Вакуумная ловушка

 

Изобретение относится к вакуумной технике - вакуумным насосам с термоэлектрическим охлаждением. Цель изобретения - повышение экономичности работы и облегчение обслуживания путем уменьшения теплопередачи излучением от экранов и теплопроводностью по антимпгратору. Охлаждаемые элементы (ОЭ) 2 и подключенньш к ним ис

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

; 1 4 Г 04 Г 9/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н A ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (2E) 38424 15/25 — 06 (22) 14.01.85 (46) 15.10.86. Бюл. - 38 (71) Специальное конструкторское бюро ордена Ленина физико-технического института им. А.Ф.Иоффе (72) И.В.Зорин (53) 621.527 1{088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 120774, кл. Г 04 F 9/02, 1959.

„„SU„„1263917 А1 (54) ВАКУУМНАЯ ЛОВУШКА (57) Изобретение относится к вакуумной технике — вакуумным насосам с термоэлектрическим охлаждением. Цель изобретения — повышение экономичности работы и облегчение обслуживания путем уменьшения теплопередачи излучением от экранов и теплопроводностью по антимпгратору. Охлаждаемые элементы (03) 2 и подключенньп к ним ис1263917 точник холода установлены в корпусе 1. Источник холода выполнен в виде многокаскадной термоэлектрической батареи 3. Экраны 4 соединены с ОЭ 2 и при помощи теплопроводов 5 — с теплым каскадом 6 батареи 3. Батарея

3 размещена в гофрированном сильфоне 8, сообщенном с атмосферой, а теплопроводы выполнены в виде пластин, установленных в гофрах 9 сильфона 8. Сильфонный антимигратор 7 подсоединен средней частью к теплому каскаду 6 батареи 3. Пары масел или других примесей идут со стороны вакуумного насоса навстречу потоку откачиваемого газа. Дойдя до ловушки, Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к вакуумным ловушкам с термоэлектрическим охлаждением.

Цель изобретения — повышение экономичности работы и облегчение обS слуяива ния .

На чертеже изображена вакуумная ловушка.

Вакуумная ловушка содержит корпус

1, расположенные в нем охлаждаемые 1о элементы 2 и подключенный к последним источник холода, выполненный в виде многокаскадной термоэлектрической батареи 3. Ловушка дополнительно содержит экраны 4, соединенные с охлаждаемыми элементами 2, и при помощи теплопроводов 5 — с теплым каскадом 6 термоэлектрической батареи 3.

Ловушка снабжена сильфонным антимигратором 7, подсоединенным средней частью к теплому каскаду 6 термоэлектрической батареи 3.

Кроме того, ловушка снабжена сообщенным с атмосферой гофрированным 2S сильфоном 8, термоэлектрическая батарея 3 размещена в последнем, а теплопроводы выполнены в виде пластин, установленных в гофрах 9 сильфона 8.

ЗО

Вакуумная ловушка работает следующим образом.

Парь| масел или других примесей идут со стороны вакуумного насоса они огибают экраны 4 и проходят к

ОЭ 2, где задерживаются, переходя в твердую фазу. Жидкая фаза примесей движется вдоль антимигратора 7 до зон с температурой ниже температуры затвердевания, где намораживается и задерживается . Температура экранов 4 активно понижается путем охлаждения более теплым источником 6 через прижатые друг к другу теплопроводы 5 и гофры 9. Активное охлаждение экранов более теплыми каскадами батареи приводит к понижению теплопередачи излучением от экранов и передачи тепла теплопроводностью по антимигратору.

2 з.п. ф-лы. 1 ил. навстречу потоку откачйваемого газа из вакуумируемого объема.

Дойдя до ловушки, они огибают экран 4 и проходят к охлаждаемым элементам 2, где задерживаются, переходя в твердую фазу, исключающую их миграцию по поверхности. Жидкая фаза примесей, осевшая на стенках корпуса 1 и экранов 4, движется вдоль сильфонного антимигратора 7, пока не доходит до зон с температурой ниже температуры затвердевания, где намораживается и задерживается.

Для уменьшения теплопритока излучением от экранов 4 их температура активно понижается путем охлаждения более теплым источником холода через прижатые друг к другу теплопроводы

5 и гофры 9 сильфона 8.

Активное охлаждение экранов более теплыми каскадами термоэлектрической батареи приводит к значительному понижению геплопередачи излучением от экранов и передачи тепла теплопроводностью но антимигратору.

Это позволяет значительно сократить мощность, потребляемую термоэлектрической батареей.

Формула и з о б р е т е и и я

1. Вакуумная ловушка, содержащая корпус, расположенные в нем охлаждаемые элементы и подключенный к пос1263917

Составитель Э.Могильницкая

Редактор Н.Слободяник Техред И.Попович Корректор В.Синицкая

Заказ 5542/36 Тираж 586 Подпис ное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4 ледним источник холода, выполненный в виде многокаскадной термоэлектрической батареи, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью повышения экономичности работы, ловушка дополнительно содержит экраны, соединенные с охлаждаемыми элементами, и при помощи теплопроводов — с теплым каскадом термоэлектрической батареи.

2. Ловушка по п. 1, о т л и ч а ю-10 щ а я с я тем, что она снабжена

4 сильфонным антимигратором, подсоединенным средней частью к теплому каскаду термоэлектрической батареи.

3. Ловушка по и. 1, о т л и ч а— ю щ а я с я тем, что, с целью облег-. чения обслуживания, она снабжена сообщенным с атмосферой гофрированным сильфоном, и термоэлектрическая батарея размещена в последнем, а теплопроводы выполнены в виде пластин, установленных в гофрах сильфона.