Устройство для установочных перемещений

Авторы патента:

САРКИСИАН СЕРГЕЙ СУРЕНОВИЧ

ВАРТАНЯН БОРИС ШАВАРШОВИЧ

H01L21/66 - испытания или измерения в процессе изготовления или обработки (после изготовления G01R 31/26)

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН И Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1ii1 523472

Союз Советских

Социалистических

Республик Р

/ (51) М. Кл. Н ОЦ. 21, 66 (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 16.02,73 (21) 1882824/25 с присоединением заявки е

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 30.07,76. Бюллетень № 28

Дата опубликования описания 10.08.76 (53) УДК 621.328.002 (088.8) (72) Авторы изобретения

С. С. Саркисиан и Б. Ш. Вартанян (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ УСТАНОВОЧНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Изобретение относится к устройствам для установочных перемещений, в частности, иглы-зонда в зондовых головках для контроля микросхем.

Известные устройства содержат корпус в виде двух параллельно расположенных пластин, шарнирно скрепленных на одном конце, причем одна из них закреплена неподвижно, подвижную каретку с иглой-зондом, фиксируемую относительно пластин и имеющую продольное направляющее окно, рычаг для смещения каретки, соединенный шаровой опорой с пластиной корпуса, пружину поджима каретки к пластине и винт поворота второй пластины относительно первой.

В них каретка размещена под нижней поворотной пластиной, что усложняет конструкцию за счет наличия винта для установки пружины поджима и винта для перемещения каретки.

Целью изобретения является упрощение конструкции, для чего каретка |размещена между пластинами корпуса так, что винт поворота проходит сквозь ее окно, а пружина поджима установлена на этот винт между неподвижной пластиной и кареткой.

На фиг. 1 схематически показано предлагаемое устройство, продольный разрез; на фиг.

2 вЂ” то же, вид в плане.

К неподвижной пластине 1 корпуса подвешена поворотная пластина 2 на плоскопружинном шарнире 3. Между пластинами размещена каретка 4, несущая иглу-зонд 5. Винт ново рота 6 пластины 2 проходит сквозь ее

5 продольное направляющее окно, и на него между кареткой 4 и неподвижной пластиной

1 установлена пружина поджима 7. Для уг лового и продольного смещения каретки 4 служит рычаг 8, соединенный шаровой опо10 рой 9 с пластиной 1. Положение установленной каретки фиксируется винтом 10.

Устройство используют следующим образом.

Открепив винт фиксации 10, вр ащением

15 винта поворота 6 устанавливают иглу-зонд 5 на нужной высоте, обеспечивающей контакт с проверяемым изделием.

Покачиванием рычага 8 перемещают каретку 4 вдоль ее оси и поворачивают вокруг

20 винта 6 до попадания иглы-зонда 5 в нужное место изделия. Затем фиксируют винтом 10 до тигнутое положение каретки 4.

Формула изобретения

Устройство для установочных перемещений иглы-зонда, преимущественно для контроля микросхем, содержащее корпус в виде двух параллельно расположенных пластин, шарÇ0 нирно скрепленных на одном конце, причем

523472

4 7 иг 2

Составитель А. Чудов

Техред А. Камышникова Корректор Л. Денискина

Редактор Н. Коляда

Заказ 1797/15 Изд. № 1524 Тираж 963 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 одна из них устапов..сна неподвижно, подвижну;о каретку с иглой-зондом, фиксируемую отно ительно I ...,àñòèí и имеющую продольное направляющее окно, рычаг для смещечия КареТхН, соединенный mapoaoH onopou с пластиной корпуса, пружину поджима каретки к пластине и винт поворота второй ила .тины относительно первой, отлииающееся тем, что с целью упрощения устройства каретка размещена между. пластинами корпуса так, что винт поворота проходит сквозь ее

5 окно, а пружина поджима установлена на этом винте между неподвижной пластиной и ка;реткой.

Устройство для измерения профиля легирующей примеси в полупроводниковых структурах // 517863

"бесконтактный способ измеренияконцентрации носителей заряда вполупроводниках на свч4 // 508760

Кмера тепла // 506086

Патент 504516 // 504516

Устройство для электролитического травления // 503190

Способ микроволнового измерения эффективной массы носителей тока в легированном полупроводнике // 498576

Устройство для измерения удельного сопротивления высокоомных полупроводниковых материалов и времени жизни свободных носителей тока // 496515

Способ определения коэффициента инжекции // 494958

Автомат подбора варикапов в комплекты // 494708

Устройство для определения электрофизических параметров полупроводниковых пластин // 2101721

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Устройство для измерения толщины плоского изделия и способ его реализации // 2107257

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Способ градуировки резонансного датчика параметров эпитаксиального слоя на проводящей подложке // 2107356

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Способ выявления структурных дефектов в кристаллах кремния // 2110116

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Способ регулирования величины напряжения в открытом состоянии тиристоров и диодов // 2119211

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов

Способ контроля однородности слоев пористого кремния на монокристаллическом кремнии // 2119694

Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Способ выявления структурных дефектов в кристаллах кремния // 2120683

Устройство и способ измерения поверхностного сопротивления полупроводниковых пластин // 2121732

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин

Способ контроля дефектности пленок диоксида кремния на кремниевых подложках // 2127927

Установка для испытаний на радиационную стойкость // 2128349