Приборы с ионным пучком (H01J27)

Отслеживание патентов класса H01J27
H01J     Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы (искровые разрядники H01T; дуговые лампы с расходуемыми электродами H05B; ускорители элементарных частиц H05H) (10498)
H01J27                 Приборы с ионным пучком (H01J25,H01J33 и H01J37 имеют преимущество; ускорители элементарных частиц H05H)(240)

Сильноточный источник ионов на основе плотной плазмы эцр разряда, удерживаемой в открытой магнитной ловушке // 2697186
Изобретение относится к области создания непрерывных пучков ионов путем их экстракции из плотной плазмы, создаваемой в открытой магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн.

Фотонный нейтрализатор для инжекторов пучков нейтральных частиц // 2696268
Изобретение относится к безрезонансному фотонейтрализатору для инжекторов пучков нейтральных частиц на основе отрицательных ионов.

Устройство ввода энергии в газоразрядную плазму // 2695541
Изобретение относится к устройствам высокочастотного возбуждения и поддержания разряда газоразрядной плазмы в ионных источниках, ионных двигателях космических аппаратов с преобразованием энергии источника постоянного напряжения в радиочастотную электромагнитную энергию поля индуктора, взаимодействующего с объемом плазмы через взаимную индуктивность.
Электрод ионного двигателя и способ его изготовления // 2692757
Изобретение относится к космической технике и касается высокочастотных ионных двигателей. Электрод ионного двигателя, содержит равномерно распределенные по поверхности круглой или прямоугольной формы отверстия размером 1,2-4,6 мм и перемычки между ними шириной 0,4-2,4 мм и выполнен из (УУКМ) на основе каркаса слоистой структуры из высокомодульных углеродных волокон и коксо-пироуглеродной матрицы; при этом углеродные волокна (УУКМ) входят в состав однонаправленной ленты толщиной 0,07-0,11 мм и расположены в УУКМ детали под углом 60 или 90 градусов друг к другу для отверстий круглой и квадратной формы соответственно.Технический результат изобретения - повышение ресурса работы ускоряющего электрода и эмиссионного электрода ИОС, а также повышение их прочности и размерной точности, высокой чистоты поверхности и упрощение технологии изготовления.

Способ генерации широкополосного оптического излучения с высокой яркостью // 2680143
Изобретение относится к способам генерации широкополосного оптического излучения с высокой спектральной яркостью и представляет интерес для приложений в микроэлектронике, спектроскопии, фотохимии, медицине и других областях.

Устройство для формирования квазинейтрального пучка противоположно заряженных частиц // 2676683
Изобретение относится к области плазменной техники. Устройство содержит: камеру (20); набор средств (31, 30, 40, 58) для формирования ионно-электронной плазмы в камере (20); средство (50) для извлечения и ускорения заряженных частиц плазмы из камеры (20), причем указанные частицы могут формировать пучок, а средство (50) извлечения и ускорения содержит набор по меньшей мере из двух сеток (51, 54), расположенных на одном конце камеры; радиочастотный источник (52) переменного напряжения для генерации сигнала, радиочастота которого составляет величину между ионной плазменной частотой и электронной плазменной частотой, причем радиочастотный источник (52) напряжения соединен последовательно с конденсатором (53) и соединен одним из своих выходов, через указанный конденсатор (53), с одной из двух сеток (51, 54) указанного набора из по меньшей мере двух сеток (51, 54), причем по меньшей мере одна другая сетка из набора по меньшей мере двух сеток (51, 54) находится под опорным потенциалом, либо она соединена с другим выходом радиочастотного источника (52) напряжения.

Импульсный источник водородных ионов с осцилляцией электронов в неоднородном продольном магнитном поле // 2671960
Изобретение относится к области ускорительной техники. Использование кольцевого концентратора продольного магнитного поля на антикатоде для ограничения расширения канала разряда в водороде с целью интенсификации плотности разряда по оси отверстия ионной эмиссии и выполнение торцевых скосов на аноде для устранения возможных «закороток» анод-катод продуктами распыления катода и антикатода.

