Антимиграционное устройство диффузионного вакуумного насоса

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК 511 4 F 04 F 9/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Фиг.1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3842049/25-06 (22) 11.01.85 (46) 15.07.86. Бюл. № 26 (72) А. В. Багрянцев, Б. А. Гневковский, Б. В. Иванов, В. Ю. Миронов и В. В. Ухаботин (53) 621.527 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 985464, кл. F 04 F 9/06, 1983. (54) (57) АНТИМИГРАЦИОННОЕ УСТPOACTBO ДИФФУЗИОННОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА, содержащее соосно установленные в корпусе с возможностью про„„Я0„„1244398 А1 тивоположного вращения диски, имеющие радиальные наклонные прорези и снабженные приводными лопатками, отличающееся тем, что, с целью повышения предельного вакуума насоса путем снижения обратного потока паров рабочей жидкости, лопатки дисков выполнены в виде пластин из низкотеплопроводного материала, расположенных группами на противоположных поверхностях дисков, причем пластины в каждой группе размещены относительно друг друга с зазорами, и одна крайняя пластина с наружной стороны отполирована, а другая — зачернена.

1244398

Фиг.2

Составитель Э. Могильницкая

Заказ 3797/38

Редактор Е. Конча Техред И. Be ec р Корректор А. Зимокосов

Тираж 586 Подписное

ВНИИ ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к защитным устройствам диффузионных вакуумных насосов.

Цель изобретения — повышение предельного вакуума насоса путем снижения обратного потока паров рабочей жидкости.

На фиг. 1 схематично изображено антимиграционное устройство и его установка в диффузионном насосе; на фиг. 2 — приводные лопатки с фрагментом диска.

Антимиграционное устройство диффузионного..вакуумного насоса содержит соосно установленные в корпусе 1 с возможностью противоположного вращений диски 2 и 3, имеющие радиальные "наклонные прорези 4 и снабженные приводными лопатками. Лопатки дисков выполнены в виде пластин 5 из низкотеплопроводного материала, расположенных группами на противоположных сторонах дисков 2 и 3, причем пластины в каждой группе размещены относительно друг друга с зазором, и одна крайняя пластина с наружной стороны отполирована, а другая пластина зачернена.

Кроме того, устройство снабжено ловушкой 6 и размещено над паропроводом 7.

Антимиграционное устройство диффузионного вакуумного насоса работает следующим образом.

После вакуумирования корпуса 1 насоса, формирования струй паров рабочей жидкости и захолаживания жидким азотом заливной ловушки 6 диски 2 и 3 начинают вращаться в разные стороны под действием радиометрического эффекта. Различие в на5 правлении вращения обусловлено тем что

\ пластины 5 дисков 2 и 3 зачернены и полированы одинаково, однако зачерненные wracтины 5 диска 2, обращенные к ловушке 6, из-за большей излучательной способности охлаждаются интенсивней, чем полированные пластины. У пластин 5 диска 3, обращенных в сторону нагретого паропровода 7, зачерненные пластины за счет большей поглощательной способности нагреваются интенсивней, чем полированные пластины.

Благодаря описанному эффекту молеку15 лы остаточного газа сообщают дискам движущие импульсы в сторону более нагретых пластин 5: для диска 2 — в сторону полированных пластин, а для диска 3 — в сторону зачерненных пластин.

При вращении дисков 2 и 3 создается

20 дополнительная ступень откачки, аналогичная ступени турбомолекулярного насоса, препятствующая проникновению паров рабочей жидкости в откачиваемый объем.

Предлагаемое антимиграционное устройство позволяет, не нарушая структуры рабочей струи, обеспечить надежную защиту откачиваемого объема от паров рабочей жидкости, тем самым повысить предельный вакуум.