Способ нанесения слоя полимера на подложку
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскит
Социалистические
Республик
Зависимое от авт. свидетельствa ¹
Заявлено 09Х!! I.1967 (№ 1178250(26-9) Кл. 48d 7 00 с присоединснием з,ÿttêè №
Приоритет
Опубликовано 24.Х!1.1968. Бюллете11ь ¹ 3
МПК С 231
УДК 667.64(088.8) Комитет по делам ивобретений к открытий при Совете Министров
СССР
Дата опубликования описания 8.11 .1969
Ав ropы изобретения
С. М, Репинский, Л. А. Житкова и 3. Л. Пальцева
Заявитель
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ СЛОЯ ПОЛИМЕРА НА ПОДЛОЖКУ
Предмет изо(>ретен и я
Известны способы нанесения слоя полимера на подложку, основанные на покрытии подложки мономером с последующей его полимеризацией.
Цель изобретения — получение пленок с 5 кристаллической структурой, обладающих высокой адгезией к материалу подложки, Достигается это тем, что в предложенном .пособе покрытие подложки производят в вакууме конденсацией паров мономера на поверя-:ости 1р подложки, охлажденной до минус 100 — минус 190 С, полимеризацию проводят в твердой фазе, облучая слой мономера потоком медленных электронов.
Подложку из металла или полупрово1ника охлахкдают lo температуры минус 100 — минус 190 С. Мономер, конденсируясь из газовой фазы на поверхности подложки, затвердевает.
Поток медленных электронов формируют при помощи электронного прожектора. Скорость конденсации МОнОмера не должна превышать скорости превращения его в полимер, так как при толстых пленках порядка 100А, когда глубина проникновения электронов меньше толцины слоя мономера, уменьшается эффективность действия электронов, являющихся инициаторами процесса TB(ð,1(i(jtëçíîé полимеризации.
Способ нанесения слоя полимера на подложку, 0cíÎÂанный на поl(рытпи подлож1:.и мономером с последующей его полимеризапией, от.1ичаю1иийсч тем, что, с целью получения пленок с кристаллической структурой, обладающих высокой адгезией и материалу подложки, покрытие подложки производят в вакууме конденсацией паров мономера на поверхности подложки, охлажденной до температуры минус 100 С минус 190 С, а полимеризацию про. водят в твердой фазе, облучая слой мономера потоком медленных эл ктронов.