Сильноточный источник пучков ионов на основе плазмы электронно-циклотронного резонансного разряда, удерживаемой в открытой магнитной ловушке // 2660677
Изобретение относится к средствам формирования сильноточных пучков ионов путем их экстракции из плотной плазмы ЭЦР разряда, создаваемой в открытой магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн.

Устройство для синтеза покрытий на диэлектрических изделиях // 2658623
Изобретение относится к устройству для синтеза покрытий на диэлектрических изделиях. Устройство содержит рабочую камеру, устройство планетарного вращения изделий, установленное внутри камеры с образованием зоны вращения изделий, мишени планарных магнетронов на стенках камеры, источники их электропитания, соединенные отрицательными полюсами с мишенями, а положительными полюсами - с камерой, дополнительно содержит изолированную от камеры и установленную внутри зоны вращения изделий полую цилиндрическую электропроводную сетку, ограниченную на торцах дисками из электропроводящего материала, и источник импульсов высокого напряжения, положительным полюсом соединенный с камерой, а отрицательным полюсом соединенный с сеткой.

Устройство для осаждения покрытий // 2656480
Изобретение относится к машиностроению, в частности к устройствам для осаждения износостойких покрытий на изделиях в вакуумной камере.

Источник пучка ионов на основе плазмы электронно-циклотронного резонансного разряда, удерживаемой в открытой магнитной ловушке // 2650876
Изобретение относится к области формирования сильноточного пучка ионов путем его экстракции из плотной плазмы ЭЦР разряда, создаваемой в открытой магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн.

Сильноточный источник пучка ионов на основе плазмы электронно-циклотронного резонансного разряда, удерживаемой в открытой магнитной ловушке // 2649911
Изобретение относится к области формирования сильноточных пучков ионов путем их экстракции из плотной плазмы ЭЦР разряда, создаваемой в открытой магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн.

Дуоплазматронный источник газовых ионов // 2647887
Изобретение относится к источникам газовых ионов, применяемых в ускорителях заряженных частиц. Дуоплазматронный источник газовых ионов состоит из соосно расположенных: катода, промежуточного электрода с отверстием и анода с отверстием эмиссии.

Устройство для стационарной генерации ионного пучка // 2642852
Изобретение относится к области создания ионных источников, предназначенных для работы инжекторов быстрых атомов водорода в стационарном режиме (атомные пучки большой мощности - до 2 мегаватт), которые могут использоваться для нагрева плазмы в магнитных ловушках.

Ионный источник // 2630426
Изобретение относится к газоразрядным электронным приборам с ионным пучком и может использоваться при обработке материалов, в частности при ионной полировке оптических деталей до дифракционного качества поверхности.

Высокотемпературный источник поверхностной ионизации // 2625728
Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для получения пучков ионов при разделении изотопов или масс-спектрометрии.

Плазменный источник и способ генерирования лучей заряженных частиц // 2621323
Изобретение относится к области плазменной техники, в частности к плазменным источникам для генерирования пучка заряженных частиц.

Источник ионов // 2620442
Изобретение относится к ионно-плазменной технологии и может быть использовано при разработке источников ионов.

Способ ионно-лучевой обработки изделий с большой площадью поверхности // 2619460
Изобретение относится к способам ионно-лучевой обработки изделий с большой площадью поверхности. Обрабатываемые изделия перемещают поперек большой оси пучка, формируемого с помощью ионно-оптической системы, содержащей плазменный и ускоряющий электроды, каждый из которых содержит большое число щелевых апертур.

Высоконадежный, с большим сроком службы источник отрицательно заряженных ионов // 2615756
Изобретение относится к источнику отрицательно заряженных ионов. Заявленный источник ионов содержит плазменную камеру, микроволновой источник, устройство преобразования в отрицательно заряженные ионы, магнитный фильтр и приспособление для формирования пучка.

