Автомат для классификации полупроводниковых приборов

 

Colo3 Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДИВЛЬСТВУ (11)» 53481 О

1 (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 03.05,73(21) Х913979725 с присоединением заявки №(23) Приоритет (43) Опубликовано08.11.76.Бюллетень № 41 (45) Дата опубликования описания 28.02.77 (51) М. Кл.

Н 01 L 21/6G

Гваударстаенкий квинтет

Саввта Мнннетраа СССР аа делам нзебретвннй

N еткриткй (53) УДК 621.382 (08 а,8) .PQ) Автор изобретения

Н, B. Огароверов (71) Заявитель (54) АВТОМАТ ЙЛЯ КЛАССИФИКАЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

ПРИБОРОВ

Автома r для классификации полупроводни- ковых приборов предназначен преимущественно для использования в радиоэлектронной ромышленности и может найти широкое при энение на предприятиях, производящих или эксплуатирующих полупроводниковые приборист, Известен автоматический классификатор, сортирующее устройство которого выполнено в виде качающихся труб с приводом or элек тромагнитов t 1).

Такое соргирующее устройство обладает сравнительно невысоким быстродействием иэ-эа большой инерционности и значительной величины перемещения разносящих труб. Кроме того, оно недостаточно надежно в работе, Так при задержке одной иэ раэносящпх труб в центре под центральной трубой приборы из разных классификационных групп выгру каются в одну кассету, что значительно снижает надежность всего автомата и усложняет его консгрукдию, Известен полуавтомат для классификации полупроводниковых приборов, содержащий загрузочное устройство, сосгоящее иэ направляющей с дисковым ориенгатором, огсе:кателя, ползунка, упора и клина, разводяще го выводы транзистора, транспортно-подклю1 .чающее устройство, состоящее иэ карусели,. с установленными на ней подключающими

5 устройствами и эажимами1 каждый иэ кото» ,рых снабжен стопором, измеритель параметров, логическое устройство, устройство сор тировки в виде качающихся рычагов с приводом от электромагнитов, служащее для

10 разгрузки транзисторов на roM или другом посту Г23.

Однако этот полуавтомат имеет низкую производительность, Быстродействие устрой ,ства сортировки ограничено быстродействи-

1 д:ем зажимных устройств, а также скоростью свободного падения транзистора при разгрузке в бункер.

Зажимные устройства не всегда надежно зажимают прибор, а, кроме того, при воэQ0 действии на прибор во время его .транспортировки случайных усилий он может быть сброшен в один из бункеров, что ведет к пересортице прибсров.

В подобных конструкциях автоматов к:и »

25 р фи:лини па большое количество групп ц

5348

Q обуется и большое количество зажимных уср.

Ч ойств, что увеличивает габариты транспорирующего устройства и!Снижает быстро действие, надежность и усложняет конструкцию, Ь

Бель изобретения - повышение быстродействия, надежности и упрощения конструк дии автомата, LЭта цель достигается тем, что на конце рычагов сортирующего устройства выполнен,@ вилки, каждая из которых установлена в вь> реэах обоймы, охватывающей транспортиру к » щий ротор.

На фиг, 1 схематично изображен предла гаемый автомат; на фиг, 2 - то же, вид сверху, на фиг. 3 - сечение по. А-А нафиг,2.

Автомат содержит вибробункер 1, лоток

2, транспортно-подключающее ус:гройство, содержащее транспортирующий ротор 3 и контактный механизм 4, измеритель пара- QQ метров, логическое устройство (не показа-. ны), узлы разгрузки 5 сортирующего усгройства, блок приемных емкостей 6 и привод 7.

Транспортирующий ротор 3, выполненный, в виде диска из диэлектрика с пазами 8 пО наружному диаметру (число пазов, например;

20), для загрузки приборов, жесгко wKpeII- лен на выходном валу привода 7, входной вал которого связан передачей 8 с электро 30 двигателем 10. В корпусе привода 7 сл1ок гирован мальтийский механизм с восьмипа-. зовым крестом, водило которого свяэано.зубчагой передачей через предохранительную муфту с входным валом. Мальгийский крест 35 соединен с выходным валом через зубчатую передачу с передаточным огношением са

Таким образом, эа один оборот водила мальтийского механизма транспортирующий ротор поворачивается на 1/20 оборота„г.е, на одну позицию. На валу водила мальтийского механизма жсстко закреплен куличoK

11, ог которого через рычаг 12 и прижим

13 осуществляется зажим контактных плас тин механизма 4. На том же валу эакрепчена пластина 14, воздействующая на бесконтактный датчик 15, служащий для синхронизации рабогы контактного механизма, измерителя и логического устройства, Э

Транспортирующий ротор 4 охвачен обоймой 16, неподвижно закрепленной с помощью кронштейнов 17 для удержания приборов в пазах ротора при его вращении,. На раз*руэочных позициях, а их количество

55 (например, 14) соответствует количеству приемных емкостей 6, в Обойме 16 имеются выроэы 18, через которые прибор л,с жег быть выбрсщ:и из паза рого э 3. Зад каждой емкостью, кроме последней, где для 6"

