Камера комбинированного автоэлектронного-автоионного микроскопа

 

Оп ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (.1) 528637

СОюз Советских

Социалистических

Реслт:.лчк (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 07.07.75 (21) 2153246/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.09.76. Б?оллетень ¹ 34

Дата опубликования описания 05.11.76 (51) М. Кл.е- Н 013 37/26

Государственный комитет овета 1иннистров СССР

R0 делам изобретений и открытий (53) УДК 621.385.833 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. А. Кузнецов и Е. П. Шешин

Московский институт инженеров гражданской авиации (71) Заявитель (54) КАМЕРА КОМБИНИРОВАННОГО АВТОЭЛЕКТРОННОГОАВТОИОННОГО МИКРОСКОПА

Изобретение относится к области автоионной и автоэлектронной микроскопии и может быть использовано при создании приборов для исследования твердого тела на атомном уровне.

Извсстпа конструкция автоионного-электронного микроскопа, выполненного в металле с высоковольтными вводами (1). Недостатком таких устройств является их сложность и громоздкость.

Наиболсс близким к предлагаемому изобрстснию является устройство камеры комбинированного автоэлектронного-автоионн ого микроскопа (2), содержащей цельнометаллический корпус, съемный экран и охлаждаемый цилиндр, укрепленный на держателе исследуемого образца.

Однако такое устройство сложно и при этом нс обеспечивается высокая точность исследований.

Целью изобретения является повышение точности исследования и упрощенис конструкции камеры.

Это достигается тем, что в предлагаемом микроскопе охлаждаемый цилиндр установлен с возможностью перемещения вдоль оси держателя, в камеру введены высоковольтные вводы, один из которых посредством скользящего контакта соединен с охлаждаемым цилиндром, а другой также посредством скользящего контакта соединен с проводящим слоевl экрана, который элсктри 1ески изолирован от корпуса стеклянным кольцом.

На ?ертеже показано предлагаемое устройство.

Здесь обозначено: 1 — люминесцентный слой экрана. 2 — проводящий слой экрана, 3 — коваровое кольцо, 4 — фланцсвое уплотнение, 5 — стекло, 6 — высоковольтныи ввод, 10 7 — скользящий контакт, 8 — высоковольтный ввод, 9 — скользящий конгакт, 10 — охлаждаемый цилиндр, 11 — ооразец-острие, 12 — ножка образца.

Устройство работает следующим образом.

1а ВЫСОКОЕ НаПряжЕНИЕ ЧЕрСЗ ВЫСОКОВОЛЬТНЫЕ вводы 6 и 8 при помощи скользящего контакта 7 подвод?lтся через 1:,оваро»ос 1:.Ольцо 3 1 . проводящему слою 2 на экране, причем сам экран электрически изолирован от фланца, на

20 котором он размещен, стеклянным кольцом, а для сохранения однородно" î поля у поверхности острия 11 на ножку 12 надевается охлажденный цил??ндр 10, также соединенный

c1ioльзящим контактом 9 с высоковольтным

25 вводом 8.

Съемный экран выполнен следующим обра зом. Люмпнесцентный слой 1 нанесен на прозрачный проводящий слой 2, который находится В электричес1:.Ом контакте с коваровым

30 кольцом 3. Для электрической изоляции экра528637

/ gnuì на от стенок камеры фланцевое уплотнение 4, находящееся всегда под потенциалом самой камеры, изолировано от проводящего покрытия и экрана слоем стекла 5. Высокое напряжение подается на коваровое кольцо 3 через высоковольтный ввод б в стенке камеры и скользящий контакт 7, позволяющий легко и просто производить замену экрана.

Использование конструкции камеры позволяет повысить точность измерений в цепи острия (тока эмиссии, тока накала острия, температуры острия) и упрощает конструкцию камеры вследствие упрощения системы охлаждения острия (охлаждающий жидкий газ заливается непосредственно в ножку).

Формула изобретения

Камера комбинированного автоэлсктронного-автоионного микроскопа, содержащая цельнометаллический корпус, съемный экран, »хлаждасмыЙ IlnazHpp, укрепленный на держаt eëe исследуемого образца, о тл и ч а ющ а я ся тем, что, с целью повышения точности исследования и упрощения конструкции, охлаждаемый цилиндр установлен с возможностью перемещения вдоль оси держателя, в камеру введены высоковольтные вводы, один из которых посредством скользящего контакта соединен с охлаждаемым цилиндром, а другой посредством второго скользящего контакта соединен с проводящим слоем экрана, который электрически изолирован от корпуса стеклянным кольцом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Э. Мюллер, Т. Цонь «Автоионная микроскопия», Изд-во «Металлургия», 1972, стр. 133.

2. «Автоионная микроскопия», под ред.

Дж, Гена и С. Ранганатана, Изд-во «Мир», 20 М., 1971, стр. 243 †2 (прототип).