Способ серийного выращивания монокристаллов
ОПИС
ИЗОБРЕТЕНИЯ
1111 385475
Союз Советских
Социалистически»
Республик, К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (б1) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 22.12.69 (21) 1387272/23-26 (51) М. Кл. В Olj 17/06 с присоединением заявки ¹
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (32) Приоритет
Опубликовано 15.12.75. Бюллетень № 46
Дата опубликования описания 10.03.7б (53) УДК 548.55(088.8) (72) Автор изобретения
М. С. Орлов (71) Заявитель
Казанский ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. В. И, Ульянова (Ленина) (54) СПОСОБ СЕРИЙНОГО ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ
Предмет изобретения
Известен способ серийного выращивания монокристаллов по методу Бриджмена с вращением тиглей (или одного многогнездпого тигля).
Однако этот способ отличается вредным влиянием ассиметрии теплового поля в процессе кристаллизации, а при использовании многогнездного тигля еще и неравномерный диффузионный контакт кристалла и расплава с окружающей атмосферой.
С целью повышения качества и выхода полученных кристаллов предлагается тигли вращать вокруг общей оси и каждый из них вокруг собственной.
Способ осуществляют следующим образом.
В тигли засыпают соли веществ, из которых хотят получить монокристаллы и помещают их в зону наргевателя печи. После создания необходимых условий роста (температура, атмосфера и др.), тиглям сообщают двойное вращение с заданной скоростью опускания.
Способ обеспечивает повышение качества и выхода полученных кристаллов.
Пример. В тигли засыпают соли SrFq u
PBFg (= 0,25% от общего веса Зги) и легирующую примесь GdF> из расчета необходимой концентрации бУ+ в шихте. Тигли укреп5 ляют на устройстве для двойного вращения с таким расчетом, чтобы они находились в рабочей зоне нагревателя. Подключением вакуумных насосов добиваются необходимого вакуума в объеме печи (Р=10 — з+10 — мм
10 рт. ст.). После этого нагревают тигли до
1500 С, выдерживают 5 — 10 мин и включают двойное вращение тиглей со скоростью опускания последних 5 — 22 мм/час.
Способ серийного выращивания монокристаллов по методу Бриджмена с вращением
20 тиглей, отличающийся тем, что, с целью повышения качества и выхода полученных кристаллов, тигли вращают вокруг общей оси и каждый из них вокруг собственной оси.
