Способ измерения пробивного напряжения ;?-п-переходов полупроводниковых приборов с лавинным механизмом пробоя
» т1
»
A 3
i:»
О П И С А Н И Е»42!959
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 20.04.72 (21) 1775275 26-25 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет—
Опубликовано 30.03.74, Бюллетень ¹ 12
Дата опубликования описания 19.11.74 (51) М.Кл. G Olr 31/26
Государственный комитет
Совета Министров СССР но делам изобретений н открытий (53) УДК 621.382.3 (088.8) (72) Авторы изобретения
Н. А. Борисов, А. А. Экслер и В. И. Шамов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОБИВНОГО НАПРЯ)КЕНИЯ
p — n-ПЕРЕХОДОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
С ЛАВИННЫМ МЕХАНИЗМОМ ПРОБОЯ
Изобретение относится к технике измерений электрических параметров полупроводниковых приборов и может быть использовано при исследовании, разработке и контроле параметров в процессе серийного изготовления полупроводниковых приборов.
Известные способы измерения пробивных напряжений полупроводниковых приборог, предусматривают подачу на р — и-переход постоянного или импульсного нарастающего напряжения. Напряжение, подаваемое на p — ппереход, увеличивают до тех пор, пока в цепи
p — и-перехода не установится величина тока, заданная нормой на данный тип прибора. Прп заданном токе измеряют напряжение па р — и-переходе измерительным прибором.
Однако установленная норма тока для определения пробивного напряжения не характеризует границу между предпробойной областью напряжения и областью пробивного напряжения. В зависимости от вольтамперной характеристики прибора и от наличия различных дефектов в приборе измеренное напряжение может находиться как в предпробойной области, так и в области пробоя. Измерения в области пробивного напряжения могут привести к мгновенному выходу контролируемого прибора из строя или к появлению в нем скрытых дефектов, снижающих надежность полупроводникового прибора.
Цель изобретения — повышение точности измерений.
Цель достигается тем, что по предлагаемому способу на импульсы низкочастотного на5 пря>кения. подаваемые на контролируемый
p — n-переход, накладывают высокочастотный сигнал и в момент прохождения через нуль высокочастотной фазовой характеристики р — и-перехода измеряют текущее значение ам10 плитуды на р — 1г-переходе, равное напряжени1о пробоя.
Блок-схех1а устройства, реализующего предлагаемый способ. представлена на чертеже.
15 Пробивное напряжение измеряют следуloщим образом.
Генератор 1 нарастающего низкочастотного напряжения Вырабатывает импульсы, на которые пакладываIотся импульсы высокоча
2О стотного напряжения от генератора 2, частоту которого выбирают из условия монотонного уменьшения фазовой характеристики. Сформированное смесителем,З напряжение подают на контролируемый р — и-переход 4.
25 Прило>кенное напряженпе создает в цепи р — и-перехода ток. С токосъемного резистора
5 снима1от падение напряжения, отфильтровывают высокочастотную составляющую фильтром 6 и с помощью фазочувствительного з0 устройства 7 выделяют напряжение характе421959
Предмет изобретения
Составитель В. Авдонин
Техред T. Курнлко Корректор А. Сгепанова
Редактор И, Грузова
Заказ 4420 Изд. № 1438 Тираж 678 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
МОТ, Загорский цех
3 ристики изменения фазы между током и напряжением высокой частоты в цепи р — n-перехода.
Напряжение снимается с р — n-перехода в момент времени, когда характеристика изменения фазы, уменьшаясь, достигает нулевого значения. В этот момент нарастающее напряжение на p=n-переходе достигает величины пробивного напряжения.
Пробивное напряжение р — n-перехода измеряют с помощью измерительного прибора 8, подключенного параллельно цепи р — n-переход — токосъемный резистор. Порог чувствительности регулируется пороговым устройством 9.
Способ измерения пробивного напряжения р — n-переходов полупроводниковых приборов с лавинным механизмом пробоя путем подачи низкочастотных импульсов нарастающего напряжения на измеряемых р — n-переход, отлииаюи1ийся тем, что, с целью повышения точности измерений, на подаваемые импульсы
lp низкочастотного напряжения накладывают высокочастотный сигнал и в момент прохождения через нуль высокочастотной фазовой характеристики р — n-перехода измеряют текущее значение амплитуды на р †)г-переходе, 18 равное напряжению пробоя.
