Электрическая ловушка
Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить защитные свойства ловушки. Магнитная система выполнена в виде заключенного в охлаждаемый кожух 5 пакета магнитов 6, установленного с возможностью перемещения вдоль корпуса 1, и немагнитных проставок 7. Кожух 5 расположен снаружи корпуса, выполненного из геттерного материала. Магниты 6 7 5 намагничены радиально и размещены с чередованием полюсов. Анод 4 для увеличения площади сорбции выполнен в виде перфорированного или гофрированного цилиндра. Магниты 6 создают замкнутое неоднородное магнитное поле, в котором электроны соверщают сложные движения, участвуя в многократных ионизирующих столкновениях с молекулами паров рабочей жидкости (РЖ). При этом над поверхностью корпуса возникает зона тлеющего разряда, где происходит наиболее интенсивная ионизация и полимеризация паров РЖ. Положительные ионы бамбардируют корпус в зоне эрозии, выбивая из нее частицы геттерного материала, при распылении которого на аноде непрерывно образуется свежая активная пленка, поглощающая продукты полимеризации паров РЖ и активных газов. 1 ил. € / СЛ оо ю о от оо оо
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
„„SU„„1320533 А 1 (51)4 F04 F9 06
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3932604/25-06 (22) 19.07.85 (46) 30.06.87. Бюл. № 24 (72) Ш. А. Ахманов, М. Ш. Галимарданов, P. Г. Зайнутдинов, P. P. Зиганшин и В. В. Леонов (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1008511, кл. F 04 F 9/06, 1982. (54) ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ЛОВУШКА (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить защитные свойства ловушки. Магнитная система выполнена.в виде заключенного в охлаждаемый кожух 5 пакета магнитов 6, установленного с возможностью перемещения вдоль корпуса 1, и немагнитных проставок 7. Кожух 5 расположен снаружи корпуса, выполненного из геттерного материала. Магниты 6 намагничены радиально и размещены с чередованием полюсов. Анод 4 для увеличения площади сорбции выполнен в виде перфорированного или гофрированного цилиндра.
Магниты 6 создают замкнутое неоднородное магнитное поле, в котором электроны совершают сложные движения, участвуя в многократных ионизирующих столкновениях с молекулами паров рабочей жидкости (РЖ) .
При этом над поверхностью корпуса возникает зона тлеющего разряда, где происходит наиболее интенсивная ионизация и полимеризация паров РЖ. Положительные ионы бамбардируют корпус в зоне эрозии, выбивая из нее частицы геттерного материала, при распылении которого на аноде непрерывно образуется свежая активная пленка, поглощающая продукты полимеризации паров РЖ и активных газов. 1 ил.
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, ."3 ц
1320533
Составитель T. Довгели
Редактор Н. Горват Техред И. Верес Корректор А. Зимокосов
3а каз 2639/38 Тираж 574 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий ! 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к электрическим ловушкам вакуумных насосов.
Целью изобретения является повышение защитных свойств ловушки.
На чертеже схематически изображена ловушка.
Электрическая ловушка содержит служащий катодом корпус 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3, анод 4 и магнитную систему, выполненную в виде заключенного в охлаждаемый кожух 5 пакета магнитов и немагнитных проставок 7. Кожух 5 расположен снаружи корпуса 1, магниты 6 намагничены радиально и размещены с чередованием полюсов, корпус 1 выполнен из геттерного материала, анод 4 — в виде перфорированного или гофрированного цилиндра, а пакет установлен с возможностью перемещения вдоль корпуса.
После предварительной откачки ловушки в охлаждаемый кожух 5 заливается жидкий азот. При подаче постоянного напряжения между корпусом 1 и анодом 4 возникает неоднородное электрическое поле. Кольцевые магниты 6 создают замкнутое неоднородное магнитное поле, в котором электроны совершают сложные движения, участвуя в многократных ионизирующих столкновениях с молекулами паров рабочей жидкости.
В результате над поверхностью корпуса возникает кольцеобразная зона тлеющего разряда, где происходит наиболее интенсивная ионизация и полимеризация паров рабочей жидкости.
Положительные ионы, образующиеся в разряде, ускоряются в направлении корпуса, бамбардируют его в зоне эрозии, выбивая из нее частицы геттерного материала. При
5 распылении геттерного материала на аноде 4 непрерывно образуется свежая активная пленка, на поверхности которой происходит поглощение продуктов полимеризации паров рабочей жидкости и активных газов.
Распыленный с корпуса 1 геттерный материал осаждается главным образом на аноде 4, который для увеличения площади сорбции выполнен в виде перфорированного или гофрированного цилиндра.
Учитывая, что наибольшая эрозия корпу15 са 1 ловушки происходит между полюсами магнитов 6, пакет установлен с возможностью перемещения вдоль корпуса 1, что позволяет увеличить ресурс работы ловушки.
Формула изобретения
Электрическая ловушка, содержащая служащий катодом корпус с входным и выходным патрубками, анод и магнитную систему, выполненную в виде заключенного в охлаждаемый кожух пакета и немагнитных проставок, отличающаяся тем, что, с целью повышения защитных свойств, кожух расположен снаружи корпуса, магниты намагничены радиально и размещены с чередованием полюсов, корпус выполнен из геттерного материала, анод — в виде перфорированного или гофрированного цилиндра, а пакет установлен с возможностью перемещения вдоль корпуса.
