Элементы конструкций электронно-оптических и ионно-оптических устройств или ионных ловушек, общие для двух и более основных типов электронных и газоразрядных приборов (H01J3)
H01J3 Элементы конструкций электронно-оптических и ионно-оптических устройств или ионных ловушек, общие для двух и более основных типов электронных и газоразрядных приборов(2216)
Изобретение относится к технике нанесения композитных покрытий путем проведения неравновесных плазмохимических процессов, объединяющих ионное распыление в магнетронном разряде и распыление ионным пучком.
Изобретение относится к ускорительной технике и может быть использовано при создании компактных импульсных острофокусных трубок мегавольтного диапазона, предназначенных для теневой рентгенографии быстропротекающих процессов.
Изобретение относится к области вакуумной фотоэмиссионной электроники и касается приемника изображений объектов, излучающих в ультрафиолетовом диапазоне. Приемник выполнен в архитектуре электронно-оптического преобразователя и включает входную оптическую систему, вакуумно-плотный корпус, входное окно, расположенный на торцевой поверхности входного окна фотокатод на основе поликристаллической алмазной пленки, легированной бором, микроканальную пластину, катодолюминесцентный экран и волоконно-оптическое стекло.
Изобретение относится к области активированного микроволновой плазмой химического осаждения из паровой фазы. Технический результат - повышение площади химического осаждения из паровой фазы.
Изобретение относится к области плазменной техники, а именно к газоразрядным источникам электронов, и может быть использовано в электрореактивных двигателях, в том числе, работающих на химически активных газах, для нейтрализации ионного потока, а также в вакуумно-плазменной технологии обработки поверхности различных материалов и нанесения функциональных покрытий с использованием химически активных газов, а также в качестве автономно функционирующего источника плазмы.
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для создания полностью управляемых газоразрядных электронных пушек, применяемых для плавки, сварки и размерной обработки тугоплавких металлов.
Изобретение относится к оборудованию для создания устройств микроэлектроники с помощью технологии электронно-лучевой литографии. Устройство для электронно-лучевой литографии (фиг.1) содержит: электронно-оптическую систему 1 с блоком контроля интенсивности электронного луча 2; координатный столик 3 с электроприводом 4 и блоком контроля текущего положения подвижной платформы 5; управляющий компьютер 6; генератор изображений 7; драйвер координатного столика 8; драйвер генератора изображений 9, при этом входы управления параметрами электронного луча электронно-оптической системы 1 подключены к соответствующим выходам генератора изображений 7, вход которого соединён с выходом блока контроля интенсивности электронного луча 2, а порт обмена данными связан по оптоволоконной линии связи через драйвер генератора изображений 9 с управляющим компьютером 6, который другим своим портом обмена данными через драйвер координатного столика 8 соединён с электроприводом координатного столика 4 и блоком контроля текущего положения подвижной платформы 5.
Изобретение относится к приборостроению в экспериментальной физике и технике и касается экранирования нежелательного рентгеновского излучения при проведении экспериментов по дифракции рентгеновского излучения для исследования кристаллических структур химических соединений при высоком давлении и высокой температуре с использованием камер высокого давления с алмазными наковальнями, оборудованных нагревательным элементом.
Изобретение относится к элементам конструкции вакуумных электронных приборов с термокатодом, точнее к катодным узлам для мощных (60-1200 кВт) электронных пушек для электротермии. Технический результат - повышение надёжности катодного узла.
Группа изобретений относится к технике ночного видения. Сущность изобретения заключается в том, что питание фотокатода и микроканальной пластины (МКП) выполняется импульсно, и источник питания электронно-оптического преобразователя (ЭОП) содержит схему формирования импульсов на фотокатод и МКП, причем во время нерабочего цикла формируется служебный импульс сброса, который разряжает микроканальную пластину и емкостные компоненты схемы электропитания.
Изобретение относится к способам для обработки подложек и к соответствующему аппарату. В частности, изобретение относится к реакторам для плазменного атомно-слоевого осаждения.
Изобретение относится к Li-содержащему материалу мишени, предназначенному для получения излучающей плазмы в высокояркостных источниках света и для генерации излучения в области экстремального ультрафиолета (ЭУФ) на длине волны 13,5 нм.
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для генерации низкотемпературной сильно-ионизованной плазмы. Технический результат – повышение радиальной однородности плазмы низкого давления для обработки полупроводниковых пластин большого диаметра до 600 мм.
Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при обработке внутренней поверхности протяженных отверстий металлических изделий или труб для повышения их поверхностной твердости, коррозионной стойкости и износостойкости.
