Вакуумный манипулятор

 

Сею э Советски к

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61} дополнительное к авт. свид-ву (22}Заявлено l2,07.79 (21} 2795890/25-08 с присоединением заявки М

В 25 Х l t/0G

Гееудеретеенный квинтет СССР до делам нзебретеннй и еткрытнй (23) П риоритет

Опубликовано 23.04.8l. Бюллетень М15

Дата опубликования опнсания25.04.8l (5З) УДК 62-229.72 (088.8) .:j,-;

Н. А. Кузнецов и A. И. Шашков (72) Л вторы изобретении

1 (71) Заявитель (54) ВАКУУМНЫЙ МАНИПУЛЯТОР

Изобретение относится к устройствам вакуумной техники и может применяться для автоматизации процессов переноса образцов в вакуумных установках, например, для переноса образцов иэ одной вакуумной камеры в другую в установках

В электронной и ионной спектроскопии, в установках молекулярно-лучевой эпитаксии.

Известен вакуу ный манипуляжр. со 10 держащий герметичный корпус и установленные в нем ползун, кинематически связанный с механизмом продольного переме щения, привод захвата и систему управления захватом с тросиком(1).

Недостатки известного устройствасложность конструкции и низкая надежность, связанные с тем, что управление захватом имеет много элементов, составляющих длинную цепь передачи движения от привода к захвату. Кроме того, боль» шая длина и способ натяжения тросика усложняют сборку манипулятора, Uem изобретения — упрощение конструкции и повьпнение надежности манипулятора.

Иля достижения поставленной цели тро сик одним концом соединен с захватом, другим концом - с полэуном и кннематически связан с приводом захвата. Кроме того, манипулятор снабжен по меньшей мере тремя шарнирно связанны.ми с приводом захвата роликами, причем, по меньшей мере один ролик установлен с воэможностью перемещения в направлении, перпендикулярном направлению перемещения ползуна.

На чертеже показан вакуумный манипулятор, общий вид, Манипулятор состоит иэ герметичного корпуса 1, полэуна 2, расположенного в корпусе на направляющих 3 качения, захвата 4, губки 5 захвата, расположенной на оси 6, пружины 7, механизма 8 продольного перемещения, привода 9 захвата, тросика lO и пружины l l натяжения.

l. Вакуумный манипулятор содержащий герметичный корпус и установ1О ленные в нем.полэун, кинематически связанный с механизмом продольного перемещения, привод захвата и сис-. тему управления захватом с тросиком, 15 отличающий с.Q. целью упрощения конструкции и повышения надежности, тросик одним концом соединен с захватом; другим концом - с ползуном, а также кинематически связан с приводом . захвата.

2. Манипулятор по п..4, о т л и ч а юшийся тем, что он снабжен по меньшей мере тремя шарнирно связанными с приводом захвата роликами, причем, по меныпей мере один ролик установлен с

25 возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном направлению перемещения ползуна.

Источники информации, принятые ао внимание при экспертизе

l. Проектирование и изготовление механизма манипулятора .для замены образца в вакуумной камере. Отчет по НИР, ВНТИ, инв. % Б475278, 1978.

3 823

Привод захвата представляет собой циевмоцилиндр l2, соединенный со штоком 13, на котором шарнирно установлен ролик l4. Пневмоцилиндр 12 установлен . на фланца 15 с помощью кронштейна 16.

Фланец lá герметично стыкуется с корпусом 1, Герметичность штока 3.3 при его перемещении в вакууме от цилиндра осуществляется за счет сильфонв 17.

На внутренней стороне фланца lS установлен неподвижно кронштейн l8 с с роликами 19. йля нвтяжейия тросйкв l0 нв ползуне 2 расположены ролики 20 и 2L.

Манипулятор работает следующим образом.

Для установки образца в зажим маницулятора пневмопилиндр 12 перемещает шток 3.3 в верхнее крайнее положение, что приводит к перемещению среднего ролика l4. относительно роликов 19.

Это перемещение удлиняет часть тросика, вахоцящуюся в приводе (между роликами 1.9), что вызывает поворот губки 5 и открытие захвата. После установки образца в захват за счет срабатывания пневмопилиндра l2 производится перемещение ролика 14 в нижнее крайнее положение, что освобождает губку 5 и она под действием пруиуны 7 поворачивается на оси 6.и зажимает образец. Пружина l l обеспечивает натажение тросика lO.,Перемещение олзуна вперед и назад осуществляется за счет

ll7 4 механизма продольного перемещения 8 с помощью реечной передачи. Управление зажимом может быть осуществлено в любом положении полэуна и во время его перемещения.

Формула изобретения