Устройство ионного распыления (варианты) // 2595266
Изобретение относится к области ионно-плазменного распыления, в частности к ионно-лучевому распылению мишеней для получения тонкопленочных проводящих, полупроводниковых и диэлектрических покрытий на движущихся или вращающихся подложках большой площади.

Устройство для синтеза наноструктурных покрытий // 2583378
Изобретение относится к устройствам для синтеза износостойких нанокомпозитных покрытий на изделиях в вакуумной камере.

Способ генерации широкополосного оптического излучения с высокой яркостью // 2571433
Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается способа генерации широкополосного оптического излучения с высокой спектральной яркостью.

Устройство для стабилизации катодного плазменного потока // 2529879
Изобретение относится к области плазменной техники. Технический результат - повышение стабильности плазменного потока и устойчивости протекания тока в межэлектродном промежутке, что обеспечивает существенное уменьшение времени коммутации и увеличение амплитуды разрядного тока.

Плазменный генератор и способ управления им // 2525442
Изобретение относится к плазменной технике, в частности к плазменным генераторам. Технический результат - сокращение потерь мощности, вызванных рекомбинацией ионов/электронов на стенках. В заявке описан плазменный генератор, имеющий корпус, который охватывает ионизационную камеру с по меньшей мере одним имеющимся у нее выходным отверстием, по меньшей мере один входящий в ионизационную камеру подвод для подачи рабочего газа и по меньшей мере одну электрическую катушечную систему, охватывающую по меньшей мере часть ионизационной камеры и электрически соединенную с источником переменного тока высокой частоты, от которого к по меньшей мере одной катушке катушечной системы подводится переменный электрический ток высокой частоты, при этом предусмотрен еще один источник тока, от которого к по меньшей мере одной катушке катушечной системы подводится постоянный ток или переменный ток меньшей частоты, чем у переменного тока высокой частоты от его источника.

Устройство для осаждения металлических пленок // 2510984
Изобретение относится к вакуумно-плазменной технике, а именно к источникам атомов металла преимущественно для осаждения тонких металлических пленок на диэлектрические подложки в вакуумной камере, и к источникам быстрых атомов и молекул газа.

Устройство для ионного распыления мишени и/или обработки поверхности объекта и способ его применения // 2510735
Изобретение относится к области обработки поверхности объекта. Устройство для ионного распыления мишени и/или обработки поверхности объекта содержит кольцевой источник ионов, формирующий ионный пучок, распространяющийся в промежутке между двумя условными вложенными друг в друга сходящимися - в направлении от источника ионов к держателю объекта (мишени) - коническими поверхностями, образующие которых составляют с общей осью конусов разные углы и общее основание которых совпадает с окружностью, ограниченной круговой выходной щелью кольцевого источника ионов.

Устройство выброса ионов на эффекте холла // 2510543
Изобретение относится к области плазменных двигателей. Устройство содержит, по меньшей мере: один главный кольцевой канал (21) ионизации и ускорения, при этом кольцевой канал (21) имеет открытый конец, анод (26), находящийся внутри канала (21), катод (30), находящийся снаружи канала на его выходе, магнитную цепь (4) для создания магнитного поля в части кольцевого канала (21).

Ионный источник тлеющего разряда с повышенной светосилой // 2504859
Изобретение относится к области приборостроения. Технический результат - увеличение светосилы ионного источника тлеющего разряда за счет уменьшения диффузионных потерь ионов в разрядной камере.

Сильноточный источник многозарядных ионов на основе плазмы электронно-циклотронного резонансного разряда, удерживаемой в открытой магнитной ловушке // 2480858
Изобретение относится к области создания пучков многозарядных ионов (МЗИ) путем их экстракции из плотной плазмы, создаваемой в открытой магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн, которые необходимы для формирования сильноточных пучков многозарядных ионов, востребованных в ряде приложений (ускорительной технике, медицине, ионной имплантации, фундаментальных исследованиях и пр.).

Высокочастотный генератор для ионных и электронных источников // 2461908
Изобретение относится к устройствам для ввода энергии ионизации в ионный или электронный источник с индуктивным или индуктивно-емкостным возбуждением.

