Шлюзовое устройство для ввода в вакуумную камеру и вывода из нее плоских изделий
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
297706
Сома Советский
Социалистических
Республик
Зависимое от авт, свидетельства №
Заявлено 25.111.1969 (№ 1320350/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано .11. I II.1971. Бюллетень № 10
Дата опубликования описания 19Х.1971
МПК С 23с 13/08
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.793.14.002.51 (088.8) Авторы изобретения
Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий при Госплане Латвийской ССР
Заявитель
ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВОДА В ВАКУУМНУЮ
КАМЕРУ И ВЫВОДА ИЗ НЕЕ ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ
Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.
Известно шлюзовое устройство для ввода в вакуумную камеру и вывода из нее плоских изделий, содержащее ряд камер со ступенчатым понижением давления и приводные роликовые шлюзы, С целью обеспечения минимального натекания газа и центрирования дискретно поступающих изделий разных размеров, в предложенном устройстве роликовые шлюзы смонтированы в пазах корпусных пластин, причем один из роликов состоит из набора тел вращения, а другой ролик, установленный в подшипниках, снабжен вакуумплотным выводом, связанным с приводом.
На фиг. 1 представлено устройство, общий вид; на фиг. 2 — разрез по А — А на фиг. 1; на фиг. 3 — разрез по Б — Б на фиг. 2.
Устройство состоит из ряда камер 1 со ступенчатым понижением давления и приводных роликовых шлюзов, смонтированных в пазах 2 корпусных пластин 8, 4 камер, причем один из роликов 5 состоит из набора тел вращения, например цилиндров, а другой ролик б, установленный в подшипниках, снабжен вакуумплотным выводом, связанным с приводом 7.
Тела вращения ролика 5 имеют возможность радиального перемещения в пазу 2 корпусной пластины на максимальную толщину пропускаемого изделия. Пазы вакуумплотно закрыты крышками, необходимыми для сборки или разборки устройства, Корпусные пластины снабжены патрубками для присоединения вакуумных насосов, соединяющих перепад давления на ступенях шлюзового устройства.
10 Изделие 8, подлежащее подаче в вакуумную камеру или следующее из вакуумно; к»меры, попадает своим передним концом между роликами. Во время прохождения изделия через роликовый шлюз приподняты только те
15 части ролика 5, которые непосредственно находятся в соприкосновении с изделием, остальные же закрывают оставшуюся ширину шлюзового устройства. Благодаря наличию привода изделие перемещается посред20 ством ролика б и следует от одной пары ролика к другой по камере. После прохождения очередного изделия через пару роликов все . асти ролика 5 возвраща|отся в исходное IIoложение и суммарной образующей по всей
25 длине прилегают к ролику б, шлюз закрывается и натекание газа через него происходит только через зазоры, связанные с технологическими возможностями изготовления шлюзового устройства.
297706
Предмет изобретения
Фиг.3
Составитель И. Резник
Рсдакгор Г. Г. Бялобжеская Техред 3. H. Тараненко Корректор Г. С. Мухина
Заказ 1302/11 Изд. № 571 Тираж 473 Подписное
БНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Шлюзовое устройство для ввода в вакуумную камеру и вывода из нее плоских изделий, содержащее ряд камер со ступенчатым понижением давления и приводные роликовые шлюзы, отличающееся тем, что, с целью обеспечения минимального натекания газа и центрирования дискретно поступающих изделий разных размеров, роликовые шлюзы смонтированы в пазах корпусных пластин камер, причем, один из роликов состоит из набора тел вращения, а другой ролик, установленный в подшипниках, снабжен вакуумплотным выводом, связанным с приводом,