Изобретение относится к установке для модификации поверхности полимерных пленок. Техническим результатом является регулирование площади, степени и достижение равномерной модификации без изменения физико-механических и диэлектрических свойств поверхности модифицируемых полимерных пленок.
Изобретение относится к области генерации электронного пучка в источниках электронов с плазменными эмиттерами в условиях ускорения и транспортировки электронного пучка в анодной плазме. Технический результат - повышение стабильности зажигания и горения тока дугового разряда в плазменном эмиттере и снижение влияния ионного потока из ускоряющего промежутка на генерацию эмиссионной плазмы.
Изобретение относится к области фотоэлектронных приборов и может быть использовано для изготовления микроканальных пластин, используемых в фотоэлектронных приборах для умножения электронов. Технический результат – обеспечение возможности снизить вызванную отраженным светом фотоэмиссию фотокатода.
Изобретение относится к области вакуумной электронной техники, в частности к элементам конструкции электронно-оптических преобразователей, используемых для регистрации сигналов быстропротекающих процессов.
Изобретение относится к плазменной технике, а именно к источникам индуктивно-связанной плазмы. Технический результат – повышение коэффициента полезного действия (КПД) и снижение тепловых потерь газоразрядного устройства.
Изобретение относится к электронике и электротехнике в области термообработки металлов с целью их вакуумного плавления, испарения, наплавления, сварки, резки, для аддитивных технологий. Технический результат - повышение надежности, возможность реализации длительных технологических процессов, расширение функциональных возможностей электронно-лучевой пушки по обеспечению программно управляемых режимов нагрева в соответствии с заданными требованиями.
Изобретение относится к инжектору линейных ускорителей синхротронов и может использоваться для решения задач онкологии или задач металловедения. В инжекторе анод и кольцо между анодом и изолятором импульсного источника водородных ионов выполнены многослойными из немагнитной фольги, изолятор выполнен в виде втулки.
Изобретение относится к области ускорительной техники. Технический результат - получение технологической дозы 1019 нуклонов за предельно короткое время (около 25 часов) с возможностью получения четырехзарядных ионов железа.
Изобретение относится к области применения кластерных ускорителей для обработки поверхности твердых материалов. Технический результат - получение одного и более имплантируемых изделий трубчатой конструкции с осевой ориентацией, используемых для сердечно-сосудистой хирургии, с модифицированной внутренней и внешней поверхностью за один цикл обработки и сокращение времени обработки.
Изобретение относится к области вакуумной технологии для поддержания высокого вакуума в различных приборах, в частности к области вакуумирования металлокерамических рентгеновских трубок. Технический результат - повышение эффективности активирования геттеров в рентгеновских трубках, увеличение времени сохранения рабочего вакуума в рентгеновской трубке и её ресурса, упрощение конструкции рентгеновской трубки.
Изобретение относится к рентгеновским устройствам, применимым в качестве составной части источника рентгеновского излучения для задач рентгеновской нанолитографии. Изобретение предназначено для апробации концепции рентгеновской литографии на базе источника синхротронного излучения в диапазоне длин волн от 6.6 до 13.5 нм.
Изобретение относится к области биомедицинских диагностических технологий. Технический результат - повышение пространственного разрешения рентгеновских томографов пятого поколения, увеличение скорости пространственного сканирования рентгеновского пучка за счет использования матричного эмиттера и создания долговечного фотоэмиттерного матричного источника электронов для получения динамического пространственно-сканируемого рентгеновского излучения для томографии.
Изобретение относится к устройству (100) и способу магнетронного распыления. Устройство содержит подложку (20), анод (34) в электрическом поле постоянного тока, мишень (16), которая образует катод (30) в электрическом поле постоянного тока и содержит электропроводящую смесь (36) для нанесения покрытия на подложку (20).
Изобретение относится к области образования заряженных частиц при атмосферном давлении и может быть использовано в научной деятельности, в медицине, в технологических процессах, во вторичной ионной масс-спектрометрии при атмосферном давлении.
Изобретение относится к области генерации электронных пучков большого сечения. Технический результат - повышение эффективности генерации и вывода электронного пучка из вакуума в атмосферу или объем повышенного давления путем использования импульсно-периодического высокочастотного вспомогательного тлеющего разряда.
Изобретение относится к ускорительной технике и предназначено для использования при разработке источников тормозного излучения на основе ускорителей электронов и при контроле их параметров при использовании в дефектоскопии и промышленной томографии толстостенных объектов.
Изобретение относится к области электронно-лучевой обработки и, в частности, касается автоматической электронной пушки с анастигматическим устройством и способа коррекции астигматизма электронного пучка для электронной пушки.
Изобретение относится к электронной технике, а именно к катодным узлам для мощных электронно-лучевых пушек, и может найти применение, в частности, в конструкции катодного узла мощной электронно-лучевой пушки для плавки тугоплавких металлов.