4 вьпрузки неразбракованных приборов непод вижно закреплена пластина 19, установлен .механиж разгрузки 5. Рычаг 20 механизма разгрузки 5 шарнирно закреплен в пазу кронштейна 2 1 при помощи ocII 2 2 H удер- живается в исходном положении пружиной ,23, для регулировки натяжения которой служат шток 24 и стопорный винт 25. Конец ф)ычага 20 выполнен B виде вилки, KoropRB "установлена в вырезе обоймы 16 таким об разом, что при вращении ротора 3 корпус прибора, находящегося в пазу ротора 4, эаЬодитдя в внутрь ее, Привод рычага осу ществляется or электромагнита 26 через тягу 27, Малая инерционность рычага 20, а также малое усилие и небольшой ход, не-; обходимые для выгрузки прибора, свободно сидящего в пазу ротора 3, позволяют применить в качестве привода электромагнит клапанный корогкоходовой, отличающийся высоким быстродействием, Работает автомат следующим образом, Транзисторы с помощью вибробункера 1 и лотка 2 подаются, к транспортирующему ротору 3„BO время Остановок последнего при совмещении Осей па эа 8 ротора 3 и лотка 2 полупроводниковый прибор (в данном случае транзистор) заходит в паэ 8 ро,тора 3, При следующих поворотах транспор, тирующего ротора 3 выводы транзистора ав томатически заводятся в зазоры между кон тактными пластинами механизма 4 на иэм рительной позиции, Кулачок 11 поворачивает рычаг 12, прижим 13 зажимает контактные пластины с расположенными между ни- . ми вывОдами транэисторар- пОдключая Выво

QbI K KoHгактам измерителя, Посло зажима контактных пластин пластина 14 вызывает срабатывание датчика 15, импульсом которого включается измеритель, По окончании измерения кулачок 11 освобождает рычаг 12, при этом прижим 13 огходит от контактного механизма 4, и контактные пластины разжимаются, а транспортирующий ротор 3 поворачивается на щаг, переводя транзистор на первую разгрузочную позицию, Причем транзистор заводится внутрь емкости через вырез в ее боковой степке. Если параметры

1ранэистора соответствуют классификационной группе, выгружаемой в первую емкость, то по команде логического устройства включается электромагнит первого узла разгрузки, и транзистор сбрасывается в емкость, Если по своим параметрам транзистор соо »

Ьетствует классификационной группе, разгружаемой на второй или последующей позиции разгрузки, го логическое устройство включит соогвогсгвующий электромагнит в то время, когда прибор будсг подведен на ;1требуемую разгрузочную позици1о,. Таким образом, транзистор последовательно про ходит все позиции выгрузки, на которых сбрасывается в одну из приемных емкостей 6 по команде от логического устройства.

Яеразбракованные приборы из за отсутствия

:контактирования (непопадание вывода илн

;попадание двух выводов в один зазор межд .контактными пластинами и т.д.) разгружа ются в последнюю, в данном случае четыр- Щ надцатую) емкость 6 пластиной 18, Конструкция предлагаемого автомата; о

I личается высокой производительностью, где И быстродействие сортирующего устройства (скорость разгрузки приборов в емкости) равно быстродействию электромагнит, так как корпус прибора, находящегося в пазу транспортирующего ротора и удерживаемого. ЯО обоймой, охватывающей pomp при повороте ротора заводится внутрь вилки рычага, и, таким образом, прибор сбрасываетсч в емкость непосредственно электромагнитом по- средством рычага. И

Применение обоймы, охватывающей транспортирующий ротор, и вилок на концах рычагов вместо зажимных устройств значительно повышает надежность работы автомата н упрощает его конструкцию, Формула и зобре тенин

Автомат для классификации полупровод щ ковых приборовэ содержащий загрузочноер

;транспортноподключающее устройства нзм1 -" ритель параметров, логическое устройство, 1„ устройство сортировки в виде качающихся

ычагов с электромагнитным приводом, 1

:отличающийся тем, что, с це лью повышения быстродействия, надежности и упрощения его конструкции, на конце ка чающихся рычагов устройства сортировки выполнены вилки, каждая из которых уста новлена в вырезах обоймы, охватывающей транспортирующий ротор транспортно-подключающего устройства, Исто ип ки информации, принятые во вни мание при экспертизе:

1. Электронная техника сер, 12,,1970 r, вып, 2, стр, 94-108, 2, Оборудование для производства полу проводниковых диодов и триодов" под ред, Масленникова П. 1i, 1970 г., стр. 132, рис, 13-17, 534810

Составитель Н. Островская

Редак ор 9, Смирягина Техред А. Ьогдан Корректор A. Лакида

Заказ 5517/254 Тираж 963 Подписное

UHHHHH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 5, Раушская наб„д. 4/5

Филиал HHIl Натент, r, Ужгород, ул. Ироектнаи, 4

Автомат для классификации полупроводниковых приборов Автомат для классификации полупроводниковых приборов Автомат для классификации полупроводниковых приборов Автомат для классификации полупроводниковых приборов Автомат для классификации полупроводниковых приборов Автомат для классификации полупроводниковых приборов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов
Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин
Наверх