Способ получения пучка ионов высокой зарядности // 2448387
Изобретение относится к области получения пучков многозарядных ионов и может быть использовано для решения научных и прикладных задач, в частности использоваться в ускорителях.

Плазменный эмиттер электронов // 2427940
Изобретение относится к технике получения низкотемпературной плазмы и может быть использовано в источниках электронных и ионных пучков в качестве эмиттера.

Устройство для получения пучков ускоренных нанокластерных ионов // 2423753
Изобретение относится к физике взаимодействия ионов с поверхностью вещества. .

Источник ионов и устройство для плазменной обработки // 2414766
Изобретение относится к области плазменной обработки при изготовлении полупроводников. .

Плазменный эмиттер заряженных частиц // 2408948
Изобретение относится к технике получения электронных и ионных пучков и может быть использовано в электронных и ионных источниках, генерирующих пучки с большим поперечным сечением.

Двухпучковый ионный источник // 2407100
Изобретение относится к плазменной технике, а именно к источникам получения пучка ионов, и может быть использовано в ионно-лучевых технологиях для модификации поверхностей изделий и для нанесения на них тонких пленок SiC, AIN, твердых растворов на их основе и т.д.

Устройство для электропитания накала катодов газоразрядной камеры стационарного ионного источника и способ его работы // 2395865
Изобретение относится к инжекционной технике, применяемой для создания мощных ионных пучков. .

Устройство создания ионных потоков // 2389105
Изобретение относится к области создания полупроводниковых приборов методом легирования и предназначено для получения направленных потоков (пучков) ионов.

Ионизатор воздуха // 2388102
Изобретение относится к медицинской технике и технике кондиционирования воздуха и может быть использовано для электрической ионизации, очистки и стерилизации воздуха в целях профилактики и лечения болезней в бытовых, производственных и больничных условиях.

Источник быстрых нейтральных атомов // 2373603
Изобретение относится к вакуумно-плазменной технике. .

Способ ионизации атомарных или молекулярных потоков и устройство для его осуществления // 2370849
Изобретение относится к электронике и может быть использовано для ионизации атомарных или молекулярных потоков и формирования ионных пучков в полупроводниковой технологии в области молекулярно-лучевой эпитаксии.

Источник широкоапертурных ионных пучков // 2370848
Изобретение относится к плазменной технике, а именно генерации ионных пучков с большим поперечным сечением. .

Способ получения пучка отрицательных ионов // 2368977
Изобретение относится к технике генерации пучков отрицательных ионов и может быть использовано в ускорителях заряженных частиц, системах нагрева плазмы и других устройствах.

Газонаполненная нейтронная трубка // 2366030
Изобретение относится к газонаполненным нейтронным трубкам для каротажных работ на нефтяных, газовых и рудных месторождениях.

Способ формирования нейтронного потока газонаполненной нейтронной трубки // 2366013
Изобретение относится к способам изготовления газонаполненных нейтронных трубок и формированию нейтронного потока.

Способ ускорения ионов и устройство для его осуществления // 2364979
Изобретение относится к ядерной и экспериментальной физике и может быть использовано в физике и технике прямого зажигания мишеней инерциального термоядерного синтеза.

Источник низкоэнергетичных ионных пучков для технологий наноэлектроники // 2353017
Изобретение относится к области ионно-пучковой инженерии и может быть использовано в качестве ключевого элемента как существующих, так и новых промышленных технологий наноэлектроники.

Магнитоуправляемый детектор свч излучения // 2347296
Изобретение относится к технике СВЧ и может использоваться при создании радиоаппаратуры для связи, радиолокации, в измерительной технике, в научном приборостроении.

Способ получения металлических нанокластеров в свободном состоянии // 2341845
Изобретение относится к физике взаимодействия ускоренных частиц с поверхностью вещества и может быть использовано для создания источника нанокластеров металлов, физические свойства которых обусловливают их широкое применение в науке и технике.
 
.
Наверх