Центрифуга для нанесения покрытий

 

Ofl HCAHHE

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К - АВТОРСКОМУ СВИДИТВЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 517086

/ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 1 1.09.74 (21) 2060006у25 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано05.06.76.Бюллетень № 21 (45) Дата опубликования описания 25.06.77 (51) N1. Кл.

Н 01 L 21/47

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам ивеоретений и открытий (53) УДК 621.382 (088.8) (72) Авторы изобретения В. В. Пасынков, Л. В. Скрижалин, 3. Н. Таиров и Л. В. Тонкий

Ленинградский ордена Ленина электротэхнический институт им. В. И. Ульянова (Ленина) (71) Заявитель (54) ЦЕНТРИФУГА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к технологии нанесения различных покрытий на плоские проводящие и полупроводящие пластины, например фоторезиста на полупроводниковые пластины, при производстве полупроводниковых 5 приборов.

В настоящее время в полупроводниковом производстве используются центрифуги, содержащие столик с металлическим основанием. оправку для закрепления пластин с по- 10 мощью вакуума, канал для подвода вакуума, эл ктродвигатель.

Недостатками известных пентрифуг являются: ненадежность закрепления полупроводниковых пластин; необходимость использо- И вать металлический пинцет или вакуумный присос для снятия пластин со столика центрифуги после нанесения фоторезиста;необходимость применения дорогостоящего и громоздкого вакуумного оборудования. 20

Бель изобретения — повышение надежности закрепления пластин.

Сущность изобретения заключается в том, что на металлическое основание, соединенное с источником высокого напряжения, уста 25 новлен полупроводниковый диск, который сво» бодно покрывается полимерной пленкой.

На чертеже показана предложенная центрифуга.

Металлическое основание 1 центрифуги жестко связано с валом 2 электродвигателя.

На это основание проводящим клеем наклеивается полупроводниковый диск 3 толщиной 2-3 мм с удельным объемным электрическим сопротивлением 10 — 10 Ом.м, на з который свободно накладывается полимерная пленка 4 толщиной 10-20 мкм с удельным объемным электрическим сопротивлением

15 l7

10 -10 QM-м. Полупроводниковая пластинка 5 помещается на эту пленку.

Описанная конструкция представляет собой конденсаторную систему, которая заряжается от источника высокого напряжения, собранного на базе схемы умножения. Рабочее напряжение составляет 1500-1800 в, а потребляемые токи — несколько десятков микроампер. Полимерная пленка служит для накопления зарядов и для того, чтобы закрепление объектов было надежным в течение всего времени вращения столика центрифуги.

51?086

Составитель В. Животовский

Редактор Т. Орловская Техред М. Левицкая Корректор А. Власенко

Заказ 952/166 Тираж 977 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, .ул. Проектная, 4

При использовании фторопластовой пленки последняя вместе с объектом может быть перенесена в термостат для сушки фотореэиста беэ использования металлического пин; цета или вакуумного присоса. Ь

Э качестве материала для полупроводяшего диска может быть использована обьп,ная

СВЧ-ферритовая керамика.

Нанесение фоторезиста,Ьсуществляется следующим образом. Перед началом работы Я от источника напряжении заряжают конденсаторйую систему, прн этом один из электро@os стационарно соединен с корпусом центри фуги, другим, подвижным, кратковременно касМ ! ютсяторпа полупроводниковойпластины. Засчет1Ь кулоновских сил злектростатичесиого поля обь- екты вместе с полимерной пленкой закрепляют- ся на полупроводниковом диске. 3ayepr иэ пипетки наносят фотореэист на объект, после чего конденсаторную систему прин дят во вращение от электрод вн га тел я пе нтрнфуги. Ч ерез определенное время воашение прекращается, и пленка вместе с пластиной легко снимается со столика центрифуги за счет вертикального отрыва.

Формула изобретения центрифуга для нанесения покрытий, например фоторезиста, на полупроводниковые пластины, содержащая столик с металлическим основанием, жестко связанный с валом электродвигателя, о т л и ч а ю ш а я с я тем, что, с целью повышения надежности а8крепления пластин, на металлическое основание, соединенное.с источником высокого напряжения,установлен полупроводниковыйдиск„ покрытый полимерной пленкой.