Калориметрический способ измерения толщины пластин

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении толщин движущихся пластин. Целью изобретения является расширение области применения путем обеспечения возможности иэмерения толщин движущихся пластин. Указанная цель достигается тем, что. поверхность движущейся пластины нагревают коллимированным лазерным лучом, а измерение температуры ведут двумя датчиками, расстояние между которыми р.авно расстоянию между тепловым лучом и ближайшим к нему датчиком. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„„41191 (50 4 G 01 В 11/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (2I) 4057977/25-28 (22) 13.03.86 (46) 30.11.88. Бюл. У 44 (71) Московский геологоразведочный институт им. Серго Орджоникидзе (72) А.И. Ивашура, В.М. Коростелев, I0.À. Попов и Л.А. Пучинин (53) 531.717.1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 316928, кл. G 01 В 15/02, 1971. (54) КАЛОРИМЕТРИЧЕСКИЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛАСТИН (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении толщин движущихся пластин. Целью изобретения является расширение области применения .путем обеспечения возможности измерения толщин движущихся пластин. Указанная цель достигается тем, что поверхность движущейся пластины нагревают коллимированным лазерным лучом, а измерение температуры ведут двумя датчиками, расстояние между которыми .равно расстоянию между тепловым лучом и ближайшим к нему датчиком. 1

144! 191

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано.при измерении толщин движущихся пластин.

Целью изобретения является расширение области применения путем обеспечения воэможности измерения толщин движущихся пластин.

На чертеже приведена схема спосо- 10 ба измерения толщины пластин, На схеме показано расположение теплового луча 1 и датчиков 2, 3 относительно движущейся пластины 4.

На чертеже также показаны ось Е, направление Х движения пластины 4, расстояние х между датчиками 2,3 расстояниях между датчиком 2 и тепловым лучом 1 и толщина d пластины 4.

Способ осуществляется следующим 20 образом.

Осуществляют нагрев поверхности пластины 4 коллимированным тепловым лучом 1 постоянной мощности, измеряют температуру с помощью двух датчиков 25

2,3, которые располагают в одной плоскости с тепловым лучом 1, так, чтобы расстояние между ними равнялось расстоянию от теплового луча до ближайшего к нему датчика 2, плас-30 тину 4 перемещают с постоянной скоростью в направлении от датчиков

2,3 к лучу 1.

В качестве коллимированного луча 1 используют лазерный луч. В качестве датчиков 2,3 используются бесконтактные датчики температуры, например ра диометры с рабочим диапазоном Я 220 мкм. Толщину d пластины определяют, иэ выражения 40

1 где Ч - .скорость перемещения пластины 4;

x — Расстояние между датчиками 45

2,3, равное расстоянию между проекцией теплового луча 1 и ближайшим к нему датчиком 2; а — температуропроводность материала пластины 4;

Т1 и

T — температуры, регистрируемые соответственно ближайшим к тепловому лучу датчиком и более удаленным.

Формула и э о б р е т е н и я

Калориметрический способ измерения толщины пластин, заключающийся в том, что нагревают поверхность пластины и измеряют температуру на поверхности, противоположной нагреваемой, отличающийся тем, что, с целью расширения области применения путем обеспечения возможности измерения толщин движущихся пластин, нагрев поверхности осуществляют коллимированным тепловым лучом по1 стоянкой мощности, температуру измеряют с помощью двух датчиков, которые располагают в одной плоскости с тепловым лучом так, чтобы расстояние между ними равнялось расстоянию от теплового луча до ближайшего к нему датчика, пластину перемещают с постоянной скоростью в направлении от датчиков к лучу, а толщину d пластины определяют из выражения где Ч скорость перемещения пластины! расстояние между датчиками, равное расстоянию между тепловым лучом и ближайшим к нему датчиком; температуропроводность материала пластины;

Т< и

T — температуры, регистрируемые соответственно ближайшим к тепловому лучу датчиком и более удаленным, 144 1 19 1

Составитель В. Костюченко

Редактор М. Келемеш Техред М.Ходанич

Корректор М. Васильева

Заказ 6275/42 Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Калориметрический способ измерения толщины пластин Калориметрический способ измерения толщины пластин Калориметрический способ измерения толщины пластин 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения толщин пленок

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контрол я однородности толщины диэлектрических пленок в процессе их нанесения на прозрачные подложки

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщин пленок, наносимых в процессе напыления через сетки

Изобретение относится к измерите.чьной технике и предназначено для контроля толщин интерференционно-ноляризаиионных фильтров

Изобретение относится к измерительной технике и 1иожет быть использовано для определения разнотолщинности фоторезистивных пленок, нанесенных на отражающие полупроводниковые подложки

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля толщин оптических покрытий

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в системах контроля качества покрытий

Изобретение относится к технологии нанесения и контроля оптических покрытий на детали

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения толщин эпоксидных покрытий

Изобретение относится к измерительной технике, к техническим средствам экспресс-контроля количества пролитой нефти, используемым с борта судна, на буйках и с эстакады, и является усовершенствованием известного устройства по авторскому свидетельству № 1010523

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости
Наверх