Испаритель для нанесения покрытий в вакууме

Авторы патента:

C23C14/24 - вакуумное испарение

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое or авт. свидетельства ¹

МПК С 23с 13!12

Заявлено 02,VI.1969 (№ 1337438, 22-1) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621. 93.14.002л1 (088 8) Опубликовано 08.Х11.1970. Бюллетень № 1 за 1971

Дата опубликования описания 4.I I.1971

Авторы изобретения

Ю. К. Вищакас, В. И. Гайдялис, Э. A. Монтримас и

Вильнюсский государственный университет имени В.

Заявитель

ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИИ

В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известен испаритель для нанесения покрытий в вакууме, содержащий резервуар для испаряемого вещества, в нижней части корпуса которого вмонтированы электронагреватели и дозатор.

Предложенный испаритель для нанесения покрытий в вакууме отличается от известного тем, что резервуар снабжен крышкой с каналами, выполненной в виде поплавка с вмонтированными внутри нее электронагревателями и змеевиковым холодильником, установленным в нижней части резервуара. Кроме того, внутренняя поверхность крышки снабжена выступами, окружающими ее каналы.

Предложенный испаритель улучшает качество покрытий и повышает производительность труда.

На чертеже изображено устройство, общий вид.

Испаритель включает резервуар 1, в нижней части которого вмонтированы электронагреватели 2 и дозатор 8. Резервуар 1 снабжен крышкой 4 с каналами 5, выполненной в виде поплавка с вмонтированными внутри нее электронагревателями б и змеевиковым холодильником 7, установленным в нижней части резервуара. Внутренняя поверхность крышки

4 снабжена выступами 8, окружающими каналы крышки.

С включением электронагревателей 2, б, 9 резервуар заполняют нспарясмой жидкостью и поддерживают необходимый уровень посредством дозатора 8, который управляется

5 сигналом, поступающим от контакта 10 крышки 4. Когда количество испаряемой жидкости в резервуаре уменьшается, крышка 4 опускается, соединяет контакт 10 и дает сигнал дозатору 8, который пополняет резервуар испа10 ряемой жидкостью. Испарение происходит только с QTKpblThlx поверхностей через каналы 5. Выступы 8, окружающие каналы 5, создают определенную скорость испарения при строго определенной температуре.

Предмет изобретения

1. Испаритель для нанесения покрытий в вакууме, содержащий резервуар для испаряемого вещества, в нижней части корпуса ко20 торого вмонтированы электронагреватели и дозатор, отличаюнншся тем, что, с целью улучшения качества покрытий и увеличения производительности, резервуар снаожсн крышкой с каналами, выполненной в виде поплав25 ка с вмонтированными внутри нее электронагревателями и змеевиковым холодильником. установленным в нижней части резервуара.

2. Испарнтель по п. 1. отлпчпю ципся тем, что внутренняя поверхность кр:;инки снабже30 па выступами, окружающими каналы крыщ1(H.

289148

С оста витель М. Тарасевич

Редактор Квачадзе Техред Т. П. !(урилко Корректор О. С. Зайцева

Изд. № 4l Заказ 64jl Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ 1(омитета по делам изобретспиi и открыл:ш прп Совете Министров CCCP

Москва, 3(-35, Раушская наб., д. 4!5

Типография, пр. Сапунова, 2

Испаритель для нанесения покрытий в вакууме

Устройство для нанесения покрытий в вакуум^ ьиблиотека // 268121

Вакуумная установка // 235902

Способ нанесения слоя полимера на подложку // 234093

Устройство для напыления л1икросхем // 218262

Способ нанесения покрытий на алмазные порошки // 212702

Установка для нанесения термодиффузионных покрытий на изделия // 202684

Устройство для металлизации в вакууме // 191988

Автоматическое устройство для напыления пленок на диэлектрические подложки // 191661

Вакуумная камера для металлизации пластин // 106689

Способ плазменно-дугового нанесения покрытий в вакууме // 2109083

Изобретение относится к нанесению тонкопленочных покрытий в вакууме, в частности защитных, износостойких и декоративных покрытий на изделия из различных материалов

Способ нанесения антикоррозионных покрытий // 2109841

Способ нанесения покрытий в вакууме // 2114209

Изобретение относится к машиностроению, в частности к нанесению покрытий в вакууме, и может быть использовано при нанесении покрытий на режущий инструмент, изготовленный из сталей, твердых сплавов и керамических материалов

Устройство нанесения тонких пленок // 2114931

Изобретение относится к микроэлектронике и направлено на обеспечение минимальной неравномерности покрытия подложки тонкой пленкой распыляемого материала

Испаритель для металлов и сплавов // 2118398

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом ультрадисперсных порошков и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия

Способ получения на подложке защитных покрытий с градиентом химического состава и структуры по толщине с внешним керамическим слоем, его вариант // 2120494

Изобретение относится к области получения высокотемпературных материалов, используемых для защиты от окисления и газовой коррозии и в качестве защитных покрытий термонагруженных деталей газовых турбин и двигателей внутреннего сгорания

Испаритель // 2121522

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для получения толстых пленок металлов при изготовлении, например, разводки коммутационных плат

Способ изготовления изделий из износостойких, прочных и жаропрочных материалов // 2122601

Изобретение относится к материаловедению, а именно к способам изготовления преимущественно износостойких, прочных и жаропрочных материалов на металлической, металлокерамической или полимерной основе, а также изделий из этих материалов

Испарительный тигель // 2133308

Изобретение относится к полупроводниковой области техники и может быть использовано в молекулярно-лучевой эпитаксии для снижения плотности дефектов в эпитаксиальных структурах

Устройство для проведения взрывного испарения // 2136778

Изобретение относится к устройствам взрывного испарения с резистивным нагревом для испарения металлов