Патент ссср 160337

Авторы патента:

G01B11/06 - для измерения толщины

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУЬлИК

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

K ASTOPCKOMV СВИ,АЕТЕЛЬСТВУ

Хо 160331

Класс

42h, 35„

МПК

G 02cj;

Заявлено 08.V1.1962 (№ 781880/26-10) ГОСУДАРСТВЕННЫИ

К0МНТЕТ fl0 ДЕЛАМ

ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

СССР

Опубликовано 16.1.1964. Бюллетень № 3

УДК

1S"

t - -

Г. T. Пономаренко

5""; "И0 t;- g

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ ТОЛЩИН СД44 3

ВЕЩЕСТВ

Подписная группа № 1бЗ

Предмет изобретения

Известные способы контроля оптических толщин слоев веществ в процессе вакуумного осаждения не позволяют производить непрерывньш контроль спектральной характеристики осахкдаемых слоев B процессе их нанесения и требуют для своего осуществления серии эталонных фильтров.

В предлагаемом способе в отличие от известных модулированньш световой пучок направляют через испытуемый образец в монохроматор, а из него вЂ” на регистрирующий прибор, используя огибающую электрических импульсов на регистрирующем приборе. Огибающая в этом случае представляет спектральную характеристику пропускания слоя в области некоторой длины волны, для которой требуе1ся получить максимум пропускания многослойной системы.

Наблюдения нзменешш энергетического баланса светового пучка н его спектра ведут непосредственно в процессе вакуумного осаждения оптических слоев веществ.

Способ контроля оптических толщнн слоев веществ в процессе вакуумного осаждения, осуществляемого с помощью модулированного светового пучка, проходящего через образец, отличающийся тем, что, с целью непрерывного наблюдения спектральной харак теристики слоев в процессе их нанесения, в качестве характеристики оптического слоя используют огибающую электрических импульсов.

Похожие патенты:

Патент 159176 // 159176

Машина для автоматического измерения средней толщины, например, жестких кож // 152065

Устройство для контроля толщины прозрачной лаковой пленки // 151036

Способ измерения толщины стенок стеклоизделий // 147327

Интерференционный способ измерения толщины тонких прозрачных пленок // 145756

Малоинерционный прибор для бесконтактного измерения величины петли металла непрерывного сортового стана // 141326

Прибор для непрерывного контроля поперечных размеров пряжи, нитей и т.п. // 134431

Способ контроля кристаллических пластин интерференционно- поляризационных фильтров в процессе их доводки // 121240

Фотоэлектрическое устройство для определения толщины листового материала // 113949

Способ контроля толщины слоя краски на оттисках при печати и устройство для осуществления этого способа // 113366

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости