Электрическая вакуумная ловушка

 

Изобретение относится к устройствам для улавливания паров масла при применении вакуумных паромасляных диффузионных насосов и механических насосов с масляным уплотнением. Цель изобретения - повышение защитных свойств ловушки в широком диапазоне рабочих давлений. Разрядные электроды выполнены в виде перекрывающих входное отверстие 2 двух криволинейных сеток 6 и 7 с общим центром кривизны. Сетки 6 и 7 вогнутой стороной обращены внутрь корпуса 1 Магнитное устройство вьшолнено в виде набора постоянньпс магнитов, которые расположены по окружности с образованием концентричных секций, размещены над сетками и соединены между собой по одноименным полюсам при помощи магнитопроводов. В центре кривизны сеток расположен эмиссионный электрод 4 с блоком 5 питания. Ловушка работает в диапазоне рабочих давлений -от 1 до . Магнитное устройство служит для увеличения в области ионизации эффективной длины свободного пробега электронов, имитируемых электродом-4, 2 ил. Q & (Л с 00 to ( 4 00 Фиг. 1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (51)4 Р F

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMY CBMPETEJlbCTBV

Фиг. f

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4018500/25-06 (22) 05,02.86 (46) 07,07.8?.Бюл, Р 25 (72) А.В.Лазаревич, В,А.Никитин, А.А,Жуков и И.П.Смирнов (53) 631.527.5 (088.8) (56) Королев Б,И. и др. Основы вакуумной техники. — M. Энергия, 1975, с.177. (54) ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ВАКУУМНАЯ ЛОВУШКА (57) Изобретение относится к устройствам для улавливания паров масла при применении вакуумных паромасляных диффузионных насосов и механических насосов с масляным уплотнением.

Цель изобретения — повышение защитных свойств ловушки в широком диапазоне рабочих давлений. Разрядные электроды выполнены в виде перекрывающих входное отверстие 2 двух криволинейных сеток 6 и ? с общим центром кривизны. Сетки 6 и 7 вогнутой стороной обращены внутрь корпуса 1, Магнитное устройство выполнено в виде набора постоянных магнитов, которые расположены по окружности с образованием концентричных секций, размещены над сетками и соединены между собой по одноименным полюсам при по" мощи магнитопроводов. В центре кривизны сеток расположен эмиссионный электрод 4 с блоком 5 питания. Ловушка работает в диапазоне рабочих давлений-от 1 до 10 Па. Магнитное устройство служит для увеличения в области ионизации эффективной длины свободного пробега электронов, имитируемых электродом 4. 2 ил.

48 2 13219

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройствам для улавливания паров масла при применении вакуумных паромасляных диффузионных насосов .и механических насосов с масляным уплотнением.

Целью изобретения является повышение защитных свойств ловушки в широ-ком диапазоне рабочих давлений, .На фиг.1 представлена электрическая ловушка, общий вид; на фиг. 2 магнитное устройство электрической ловушки.

Электрическая вакуумная ловушка содержит корпус I с входным отверстием 2, расположенные в корпусе 1 разрядные электроды, подключенные к источнику 3 питания, магнитное устройство и эмиссионный электрод 4 с блоком 5 питания, Разрядные электроды выполнены в виде перекрывающих входное отверстие 2 двух криволинейных сеток б и 7 с общим центром кривизны, обращенных вогнутой стороной внутрь

25 корпуса l а магнитное устройство— в виде набора постоянных магнитов 8, расположенных по окружности с образованием концентричных секций 9 и 10, размещенных над сетками и соединен-ных между собой по одноименным полюсам при помощи магнитопроводов 11,, причем эмиссионный электрод 4 расположен в центре кривизны сеток.

Кроме того, ловушка содержит высоковакуумный затвор 12, низкотемпературную охлаждаемую ловушку 13 и откачиваемый объем 14. К ловушке подсоединен механический насос 15, В диапазоне рабочих давлений 1

10 Па ловушка работает следующим образом.

При подаче разности потенциалов от источника 3 питания разряда между электродом, являющимся катодом, и электродом-анодом, зажигается тлею45 щий разряд, При попадании паров ма сла из механического насоса 15 с масляным уплотнением в разрядный промежуток молекулы углеводородов ионизируются в дрейфуют под действием электрическогс поля, осаждаясь на поверхности катода, корпуса 1 и высоковакуумного затвора 12, и полимеризуются. Для более эффективной ионизации молекул предусмотрено магнитное устройство, позволяющее получить распределенное по площади анода и ка-. тода постоянное магнитное поле, перпендикулярное электрическому. При этом протяженность траектории элект; ронов увеличивается, соответственно увеличивается количество содержаний электронов с молекулами углеводородов и остаточных газов, т.е увеличивается степень иснизации.

В диапазоне рабсчих давлений 10-"—

10 " Па между электродом, являющимся анодом, и электродам-катодом, а также эмиссионным электродом 4, являю— щимся термокатодом, подается разность потенциалов от источника 3 питания разряда и блока 5 питания эмиссионного электрода.

Магнитное устройство служит для увеличения в области ионизации эффективной длины свободного пробега электронов, эмиттируемых эмиссионным электродом 4, В результате соударений с электронами происходит ионизация молекул остаточных газов и углеводородов, Под действием высокого положительного потенциала, приложенного к аноду„ происходит ускорение и фокусировка ионов остаточных газов и углеводородов, Последние осаждаются на жалюзях низкотемпературной охлаждаемой ловушки 13 и полимериэуются, Выпуклая форма анода и.катода позволяет ионизировать молекулы углеводородов и остаточных газов во всем объеме электрической ловушки.

Таким образом, в электрической вакуумной ловушке благодаря наличию эмиссионного электрода, конструкции разрядного и магнитного устройств достигается широкий диапазон рабочих давлений от 1 до 10 11а, Формула изобретения

Электрическая вакуумная ловушка, содержащая корпус с входным отверстием, расположенные в корпусе разрядные электроды, подключенные к источнику питания, и магнитное устройство, отличающаяся тем, что, с целью повышения защитных свойств в широком диапазоне рабочих давлений, она дополнительно содержит эмиссионный электрод с блоком питания, разрядные электроды выполнены в виде перекрывающих входное отверстие двух криволинейных сеток с общиМ центром кривизны, обращенных вогнутой стороной внутрь корпуса, а магнитное устройство — в виде набора постоянных магнитов, расположенных по окружносСоставитель Э.Могильницкая

Техред А.Кравчук

Корректор В,Бутяга

Редактор И.Николайчук

Заказ 2740/29

Тираж 574

ВНИИПИ Государственного комитета СССР но делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4

3 132 тн с образованием концентричных секций, размещенных над сетками и соединенных между собой по одноименным по! 948 4 лосам при помощи, магнитопроводов,причем эмиссионный электрод расположен в центре кривизны сеток.