Способ соединения стекла с металлом
О П И СА Й И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
<))787383
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву(51)М. Кл. (22)»»>e«180179 (2>)i g.714693/29-33 с присоединением заявки №вЂ”
С 03 С 27/04
Государственный комитет
С СС P по делам изобретений н открытий (23) ПриоритетОпубликовано 151280 Бюллетень ¹ 46
Дата опубликования описания 15.1280 (53) 4)(666. 1. 037..5(088.8) (72) Авторы изобретения
О. А. Белявская, Л. А. Дягилева, С. В. Смирнов и Н. П. Часовских (71) Заявитель (54) СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ СТЕКЛА С МЕТАЛЛОМ
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении металло-стеклянных узлов корпусов электронных прибо5 ров.
Известен способ соединения стекла с металлом путем сплавления в инертной среде, причем, с целью повышения прочности соединения, металлические детали предварительно покрывают медью (1J .
Недостатком способа является низкое качество соединений из-за наличия на поверхности меди окислов.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ соединения стекла с металлом путем меднения его поверхности, отжига металла в атмосфере водорода при 1000- 20
1100 С с последующим сплавлением со стеклом (2(.
Способ позволяет существенно улучшить адгеэию стекла к металлу, но диффузия меди в стекло уменьшает электри- 25 ческое сопротивление спая до 10 -108Ом.
Цель изобретения - получение спая с бороалюмосиликатными стеклами с элек тричес к им с оп рот и влени ем выше
10" Ом. 30
Цель достигается тем, что в способе соединения стекла с металлом путем меднення его поверхности, отжига металла в атмосфере водорода при 10001100 С с последующим сплавлением со стеклом, металлическую деталь изготавливают иэ медно-молибденового псевдосплава, меднение его поверхности осуществляют путем избирательного травления, после отжига металлическую поверхность покрывают слоем никеля толщиной 2-9 мкм, а сплавление ведут в среде азота при 980-1020 С.
Реализацию способа проводят по следующей схеме.
Металлические детали изготавливают из медно-молибденового псевдосплава марок МД-50, МД-40 штамповкой или точением. Затем их обезжиривают и подвергают избирательному травлению в смеси следующего состава: КЗ(Ге(СМ)Д»
30-35 г, NaOH 4-6 г, Н О 100 мл при
55-60 С в течение 3-6 мин. После травления детали осветляют и подвергают отжигу в атмосфере водорода при
1000-1100 С в течение 20-30 мин, затем на детали наносят гальваническое покрытие никелем толщиной 2-9 мкм.
Далее металлические детали сплавляются со стеклом в атмосфере азота.
787383
Формула изобретения
Составитель С. Смирнов
Редактор М.Келемеш, Техред N. Голинка Корректор О. Ковинская
Заказ 8264/21 Тираж 528 Подпис йое
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Для бороалюмосиликатных стекол
С76-4, С52-1 температуру сплавления поддерживают в интервале 980-1020 С в зависимости от марки стекла.
Пример;1. Детали выполняют из сплава МД-50 (50% Cu) с толщиной покрытия никелем 3 мкм, температурой сплавления со стеклом марки С52-1.
990-10 С и электрическйм сойротивлением,спая 2 ° 10 Ом.
Пример 2. Детали выполняют из. сплава ИД-40 -(40® .Со) с толщиной покрытия никелем 6 Мкм, температурой . оплавления со стеклом марки С76-4
1010 + 104C и электрическим сопротивлением спая. 8 ° 10" Ом.
Полученные металло-стеклянные узлы !.5 имеют высокое электрическое сопротивление не ниже 10 0м, которое не изменяется в процессе эксплуатации.
Предлагаемый способ применяется при изготовлении. металло-стеклянных 2О узлов корпусов мощных полупроводниковых приборов, обладающих повыаенной надежностью.
Способ соединения стекла с металлом путем меднения его поверхности, отжига металла в атмосфере водорода при 1000-1100 С с последующим сплавлением со стеклом, о т л и.ч а ю щ и й- с я тра, что, с целью получения спая с бороалюмосиликатными стеклами с электрическим сопротивлением ньиве
10 Ом, металлическую деталь изготавли4f вают из медно-молибденового .псевдоспла-. ва„ меднение его поверхности осуществляют путем избирательного травления, после отжнга металлическую поверхность дополнительного покрывают слоем никеля толщиной 2-9 мкм, а сплавление ведут при 980-1020 С.
Источники информации принятые во внимание при эксйертизе
1. Патент ГДР 9 118751, кл. Н 01 5/46, 1976.
2. Роус В. Стекло в электронике.
N., "Советское радио", 1969, с. 126, 140-141.