Устройство для катодного распыления

 

% L """"" Са-в

t ;;- - l(ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ СТВУ

Союз Советских

Социалистических

Ресоуолик

Зависимое от авт. свидетельства ¹вЂ”

Л!. Кл. С 23с 15, 00

Заявлено 29.1Ч.1971 (¹ 1650489 22-1) с присоединением заявки №вЂ”

Комитет по делам изобретвиий и открытий при Совете 1т1икистров

СССР

Приоритет—

Опубликовано 23.Ч.1973. Бюллетень № 23

Дата опубликования описания 14 VIII.!973

УДК 621.793.12 (088.8) Авторы изобретения

К. A. Рамазанов, А. Г. Кавказский, В. А. Гендин, В. В. Воронцова и В. H. Доброхотов

Ордена Ленина красногорский механический завод

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для получения тонкопленочных микростру кту р.

Известно устройство для катодного распы- 5 ления, содержащее вакуумную камеру, внутри которой укреплены подложкодержатель, катоды-:мишени и стойки для катодов, систему вводов и высоковольтный источник.!

О

Однако в известном устройстве катодымишени укреплены неподвижно в горизонтальной плоскости, что не позволяет получать равномерные покрытия на длинномерных подложках. 15

Цель изобретения — повышение равно»ерности покрытий.

Зто достигается тем, что каждый катод закреплен на кронштейне подвижно установленном на стойке, снабженной осью, на которой одним концом шарнирно закреплена штанга, другой конец которой шарнирно связан с системой вводов.

На чертеже представлена конструкция предлагаемого устройства. 25

Устройство состоит из вакуумной камеры (HB чертеже не показано), внутри которой укреплены подлоотокодержатель 1, катоды-мишени 2, 8, стойки 4, 5 для катодов, системы вводов б, 7, высоковольтного источника 8.

Каждый катод 2, 8 закреплен на кронштейне

9, подвижно установленном на стойке 4, снабженной осью 10, на которой одним концом шарнирно закреплена штанга 11, другой онец которой шарнирно связан с системой вводов б. Устройство снабжено корпусом 12, жестко закрепленным на верхнем конце стойки

5, шарнирным механизмом 13, вращающимся роликом 14. Шарнирный механизм 18 расположен под углом к горизонтальной и вертикальной плоскостям, т. е. его оси .крепления расположены не на одной прямой, а одна пз них смещена относителы о другой в горизонтальной плоскости на заданное расстояние.

На механизме 18 "àêðåïëåíà штанга 11 под углом а, которая свободным концом упирается в основание катода 2 и при своем движении его поднимает или опускает. Для уменьшения трения и обеспечения движения на свободном конце штанги 11 закреплен на осп ролик 14, имеющий наружную поверхность, закругленную по радиусу. Роли к свободно вращается на своей ocII и своим наружным диаметром постоянно находится в соприкосновении с нерабочей поверхностью основания катода 2. Вращение ролика происходит от соприкосновения с основанием катода 2. Стойки 4, 5 расположены на одной прямой, но смещены одна относительно другой от центра плиты 15 на величину l, чтобы катоды при

382772

15

Составитель Л. Анисимова

Редактор Л. Лаврова

Техред Т. Курилко

Корректор С. Сатагулова

15 о

Тип. Харьк. пред. «Патент»

If Jo÷àppäí0è подъеме илн онусканиии fip зядсВяли др1 г др1 га.

Устрой "тво работает следующим образо. .

Напыляехгая подложка 16 креинпгся l a держателе 1, в центре которого выполнено посада шое место для подложки, наггболыиего

ipазмера илн псрех0дных оправ с нoд Iожкой меиьшего размера.

1(атоды 2, 8 в вакуумной камере понимаются и опускаются Вокруг оси 10 при помощи корпуса 12 и шарнирного механ, змя И с подвижно 3 BI(pcllленной ILIT3III off 11, l также системы вводов 6, 7, служащих 1ля передачи вращения. Процесс подъема илн опускания катода начинаегся с передачи -враьцателы:.ого движения от руки или от привода на ось вращения шлифа — ввода 6 и соответственио на шарнирный механизм 1Л. При этом штанга 11 также начгшает совершать, движение вместе с шарнирлым механизмом, а закрепленный на сзооодном конце штанги ролпк 14 описываег радиус, центр которого расположен в месте закрепления штанги на оси шарггирного механизхга. Поскольку основание катода закреплено к корпусу 12 только одним концом, то cBoнм сооственным весом оно постоянно опирается на наружный диаметр ролика 14 и зоспр fffffilaer от последнего необходимое уснлис при подъеме катода вверх. Катод от прижимного усилия либо поднимается ВВсрх до упора 17, лг,бо опускается вниз в исходное iioложеii;ip и зав:fcLfìîcòè от проводимого процесса наны rc,fия, при этом ролик 14 своей наружнон поверхностью обкатывается по основакно катода 2.

8 зависимости от технических требований гк тонкопленочным покрытиям в процессе их на .ыле:i:lÿ катоды могут поочередно поднима гься вверх, занимая горизонтальное положен fe, параллельное плоскости наиыляемой нов p_#_IIOcTII, Ifл:f опускаться вниз

Предмет изобрете:гия

Устройство для катодного распыления, содержащее вакуумную камеру, внутри кото рой

20 укреплены подложкадержатель, катоды-мишскг, cTQH:Lff для катодов, систему вводов, высоковольтный источник. 0T,ãè÷àþùååcÿ тем, что, с целью повышения равномерности покрытий, каждый катод за креплен на кронштейне, подвижно установленном на стойке, 25 снаожвннон осью, па которой одним концом шарнирно закреплена штанга, другой конец которой шарнирно связан с системой вводов.

Заказ 428/!267 Тираж 826

Изд. М 585 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам зобретений и открытий при Совете

Министров СССР

Москва, Ж-85, Раушская наб., 4/5