточную направляющую 6 с пазами 7 — 9, накопительный механизм транспорт!зровки изделий барабанного типа 10 с пазами 11 — 13, в нижней части которого имеются ступени 14 — 16, подвижные каретки 17 — 20, неподвижную нап ра вляющу!о 21, подключаюЗр щее устройство 22 (показано условно).

565339

Подвижные каретки 17 — 20 соединены тягами 23 — 26 с П-образными перемычками

27 — 30. Последние посредством рычагов

31 — 34 н храповых колес 35 — 38 взаимодействуют с валом 39, соединенными с приводом возвратно-.поступательного движения 40.

Вал 39 при помощи храпового колеса 41 и рычага 42 соединен с тягой 43, которая вместе с храповым колесом 44 предназначена для периодического поворота на шаг барабана-накопителя 10. В нижней части проходной к,IMetpbi установлена напра вля1ощая 45 Bblгрузки изделий.

Проходная камера работает следующим образом.

Транзисторы, уложенные в технологическую тару-спутники или без нее, поступают в течку .питателя 1, затем в направляющую 3 механизма загрузки 2, проходят сквозь паз 7 неподвижной на пра вляющей 6 и загружаются в паз 11 транспортирующего бара бана HBIKoIièòåëÿ 10. Приборы снизу удерживаются дисками (Ha чертеже не показаны).

При заполнении паза 11 число запружаемых приборов контролируется фотоэлементами (на чертеже не показаны), механизм 2 перемещается на шаг, совмещая напра вляющие 3 и 4 с пазом 8 промежуточной направляющей 6 и пазом 12 барабана-накопителя 10.

По заполнении паза 12 механизм 2,перемещается еще,на шаг, со вмещая на правляющие 4 и 5 с пазами 9 и 13. После заполнения трех радиально расположенных пазов 11, 12 н 13 непрерывно действующий привод 40 с помощью храпового колеса 41 поворачивает рычаг 42, который перемещает тягу 43. Последняя посредством храмового колеса 44 взаимодействует с ба рабаном-на копителем 10 н поворачивает его на шаг. На позиции загрузки под промежуточной направляющей 6 устанавливаются свободные пазы бараба нанакопителя 10, заполнение которых изделиями осуществляетоя описанным выше образом.

После заполнения .каждого ряда пазов (в радиальном направлении) барабан поворачивается на шаг. Полный оборот барабана по времени соответствует времени выдержки приборов в задан ном температурном режиме.

Из пазов изделия выгружаются поштучно.

Вначале изделия выгружаются из паза 11 кареткой 19, которая посредством хренового колеса 37, рычага 33 и тяг 25, соединенных перемычкой 30, перемещается от исходного положения (показано на чертеже) под сту5

25 зо

З5

4О

43

4 не!iu 16 оаl)aоснiа-накопителя 10, совмещаясь с пазом 11. В карету 19.падает одины при бор, который она подает до исходного положения, прибор выпадает и через неподвижную направляющую 21 попадает в каретку 20, которая перемещает прибор от исходного положения к подключающему устройству 22, где измеряются электрические параметры, а при обратном rope каретки 20 ироисходит выгрузка изделий через направляющую 45 из камеры в сорти ро вочное устройство.

Подобным образом посредством храпового колеса 36, рычага 32, перемычки 28, тяг24 и каретки 18,:которая заходит под ступень 15, выгружаются изделия из паза 12.

Соответствеяно с помощью храпо вого колеса 35, рычага 31, перемычки 27, тяг 23 и каретки 17, которая заходит под ступень 14 (положение карели 17 в момент выгрузки изделия на чертеже показано пунктиром), выгружаются изделия из паза 13. Каретки 17, 18 и 19 работают поочередно, обеспечивая полную выгрузку соответспвующего паза, в то время как две другие находятся в исходном положении (неподвижны).

После выгрузки последнего прибора из паза 13 б@ра бан-накопитель 10,поворачивается на шаг, и свободные пазы 11, 12 и 13 оказываются на позиции загрузки.

Формула изобрстсния

Проходная каьмера для климатических испытаний полупроводниковых приборов, например мощных транзисторов, в технологических спутниках-носителях, содержащая рабочую камеру, .накопительный транспортирующий барабаны с пазами для приборов, разгрузочное н загрузочное устройства, отл и ч а ютящаяся тем, что, с целью увеличения производительности и коэф фициента использования объема рабочей камеры и наколителя, пазы размещены в радиальном направлении на всю глубину oapai6aiHB, выполненного ступенчатым в нижней части, а разпрузочное устройство выполнено,в виде кареток с приводом возвратно-поступательного движения, имеющих пазы для спутников с приборами и расположенных на уровне соответствующих ступеней бараоана.

Источники информации, принятые во внимание при экапертизе

1. Патент ФРГ М 1698104, кл. 421 12/01, опубл. 1970 г.

2. Техническое описание установки «Super

charger-72», мод 8072, каталог фирмы «Delta

Design», 1972 (прототип) .

565339

«У

Редактор И, Шубина

Корректор А. Степанова

Заказ 5805 Изд. № 580 Тираж 995 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам пзооретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раушская паб., д. 4/5

МОТ, Загорский филиал ф l ф

У,.

Составитель Ю. Цветков

Техред 3. Тараненко