Способ очистки деталей

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОБУСЫ©МУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ

Союз Севетсиик

Сецианнстнческия

Республик (61) Дополнительное к ает. сеид-ву— (22) Заявлено 1209.78 {21) 266615 3/22-12 (51) М. КЛ. с присоединением заявки ИР

В 08 В 5/00

ГосуяеРстеенный яоинтот

СССР яо ямви нзобретеннй н открытнй (23) Приоритет (53) УДК621. 793.02 (088. 8) Опубликовано 232081. Бюллетень Н» 39

Дата опубликования описания 23>0>1 (72) Авторы изобретения

М. A. Багиров, В.A.Oñêîëîíîâ, В. П.Малин

Сектор радиационных исследований AH A (71) Заявитель (54 ) СПОСОБ ОЧИСТКИ ДЕТАЛЕИ

Изобретение относится к очистке поверхностей и может быть использовано для очистки деталей и узлов вакуумных систем.

Известен способ очистки деталей с помощью травления высокочастотной кислородной плазмой P1) .

К недостаткам этого способа относятся необходимость использования ВЧ генератора и большое время очистки.

Наиболее близким к иэрбретенню

:является способ очи ст ки дет алей, включающий обработку их поверхности газообразной кислородсодержащей средой и вакуумирование (2) . 15

Недостаток способа состоит в том, . что на очищаемую деталь оказывают действие электроны и ионы, что су;. щественно ограничивает область при» менения способа и снижает качество 2О очистки.

Целью изобретения является повышение качества очистки.

Поставленная цель достигается тем, что обработку поверхности деталей производят струей активированного кислорода при давлении 0,1-10 мирт.ст, Диссоциированный (атомарный) кислород получают с помощью тлеющего разряда в трубке Вуда,в которую с заданной 30 объемной скоростью подают кислород с небольшой примесью паров воды для увеличения выхода атомов кислорода.

Иэ трубки Вуда частично диссоциированный кислород откачивают из разрядной зоны через диафрагму в виде сопла в рабочую камеру, где перпендикулярно оси сопла располагается очищенная. деталь. Сопло служит для сведения к минимуму электронно- ионносоставляющей плазьы и формирования струи активированного кислорода.

Атомарный кислород вызывает полное и быстрое удаление всех органических соединений в результате химического взаимодействня с ними, при этом единственными продуктами реакции являются углекислый газ и пары воды, которые легко удаляются в процессе самой очистки путем откачки. Активкрованный кислород способен очищать детали самой сложной конфигурации с отверстиями самого малого диаметра.

Пример. Вакуумная система, предназначенная для обработки интегральных схем, состоящая из стеклянного кблпака, винипластового резервуара и соединительных трубок общим объемом 25 л., откачивалась с помощью насоса РВН-20 (максимально

874231

Формула изобретения

Составитель Л. Мальцева

Техред A.Ñàâêà Корректор Г. Назарова

Редактор О. Половка

Заказ 9131/17 Тираж 659 Подписное,ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 достижимый вакуум при холостом ходе

5 ° 10 мм рт.ст.) в течение 15 дн. в результате чего удалось достичь вакуума б 10 мм рт.ст. После обработки активированным кислородом в течение 2 ч вакуум поднялся до 10 мм рт. ст., т. е. был достигнут практически предельно возможный вакуум. При обработке давление кислорода было

1 мм рт.ст °, расход кислорода составлял 10 л/ч, плотность атомов кислорода на выходе из сопла, измеренная методом каталитической рекомбинации на платине, равнялась 10 " атомов/см с.

Способ очистки деталей струей активированного кислорода имеет по сравнению с йзвестнымн способами следующие преимущества: упрощение процесса очистки, избежание применения вредных для организма человека веществ,иэбавление от сложной аппаратуры,предотвращение повреждения поверхности деталей электронно-ионной бомбардировкой °

Способ очистки деталей, включающий обработку их поверхности газообразной кислородсодержащей средой и вакуумирование, о т л и ч а ю щ н и с я тем, что, с целью повышения качества очистки, обработку поверхности деталей производят струей активированного кислорода при давлении 0,1-10 ммрт.ст.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

15 1. Патент США Р 3723289, кл. Н 01 Т 19/00, 1973.

2. Dugdaiе R.À. Thin So1id Fiims

1977, 45, М 3, 541-552.