Изобретение относится к области плазменной техники, а именно к ионным системам, и может быть использовано в области ракетно-космической техники при разработке и сборке ионно-оптических систем (ИОС) ионных двигателей, ионных пушек и ионных ускорителей.
Изобретение относится к области ускорителей заряженных частиц с большой массой и с малым электрическим зарядом и может использоваться при создании ускорителей кластерных ионов для применения в областях ядерной энергетики, решения проблем управляемого термоядерного синтеза и для изучения свойств материи при сверхвысокой плотности энергии.
Изобретение относится к области плазменной техники. Технический результат - повышение эффективности ионизации текущей среды и безопасности работы реактора.
Изобретение относится к устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных магнитном и электрических полях и может быть использовано в качестве базового распылительного оборудования. Технический результат изобретения - повышение эффективности использования оборудования в составе системы вакуумного распыления в магнетронах и установках катодного осаждения за счет повышения общего эксплуатационного ресурса мишени, а также упрощение конструкции устройства и повышение надежности при эксплуатации.
Изобретение относится к области электронной техники, в частности к электронным пушкам для СВЧ приборов О-типа с длительным и дискретным взаимодействием. Технический результат - снижение энергопотребления электронной пушки СВЧ прибора, уменьшение времени разогрева катода и повышение надежности прибора в целом.
Изобретение относится к ускорительной технике и предназначено для использования при разработке источников тормозного излучения на основе ускорителей электронов и при контроле их параметров при использовании в дефектоскопии и промышленной томографии толстостенных объектов.
Изобретение относится к области электротехники, а именно к способу изготовления вакуумплотного бериллиевого выпускного окна рентгеновского излучения при использовании паяных соединений разнородных металлов с бериллием, и может быть использовано при изготовлении рентгеновских трубок.
Изобретение относится к области ускорителей заряженных частиц с большой массой и с малым электрическим зарядом и может использоваться при создании ускорителей кластерных ионов для применения в областях ядерной энергетики, решения проблем управляемого термоядерного синтеза и для изучения свойств материи при сверхвысокой плотности энергии.
Изобретение относится к способу электронно-лучевой сварки. Способ включает перемещение электронного луча со скоростью сварки Vсв и осцилляцию электронного луча в виде пилообразных колебаний вдоль стыка свариваемых деталей с формированием сварочной ванны и парогазового канала заданной глубины.
Устройство относится к области плазменной техники и может быть применено при разработке электронно-лучевых устройств, а также использовано в электроннолучевой технологии, экспериментальной физике, плазмохимической технологии.
Изобретение относится к области фотоэлектронных приборов и может быть использовано при изготовлении микроканальных пластин, используемых в фотоэлектронных умножителях, электронно-оптических преобразователях и различных типов детекторах излучения.
Изобретение относится к плазменной технике, к разделу способов управления плазмой. Технический результат – обеспечение возможности повышения точности управления потоками плазмы.
Изобретение относится к космической технике, в частности к катодам-компенсаторам электрических ракетных двигателей (ЭРД) электростатического типа ускорения (Холловского и ионного типа), в частности к безэлектродным плазменным источникам электронов с волновым источником плазмы.
Изобретение относится к электротехнике, в частности к приборам и устройствам для термообработки материалов и изделий в вакууме и может быть использовано в конструкции электронно-лучевой пушки для плавки тугоплавких металлов.
Изобретение относится к области электротехники, а именно к способу изготовления неиспаряемых геттерных материалов с повышенными механическими и сорбционными свойствами. Техническим результатом изобретения является повышение сорбционных свойств и механической прочности геттеров, а также упрощение производства геттеров сложной формы.
Изобретение относится к рентгеновским трубкам с вращающимся анодом на гидродинамической опоре и может быть использовано для рентгеновских аппаратов широкого профиля с излучением большой мощности. Технический результат - повышение времени непрерывной работы и мощности источника рентгеновского излучения, увеличение рабочего ресурса и стабильности работы, защиты внутренних поверхностей источника рентгеновского излучения от химического взаимодействия с активными жидкими металлами, повышение надежности и упрощение конструкции.
Изобретение относится к области образования заряженных частиц при атмосферном давлении и может быть использовано в научной деятельности, в медицине, в технологических процессах, во вторичной ионной масс-спектрометрии при атмосферном давлении, в которых возможно использование протонных пучков, содержащих до 1012 протонов в секунду.
Источник импульсного электронного пучка относится к разрядным устройствам и может быть использован для модификации поверхностных свойств материалов. Технический результат - повышение однородности электронного пучка на поверхности мишени.