Способ нанесения тонких пленок

Авторы патента:

C23C14/26 - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

188256

ОПИСАН И Е

ИЗОЬГЕт ЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ooes Соввтскив

Социвлиотичвскнл

Рвслублик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 06. т/.1964 (№ 898764/22-2) с присоединением заявки №

Приоритет

Or.: бликовано 20.Х.1966. Бюллетень № 21

Кл. 48Ь, 13/02

48b, 13/04

МПК С 23с

С 23с

УДК 621.793.14(088.8) Ксмитвт со лвлавв изобрвтвний и открытий ври Соввтв Министров

СССР

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК

Известны различные способы нанесения тонких гленок путем испарения в вакууме и термического отражения молекулярного пучка испаряемого вещества.

Предлагаемый способ позволяет получать покрытие с заданным распределением толщины на поверхности любой формы и заключается в том, что отражение и деформацию молекулярного пучка производят при помощи вогнутого отражателя, определенной формы, который отделен от испарителя.

Геометрию отражателя можно получить на основе математического расчета для каждого отдельного случая.

Предмет изобретения

5 Способ нанесения тонких пленок путем испарения в вакууме и термического отражения молекулярного пучка испаряемого вещества, отличающийся тем, что, с целью получения слоя с заданным распределением тол10 щины на поверхности любой формы и экономии испаряемого вещества, отражение и деформацию молекулярного пучка производят при помощи вогнутого отражателя.

Похожие патенты:

Патент 187855 // 187855

Устройство для изготовления тонкопленочных // 187854

Устройство для металлизации в вакууме // 178635

Патент 172169 // 172169

Патент 161606 // 161606

Патент 154996 // 154996

Плавящий элемент для испарения металла в вакууме // 65570

Патент 58290 // 58290

Способ формирования защитных покрытий графитовых подложкодержателей и устройство для его осуществления // 2165999

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Испаритель для металлов и сплавов // 2219283

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Испаритель для металлов и сплавов // 2254963

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Испаритель для металлов // 2347849

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Испаритель для металлов и сплавов // 2382117

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме // 2051200

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Испаритель // 2058424

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме